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以点激光位移传感器(HL-C211BE)为对象,研究它在自由曲面测量中的应用。针对激光位移传感器因测点倾角代入的测量误差,提出了一个可以量化的倾角误差模型。基于直射式点激光三角法原理,分析了激光光路的几何关系,从会聚光斑光能质心发生的偏移推导出倾角误差模型。随后,用高精度激光干涉仪和正弦规对激光位移传感器进行校对实验,并用误差模型对测量结果进行补偿。结果显示,补偿后激光位移传感器的测量精度得到明显提高。对一非球面凸透镜进行了实验测量,得到了自由曲面测点倾角的计算方法,并用倾角误差模型修正了测量数据。实验结果表明,量化的倾角误差模型可以将激光位移传感器的测量误差控制到小于10μm,满足激光位移传感器在自由曲面测量中应用的要求。 相似文献
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针对激光测头因测量范围小难以满足大量程自由曲面的高精度测量要求的问题,基于伺服运动控制技术,集成激光测头和光栅尺研制了一种非接触式测头。控制激光测头工作在线性度误差较小的中心范围内、而采用光栅尺反馈实现大范围的测量,详细介绍了系统的硬件及软件设计。试验数据处理结果表明,与激光测头相比,研制的非接触式测头测量范围扩大了1倍,而测量不确定度、修正值、线性度等精度指标并没有下降。 相似文献
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针对现有高精度位移传感器栅距小导致对制造和使用环境要求苛刻的问题,提出一种采用高频时钟脉冲作为测量基准,可在大极距条件下实现高精度、大量程直线位移测量的变耦型时栅位移传感器。传感器通过在交变电磁场中改变励磁线圈和磁场拾取线圈的耦合状态建立以时间差反映位移变化的行波信号,实现精密位移测量。通过有限元分析软件对传感器进行了建模和仿真,根据仿真结果得到传感器仿真模型的测量误差,并对其进行了谐波分析;根据误差特点和变化规律对主要误差进行了溯源,并对模型进行了优化。根据优化模型制作了传感器实物,开展了验证实验。实验结果表明:根据仿真结果对传感器进行优化设计,在200 mm的测量范围内,传感器精度达到±500 nm,且系统成本低廉,极易制造。为时栅位移传感器在恶劣环境中的应用提供了解决方案和理论依据。 相似文献
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CCD分段测量的光学位移测量系统 总被引:3,自引:3,他引:0
为了高精度地实现大量程的位移测量,采用传统激光三角法的测量原理,提出一种基于虚拟探测器的激光三角法来测量位移。该方法基于3个CCD分段测量的思想,将3个CCD互相独立且沿光轴均匀分布,以此扩大传统方法测量的范围。使用平面反射镜作为虚拟探测器进行探测,当成像光束经平面镜反射后在CCD上成像时,系统相当于增加了一个CCD,扩展了测量量程。由准直系统、偏振片、光阑组成准直滤光系统,缩小探测器光敏面上像点的直径,减小被测表面非理想光点对测量精度的影响,从而实现了较高精度下的大位移测量。最后通过实验验证了方法的可行性。 相似文献
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针对阀用位移传感器体积小、测量精度高的特点,设计了一套专用于阀用位移传感器的自动校准装置。详细介绍了校准系统的结构设计、软件控制,重点对测量不确定度进行了分析。校准装置控制伺服驱动器驱动伺服电机,伺服电机从而带动丝杠,连接在丝杠上的驱动平台带动铁芯进行位移,连接于驱动平台上的高精度光栅尺反馈铁芯的位移量。通过对传感器输入、输出之间关系的分析即可进行自动校准。针对所设计的自动校准装置开展了实验,实验结果表明,该装置的校准效果较好,适合于对阀用位移传感器(精度等级0.01,量程低于200 mm)进行校准,具备了较高的实用价值。 相似文献
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石化工业生产用装备一般分为专用设备和通用设备。石化专用设备包括工业炉、反应设备,换热设备,塔器,储运设备和专用机械等;石化通用设备包括气体压缩机.泵、阀门等。由于石化工业生产一般是高压、高温、低温、易燃、易爆、腐蚀、有毒和连续化生产条件下,因此要求石化装备性能优良、质量可靠,经济安全,符合环保,能够满足石化安全,稳定、长周期、满负荷生产的需要。 相似文献
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石化装备技术发展趋势 国际上石化专用设备技术发展趋势,基本是根据石化工艺技术发展的要求,对各种石化专用设备进行了反应动力学、流体力学、传质和传热机理、分离和干燥原理研究和设计计算研究。其中反应设备实现大型化、结构简单化、操作自动化、研究方法趋向综合化方向发展;换热设备的性能对石化产品质量、能量利用率以及系统的经济性和可靠性起着重要的作用, 相似文献
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辉光放电质谱(GDMS)和火花源质谱(SSMS)是进行高纯固体材料直接和全面分析的两种主要的分析技术,GDMS和SSMS各有所长,有互补性。适当运用这两种技术,综合其优势,可望在固体样品分析表征的许多应用中获得更全面的信息和更可靠的分析结果。本文介绍了GDMS在贵金属分析领域中的两个应用,讨论了高纯镓分离中的表面富集问题,介绍了用SSMS研究杂质元素分布均匀性和相关性的方法。 相似文献
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L. Finkelstein 《Measurement》1983,1(1):7-13
The paper reviews problems of education and training in measurement and instrumentation, and the work of IMEKO in this field. Among the principal topics discussed is the nature, scope and organisation of measurement and instrumentation science. 相似文献
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MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究 总被引:9,自引:4,他引:9
简要叙述了微电子机械系统(MEMS)研究中的多单元综合体--微型系统,包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论,并提出了一些超前的设想 相似文献
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自动化立体仓库的若干设计和控制问题及其研究进展 总被引:1,自引:0,他引:1
总结了近年来在自动化立体仓库设计和控制方面的最新研究成果。重点讨论了自动化立体仓库设计过程中的硬件参数确定、存放规则、堆垛机待命位以及存放序列规划,并指出自动化立体仓库在设计和控制方面的研究方向。 相似文献