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相似文献
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1.
提出了多头离子源的方案和离子束合成技术,即选用几个小离子源组合应用,以满足大尺寸镀膜机的要求.该方案经在A700Q和BAK760镀膜机上试验,获得良好效果,已镀制出性能良好的铝、银金属高反膜、棱镜分光膜、308nm激光高反膜、透明导电膜、高级立体声磁头绝缘膜、长波通滤光膜、超宽带增透膜等.并且,简化了镀膜工艺,提高了生产效率.  相似文献   

2.
离子束辅助镀膜是近20年来发展起来的新技术.宽束冷阴极离子源是离子束辅助蒸发技术的关键装置,具有寿命长,无灯丝可以连续工作、结构简单、操作方便,可使用多种惰性及反应气体等特点.同时,它还可以很方便地安装于真空镀膜设备中而不破坏其原有的功能和性能.宽束冷阴极离子源用于离子束辅助蒸发,可以提高膜层与基底间的附着力,提高膜层强度,膜层填充密度及析射率,膜层的环境耐受性,如耐磨、耐潮、耐盐、酸、碱等性能均得到大幅度提高.  相似文献   

3.
IBAD工艺中离子参数与薄膜折射率研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用五栅网离子能量测量装置和法拉第筒测量了宽束冷阴极离子源的离子能量和离子束流密度.当Ar气流量为20 sccm,在不同的放电电压和引出电压下,测得离子能量分布范围为400~820 eV,束流密度分布范围为7.8~52.8μA/cm2.在O2气流量为20 sccm时,沉积在不同离子能量辅助下的TiO2薄膜,研究了离子能量对于薄膜光学特性的影响,得到了折射率为2.3的薄膜,接近块状材料的折射率.  相似文献   

4.
在设计强迫风冷封闭母线模型段,建立电晕离子源,设计平板式离子计数器的基础上,研制设计出大电流封闭母线平板式去离子装置模型,并测量了安装去离子装置前后离于密度的变化,对栅片式去离子装置的去离子效率进行了分析.  相似文献   

5.
为了得到离子束抛光ZnS的工艺参数,采用微波离子源作为抛光源,分析了离子束能量、离子束流大小、离子束入射角度对ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的影响,比较了ZnS刻蚀速率及表面粗糙度的变化趋势.研究结果表明:当离子束能量为400eV、离子束流大小为35mA、入射角度为45°时,ZnS表面粗糙度降低了0.23nm.  相似文献   

6.
正该成果为一种能够产生单一离子能量的,同时发散角可以根据实际需要进行调节,且在发散角内离子束流密度均匀一致的离子源。主要包括:放电室、离子束引出栅、聚焦磁场、离子能量选择器、能量调节电磁场、扫描磁场、驱动电路及控制系统等。性能指标特点突出,输出束流:大于100mA;功耗:500 W;离子束发散角:0~180°可  相似文献   

7.
设计和调试了一台4MV静电加速器用高频离子源;研究了诸因素对离子源起弧的影响,发现保持放电管内壁的清洁、先加载横向磁场、缩短铜辫的长度并进行镀银处理可明显降低最低起弧板压;测试了束流强度与振荡器板压、离子源气压和引出电压的关系,发现流强随板压的升高而升高,随气压的变化有一极大值,而随引出电压的变化呈二极管的伏安特性;上机试验表明引出电压的加卸载方式对离子源的起弧状况也将产生明显影响;分析了上述各现象出现的原因;经综合调试,在580V板压、8×10-4Pa气压、1.65kV引出电压和21kV聚焦电压的状态下,得到了束流为178μA的稳定离子束.  相似文献   

8.
宽束冷阴极离子源及其应用   总被引:6,自引:2,他引:6  
本文介绍一种新研制的用于离子束辅助淀积薄膜的宽束冷阴积离子源,与目前国内外普遍采用的考夫曼(Kaufman)型热阴极离子源相比,它具有寿命长,无污染,结构简单,所需供电电源少,操作方便等优点。实验结果证明,用宽束冷阴极离子源进行离子束辅助淀积所得 Zns 膜层强度超过国标规定的10倍,G|AlSIO_x|A膜层强度超过国标规定的8倍。该离子源有广泛的应用前景。  相似文献   

9.
从强度和腐蚀性两方面对Pb-Ca板栅合金进行讨论,并通过添加合金元素的办法对Pb-Ca板栅合金进行改进。结果表明,Bi元素有可能改善Pb-Ca板栅合金的深充放性能,成为免维护蓄电池的新型板栅合金的添加元素。  相似文献   

10.
给出了具有相同电阻率的n-Ge样品经高温热处理后的霍尔系数和电阻率的实验结果,用热缺陷补偿及反型层模型对常温反常霍尔效应进行了定性解释,进行了证实了反型层理论在常区的正确性。  相似文献   

11.
针对双等离子体离子源受气压、磁场强度和放电电流影响,产生的O-离子束亮度不稳定的问题,设计并搭建了一套用于测试离子束亮度的离子光学系统,以SHRIMP II上的双等离子体离子源为对象,通过实验和仿真模拟分别研究了气压、磁场强度和放电电流对O-离子束亮度的影响规律。结果表明:该离子源能够稳定地工作在放电电流大于50 m A,气压为110~170 m Torr(1Torr=133.322 Pa)的条件下;当气压为140 m Torr、放电电流为200 m A、磁场强度为0.25 T时,获得的O-离子束亮度能够达到52.4 A/(cm2·sr)。合理控制离子源工作参数,可以增大O-离子束亮度,提高二次离子质谱的横向分辨率和灵敏度。  相似文献   

12.
原子法激光分离同位素(AVLIS)离子引出特性的研究是十分重要的.实验发现,采用YAG激光器四倍频脉冲激光与真空室内平行极板间的空气相互作用,可以电离空气,产生等离子体.在平行板电极施加高压,可以使空气等离子体中的离子引出,最终被负极板收集.通过分析所采集收集的离子引出信号,得到了离子引出的规律.采用数值计算的方法对氮分子的离子引出信号进行模拟,通过与实验得到的离子引出信号进行比较,发现数值计算结果与实验结果能很好地吻合,从而证明可以用数值计算的方法进行简单的离子引出信号分析.进一步分析得到了不同条件下的空气中离子引出信号规律,总结出提高离子效率的方法.并讨论了离子引出时间与极板间电压、等离子体宽度、等离子体密度的关系.  相似文献   

13.
本文采用动态喷咀状模型[1],用模拟电荷法计算了液态金属离子源发射系统的电场分布[2]。在用Monte Carlo法模拟发射离子的初始位置和初始速度的基础上,考虑离子间的相互作用力计算了离子轨迹。在保证一定精度的前提下,为了提高计算速度,在轨迹计算中采用了离子团和参考球等近似技术。 通过对大量离子轨迹的统计计算,得出能散与束流、能散与角电流强度等的关系曲线。计算结果与P.Marriott[3]和G.L.R.Mair[4],难波进[5]等人的实验结果基本相符。 根据反复改变发射极形状,引出极孔径和极间距离的大量计算结果,得到发射特性主要决定於发射尖端的大小和形状而与引出极结构关系不大的结论。  相似文献   

14.
离子交换膜选择透过性的测定   总被引:1,自引:0,他引:1  
选择透过性是衡量离子交换膜性能的重要指标,它直接影响电渗析器的电流效率和脱盐效果.本文就离子交换膜选择透过性的测试给予论述.  相似文献   

15.
描述了非经典碳正离子和经典碳正离子的区别及邻基参与形成的非经典碳正离子.  相似文献   

16.
以醋酸铜为模板,甲醇、氯仿为溶剂,2-乙烯吡啶、丙烯酰胺为功能单体,乙二醇二甲基丙烯酸酯为交联剂,采用本体聚合法制备铜离子印迹聚合物;然后掺入到壳聚糖海绵的制备中,使壳聚糖海绵对铜离子的吸附率由27.1%提高到72.3%。制备的铜离子印迹改性壳聚糖海绵需要2d达到吸附平衡,吸附-解吸5次后,性能稳定。  相似文献   

17.
铁锰离子对硝化反应的影响效应研究   总被引:23,自引:0,他引:23  
为提高氨氮废水硝化反应速率通过对比试验,考察了铁锰离子对高质量浓度氨氮废水硝化反应的影响。结果表明,铁离子对硝化反应的促进作用是质量浓度型的,中低质量浓度时有明显促进作用,5-20mg/L时促进效果好;高质量浓度时促进作用下降,但直至80mg/L也未见有抑制作用。锰离子对硝化反应的作用呈时间-质量浓度积累效应,即作用时间短或低剂量时,对硝化反应有促进作用,而随着时间延长或质量浓度增加则有抑制作用;其最佳促进质量浓度和时间分别为5mg/L和24h,而毒性下限是40mg/L和48h。铁锰离子共存时,铁阻止了硝化菌利用锰离子,一定程度上减弱其对微生物的毒性。  相似文献   

18.
Cu2+强化Fenton反应氧化降解2,4,6-三氯酚   总被引:2,自引:0,他引:2  
为强化Fenton反应氧化降解水中2,4,6-三氯酚的效能,在Fenton体系中加入另一种过渡金属离子Cu2+.结果表明:在酸性条件下,二价铜离子本身不具有类似亚铁离子催化分解过氧化氢氧化有机物的能力;将铜离子引入Fenton反应体系后,能明显提高2,4,6-三氯酚的氧化降解速率,强化过氧化氢的分解,增加TOC的去除率以及氯离子的释放;较低投量的铜离子就能有明显的强化作用;自由基抑制剂甲醇、叔丁醇对反应的完全抑制说明羟基自由基仍然是铜离子参与的Fenton反应中的主要活性物种.  相似文献   

19.
电弧离子镀制备TiAlN膜工艺研究   总被引:5,自引:0,他引:5  
采用阴极电弧离子镀技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢基材上制备TiAlN膜层,镀膜装置为俄罗斯科学院UVN 0.5D2I电弧离子镀膜机,该设备由一个大功率的气体离子源和两个金属蒸发源组成.气体离子源具有气体离子轰击和辅助沉积的特点.研究了电弧电流、负偏压和气体离子源功率等工艺参数对膜层的影响规律.实验结果表明:气体离子源具有明显的细化金属颗粒的作用.提出了制备TiAlN膜层的最佳工艺,得到了厚度为5 ~10μm、相结构为Ti0.5Al0.5N、显微硬度为1200HV0.01的TiAlN膜层.  相似文献   

20.
超临界水中典型金属离子溶解度研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了Cu^2 、Mn^2 和Fe^2 在超临界水中的溶解度,通过实验发现,金属离子在超临界水中的溶解度在开始阶段随着停留时间的增加而减少,当停留时间达到一定的时间后,溶解度基本上不再变化。实验对因反应器腐蚀而溶出的铁离子质量浓度进行了测定,以了解超临界水体系对反应器的腐蚀状况,反应器溶出的Fe^2 浓度随着温度的升高而增加。采用基于水合机理模型关联了金属离子在超临界水中的溶解度,表明在同一温度下,金属离子的溶解度对数与水密度对数呈线性关系。  相似文献   

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