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讨论一种对二氧化氮具有高灵敏性的WO3纳米薄膜的制备方法.当基片温度为室温,溅射混合气体(O2/Ar)的比例为1:1时,用直流反应磁控溅射法制备的薄膜,经过两步热处理(300℃/600℃),得到纳米结构WO3气敏元件.通过XRD、XPS和SEM对该薄膜的晶体结构和化学成分进行分析,用静态配气法测试NO2气敏特性.在Si3N4基片上制备的这种薄膜对空气中较低浓度的NO2(体积分数为0.1×10-5~3×10-5)具有优异的敏感特性和响应特性,最佳工作温度为150℃,在此温度下对其他一些气体(如CO,C2H5OH,NH3)的敏感性很差,显示出良好的选择性. 相似文献
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采用磁控溅射技术制备Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜.研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响,进而测试了相关的气敏性能.实验证明,经过氧化性退火处理,集成薄膜中的SiO2层厚度从3 nm增长到50 nm左右,形成Pd/SnO2/SiO2/Si结构,SnO2薄膜形成金红石结构的多孔柱状晶.气敏测试表明,Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜在低温区对H2、CH4、CO和C2 H5OH敏感性较高,另外,随着H2气体浓度的增加,相应灵敏度从35递增至73.5. 相似文献
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陶瓷基Pt/ITO薄膜热电偶的制备与性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了准确测量涡轮叶片表面温度,采用掩模图形化和射频磁控溅射的方法,在A12O3陶瓷基片上沉积Pt/ITO薄膜热电偶,并对其进行了静态标定.结果表明:Pt/ITO薄膜热电偶在1 000℃进行大气气氛退火,随着退火时间的增加,样品热电势输出曲线稳定性逐渐增强,Seebeck系数也较大,标定曲线均具有很好的线性度,退火5h的样品的最大测温误差仅为16.03℃,可在400~1100℃温度范围热循环中稳定工作约20 h.ITO薄膜厚度对Pt/ITO薄膜热电偶热电性能几乎没有影响. 相似文献
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镀有SiO2-WO3纳米复合薄膜LPFG气体传感特性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
以钨粉和正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶工艺和浸渍提拉镀膜方法,在玻璃衬底上制备出了具有气敏传感特性的SiO2-WO3纳米复合薄膜.采用原子力显微镜和X射线衍射仪表征了薄膜样品的表面形貌和物相结构.实验结果表明:掺杂SiO2使WO3薄膜中的颗粒尺寸减小,空隙率提高,比表面积增大.将SiO2-WO3复合薄膜镀于长周期光纤光栅上(LPFG),在室温条件下,将LPFG置于体积分数为2%的NO气体中,LPFG谐振峰红移了4.77 nm,损耗由-9.93 dB变为-8.53 dB,相应的气体传感灵敏度达到3%,元件响应时间10 s,恢复时间20 s. 相似文献
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在现有的粉末烧结型SnO2基气敏传感器基础上研制了薄膜型SnO2基气体传感器,以抛光的丽热石英玻璃为基片,真空磁控溅射50~70nm厚度的SnO2薄膜,在SnO2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al2O3、CeO2、InO2等薄膜,传感器背面溅射30μm的Ni80Cr20电阳合金作为传感器加热电阻,用薄膜热电偶测量传感器工作温度。测试了不同的复合瞑对传感器灵敏度和选择性的影响,并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试,薄嗅传感器达到相同灵敏度所需的工作温度比粉末烧结型传感器下降100~150℃,吸附解吸速度比粉末烧结型快。 相似文献
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ID3算法是最基本的决策树学习算法,有广泛的应用。基于ID3算法的层间不相关性与生成树中相邻层的耦合性,该文提出了一种改进的ID3的决策树算法(E-ID3)。算法采用统计局部最优的方法,能获得比较好的启发式函数。实验证明,这种方法从树的规模和分类精度都优于ID3算法,决策效率明显提高。 相似文献
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通过实例详细研究并阐述在3D游戏开发中,3DSMAX、MAYA制作完成的人物和场景被Direct3D调用的方法,即如何通过D3D来运用3D作品。 相似文献
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NH3是大气的重要组成部分,对于中和酸性气体和维持生态平衡起着重要作用。但同时作为大气污染物,NH3严重地影响着人类生存环境。而且气态NH3可以与硫酸、硝酸和盐酸发生化学反应而形成的铵盐,进而增加大气污染物PM2.5颗粒物的浓度。因此,大气环境中NH3体积分数精确测量越来越受到人们的重视。介绍了近年来6种先进大气NH3体积分数检测技术(TDLAS,PAS,CRDS,DOAS,TDLAS和纳米材料传感器)的研究方法与研究进展,总结并归纳了这些技术的特点,同时,选择有代表性的测量实验结果进行分析对比。简要介绍了4种实用大气NH3检测技术(湿化学、CIMS,IMS和金属半导体传感器)的特点与研究现状。 相似文献
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三维GIS的基本问题与研究进展 总被引:16,自引:0,他引:16
经过多年的研究和探索,三维GIS取得了很大成果,成为GIS领域的重要研究内容之一。该文首先分析了三维GIS应实现的功能,然后从三维数据获取、三维空间数据模型、三维空间关系的描述和表达、三维可视化和三维空间分析等几个方面评述了三维GIS的研究进展。 相似文献
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新型钾离子通道开放剂的QSAR研究 总被引:1,自引:0,他引:1
通过对已知的钾离子通道开放剂的研究和PARM法的计算,建立了一个具有较好预报能力的钾离子通道开放剂药效团模型,并对从结构骨架与模型训练集分子具有较大差异的新型钾离子通道开放剂进行了有效的预报。 相似文献
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Web3D技术是虚拟现实技术的一种实现形式,在网络教育阶段采用具有交互功能的3D课件可大大提高学习效率.本文结合实际介绍了Cult3D技术以及基于Cult3D技术的多媒体课件的开发过程。 相似文献
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描述嵌入式操作系统μC/OSII在LM3S系列单片机上实现移植的过程.介绍操作系统的移植原理和方法,以LM3S8962单片机为例给出部分移植函数的代码,并通过一个实例的应用验证移植的正确性. 相似文献
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