基于MAX1452硅压力传感器温度补偿系统的设计

针对硅压阻式传感器存在的温度漂移误差和输出信号的非线性提出了利用MAX1452温度调理芯片进行补偿的方案。描述了传感器温度补偿系统的整体构架,着重阐述了MAX1452的补偿原理以及对传感器的补偿过程。测试结果表明传感器经过补偿以后,在-40~80℃的温度范围内输出的信号与压力成较好的线性关系,测量的误差小于0.8%。     

压力传感器集成恒流源灵敏度温度系数补偿

针对超低量程微型压力传感器和表面微机械加工的多晶硅压力传感器在高精度测试时和宽温区使用时灵敏度温度系数补偿量大的特点,提出应用"集成恒流源网络"来补偿灵敏度温度系数的方法,推导了定量补偿的公式。灵敏度温度漂移补偿实验中,通过温度周期的调节标定,补偿后灵敏度温度系数绝对值容易达到10×10-6/℃~50×10-6/℃满量程输出,从而验证了该方法的可行性和实用性,表明用集成恒流源补偿压阻式压力传感器具有补偿量大、成本低、效果好、精度高、容易集成等优点,在器件制作中有很大的应用前景。     

用BP神经网络法对压力传感器进行温度补偿

压阻型扩散硅压力传感器在测试压力时,容易受到环境温度的影响。为了消除温度所带来的影响,需要对压力传感器进行温度补偿。神经网络技术中的BP神经网络算法可以在压力试验中对压力传感器进行温度补偿。此方法将压力传感器和温度传感器所采集到的电压信号进行数据融合,削弱了温度对压力传感器所产生的干扰,补偿后比补偿前得到压力传感器灵敏度温度系数和满量程时相对误差都分别提高了2个数量级。     

压阻式压力传感器温度误差的数字补偿技术

压力传感器性能易受温度变化的影响,产生零点温度漂移和灵敏度温度漂移,从而增加了测量结果的误差.根据压阻式压力传感器温度误差分析,提出了基于MAX1457芯片的数字补偿技术,对温度误差进行补偿,并运用到多个压阻式压力传感器上,在特定的温度允许下进行补偿.结果表明该种方法补偿精度高、稳定性好,有效地抑制了温度漂移.     

压阻式传感器多路温度补偿系统的设计

为解决压阻式传感器存在的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452信号调理芯片的多路自动温度补偿系统。介绍了传感器多路自动温度补偿系统的整体结构,着重阐述了系统的软硬件设计和自动补偿过程。利用设计的多路校准模块,系统一次可以补偿80只传感器。实验结果表明:整个系统工作稳定,传感器经过补偿以后在-30~90℃温度范围内稳定特性良好且综合误差不大于0.4%。     

扩散硅压力传感器灵敏度温度归一化补偿算法

文章主要介绍了公司在对于扩散硅压阻式压力传感器灵敏度温度补偿的工作中,经过长期探索、实验,发现了传感器补偿算法。在原先对压力传感器进行灵敏度温度误差补偿纠正的算法中,又加入了调节传感器满量程大小方法,并形成了成熟的归一化的数学模型。     

高温高压井下压力传感器的补偿与校正

潜油电泵、油藏监测、智能井等系统需要对井下压力进行长期在线监测,压力测试装置是其一个重要组成部分,是反映采油井实时状况的一个重要参数。井下温度随着深度的增加变化比较大,选用硅压阻式传感器存在温度漂移和线性误差,因此需要对压力传感器进行温度补偿和线性化校正。由于井下环境比较复杂,井下采集电路没有CPU进行处理,因此采用软件温度补偿与校正不易实现。经分析研究采用MAX1452信号调理芯片对压力传感器进行补偿与校正,能使压力传感器的精度达到0.1%。本文主要分析与研究MAX1452的补偿原理和实现方法,经试验分析得出经补偿校正后的系统在-40~125℃的温度范围内输出电流具有很好的线性度。     

基于数据融合的压力传感器温度误差补偿方法

分析压阻式压力传感器的工作原理,针对压阻式压力传感器输出电压受温度影响较大的特点,讨论了一种基于数据融合的温度误差补偿方法.实验表明,采用该方法后,压阻式压力传感器输出电压受温度影响大大减小,系统性能更加稳定,工作更加可靠.     

基于小波神经网络的压力传感器温度误差补偿方法

分析压阻式压力传感器的工作原理，针对压阻式压力传感器输出电压受温度影响较大的特点，讨论了一种基于小波神经网络的温度误差补偿方法。实验表明，采用该方法后，压阻式压力传感器输出电压受温度影响大大减小，系统性能更加稳定，工作更加可靠。     

基于三次样条曲线插值的压力传感器温度补偿研究

压阻式压力传感器受半导体温度特性的影响,易产生热零点漂移和热灵敏度漂移,这是影响传感器性能的主要因素。现介绍了采用三次样条曲线插值方法对压阻式压力传感器热零点漂移和热灵敏度漂移进行补偿修正的方法,通过试验验证了三次样条曲线插值补偿方法对压力传感器热零点漂移和热灵敏度漂移的补偿效果。该方法对于解决高精度压力传感器的温度补偿问题具有较高的推广应用价值。     

通用型高温压阻式压力传感器研究

针对石油化工等领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅芯片,采用SIMOX 技术SOI晶片,在微加工平台上制作了硅芯片.对不同的用户工况设计了装配结构,采用耐高温封装工艺,研究了耐高温微型压力传感器封装材料匹配与热应力消除技术,解决了内外引线的技术难点.从低成本、易操作性出发,设计了温度系数补偿电路,研制了精度高、稳定性佳的耐高温通用压力传感器.     

扩散硅压力变送器的精密温度补偿

文中介绍了扩散硅压力传感器温度补偿的一种新方法,以及采用MAX1457精密补偿全温区（-30～ 80℃）压力变送器（4～20mA输出）的关键事项。     

MAX1457开发系统的研制

MAX1457是一种专用传感器信号处理器，它可以补偿硅压阻式传感器的温度误差和非线性误差，使传感器总的重复性精度达到0．1％以内，MAX1457进行补偿时需要经过一系列操作步骤，本文分析了MAX1457的工作原理和补偿过程，在此基础上设计了界面友好，自动化程度很高的开发系统，使得MAX1457对传感器的温度补偿工作大为简化。     

MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器

文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器.通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造.     

A novel method of temperature compensation for piezoresistive microcantilever-based sensors

Microcantilever with integrated piezoresistor has been applied to in situ surface stress measurement in the field of biochemical sensors. It is well known that piezoresistive cantilever-based sensors are sensitive to ambient temperature changing due to highly temperature-dependent piezoresistive effect and mismatch in thermal expansion of composite materials. This paper proposes a novel method of temperature drift compensation for microcantilever-based sensors with a piezoresistive full Wheatstone bridge integrated at the clamped ends by subtracting the amplified output voltage of the reference cantilever from the output voltage of the sensing cantilever through a simple temperature compensating circuit. Experiments show that the temperature drift of microcantilever sensors can be significantly reduced by the method.     

基于水下超声成像分时复用数据采集系统的设计

利用压阻式水声传感器采集超声回波信号,通过行共用电源线,列共用信号线的方式将水声传感器组成成像阵列.使用MAX4617八选一高速模拟开关控制每个传感器与采集电路的通断,从而实现采集电路的分时复用功能.利用AD6655采集数据,FPGA作为模拟开关和采集电路的时序控制器,异步FIFO作为采集数据传送给EZ-USB的缓冲器,EZ-USB单片机负责任务的协调,并把数据打包上传给计算机.初步测试了传感器与采集通道的开关时延特性,以及分时采集样本与原始声信号吻合程度,实验结果证明系统能够完成水声传感阵列的实时数据采集任务.     

扩散硅压力传感器特性分析及其应用举例

扩散硅压力传感器具有良好的性能和稳定性。本文说明了扩散硅压力传感器的工作原理,详细分析了对其进行温度综合补偿的电路,然后结合实例,介绍了压力传感器的接口电路和对其进行非线性校正的方法。     

多功能压力传感器与现场总线技术

传统的差压传感器一般由差压敏感元件和温度补偿网络构成,输出信息量少。在线性及温度误差的补偿方法通常采用无源网络对传感器的两个端点进行补偿,比较粗糙,补偿精度较低,对静压带来的误差无法补偿。本文介绍了ＨＡＲＴ协议智能扩散硅差压变送器的组成原理及应用,阐述了扩散硅多功能传感器的特点,以及非线性及温度误差的补偿方法。     

一种压阻式微压力传感器

微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的微器件之一，它结构简单、用途广。基于压阻效应、惠斯顿电桥等相关知识设计了一种压阻式微压力传感器。为增大灵敏度，设计了一种折弯形的压敏电阻。基于一些相关的微加工工艺制定了制作这种微传感器的工艺流程并且制作成功了传感芯片。设计了一个处理电路去获得此传感器的输出信号，它由两级放大电路和两级巴特沃斯低通滤波电路组成。最后利用这个测试系统检测出了随压力变化而发生变化的微电压信号。     

耐高温压阻式压力传感器研究与进展

传统的硅扩散压阻式压力传感器用重掺杂4个P型硅应变电阻构成惠斯顿电桥的力敏检测模式，采用PN结隔离，高温压阻式压力传感器取消了PlN结隔离，与半导体集成电路平面工艺兼容，符合传感器的发展方向。根据力敏材料的分类，分别介绍了多晶硅中高温压力传感器、SiC高温压力传感器和单晶硅SOI（silicon on insulator）高温压力传感器的基本工作原理和国内外的发展现状，重点论述了BESOI（bonding and etch-backSOI）、SMARTCUT和SIMOX（separation by implanted oxygen）技术的SOI晶片加工工艺。以及由此晶片微机械加工成的芯片封装的高温微型压力传感器部分特性，对此领域的发展作了展望。