准分子激光直接刻蚀聚酰亚胺技术研究

一、引言随着大规模集成电路和集成光学的不断发展,对加工技术的要求越来越高,如目前提出图形的精细化,过程低温化,掺杂薄层化及可控性优化等,而准分子激光器则以它能量高、波长短(200～400nm)等优点为解决这些问题提供了有利条件。于是,八十年代开始形成了准分子微细加工新兴技术领域。准分子激光微细加工大体可分为激光曝光技术,激光CVD     

激光全息用于微电子领域发展潜力的简析

激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点,对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。     

激光化学半导体工艺及其应用

激光化学半导体技术及其在半导体器件和集成电路制备中的应用是过去10年半导体微细加工领域中最引人注目的研究课题之一。本文综述了这种技术的基本原理、特点和加工方法,重点介绍了它在半导体器件和集成电路制备中的应用,最后展望了它的今后发展方向。     

激光直写加工技术—开发超大规模集成电路的有力工具

本文描述了随着超大规模集成电路(VLSI)的迅速发展形成的激光直写(Laser dire-ct writing)加工技术的概况,基本原理及典型设备。讨论了激光直写薄膜沉积、腐蚀、烧蚀和掺杂技术,同时介绍了这种技术在提高VLSI成品率和研制速率方面的应用。     

金属外壳新型激光标记工艺研究

在混合集成电路制作中，传统的丝网印刷标记技术存在速度慢、灵活性低、可靠性差和劳动强度高等缺点。激光加工是一种新型的加工工艺。本文研究了激光加工在混合集成电路用金属外壳打印标记技术方面的应用，研究了工艺方法，工艺参数，并通过了技术鉴定。     

飞秒激光在金属微加工中的应用

作为一种新型的减材加工技术,飞秒激光在材料微加工中具有独特优势.介绍了飞秒激光加工的机理,分析了飞秒激光加工效率和加工质量的影响因素,阐述了飞秒激光加工工艺参量及表面质量的预测方法,对飞秒激光与增材制造的结合应用作了展望.飞秒激光加工的效率与精度影响因素众多,要真正在金属加工领域精准大规模应用这一精细技术,尚需对飞秒激...     

新兴高能束流电镀技术——激光电镀工艺

激光电镀是新兴的高能束流电镀技术。它对微电子器件和大规模集成电路的生产和修补具有重大意义。     

脉冲激光MEMS加工技术

阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统 (MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米 /亚微米加工精度 ,且适用于多种材料 ,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光 LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术     

激光加工在纺织服装行业应用的研究进展

在纺织服装领域,传统纺织服装工艺虽做工良好,但在大批量生产时,无法满足人们的需要。在此基础上,激光加工技术出现后便在纺织服装领域得到广泛的应用,其具有加工精度高、自动化程度高等优点。目前存在的激光加工技术主要有激光裁剪与切割、激光雕刻、激光焊接及其他激光加工技术。对纺织服装领域的激光加工技术进行简要介绍并对其研究现状进行总结,对激光加工技术在纺织服装领域的发展及趋势进行展望。     

脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用

介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米／亚微米加工精度，且适用于多种材料，与传统的微细加工技术(光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等)相比具有其独到之处。阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术。     

激光武器技术的发展现状

激光技术在军事领域的应用越来越广泛,激光侦测技术已经成为一种比较成熟的武器技术,激光致盲武器也已应用于实战中,高能激光武器正在逐步进行实用化实验,激光通信系统则已经在各国军用通信系统中得到广泛应用。     

激光技术在航天航空推进系统中的应用

激光技术是第三次科技革命的标志之一,在各个方面得到广泛应用.其中激光在推进系统中的应用日益突出,引起了广泛关注.本文主要介绍激光在推进系统中的主要应用一激光推进技术,激光控制燃烧技术和激光点火技术的基本原理、应用现状及研究方向.     

KTP倍频Nd:YAG激光和Ho:YAG激光心肌打孔组织学变化的对比研究

目的 :比较国产 KTP倍频 Nd:YAG激光和 Ho:YAG激光对离体猪心激光打孔的组织学效应 ,探讨国产 KTP倍频 Nd:YAG激光用于激光心肌血运重建术的可能性。方法 :分别用 KTP倍频 Nd:YAG激光和 Ho:YAG激光以多种级别的工作参数对离体猪心左心室心内膜面进行照射 ,行病理组织学检查 ,测量激光孔道直径、深度及坏死层厚度。结果 :KTP倍频 Nd:YAG激光和 Ho:YAG激光均能有效形成激光孔道 ,随能量增加 ,孔道深度增加。KTP倍频 Nd:YAG激光具有孔道直、热损伤小的优点。结论 :KTP倍频 Nd:YAG激光是激光心肌血运重建术可供选择的激光源。     

固体激光雷达的发展现状

文中首先分析了半导体激光成像雷达和二极管泵浦固体激光成像雷达的发展现状，介绍了９０年代初出现的一种商品化的微型ＤＰＬ脉冲激光雷达和一种半导体成像激光雷达的特点，指出进一步发展固态激光成像雷达的关键是高功率、高波束质量的辐射源、高灵敏度的接收技术，高性能的二维扫描技术和图像处理及目标识别算法。     

激光雷达距离高分辨多普勒成像技术研究进展及关键技术

激光雷达距离高分辨多普勒成像技术具有时空域分辨率高,敏感于被识别目标的距离、姿态、运动速度等信息,可实现目标微运动检测,故该项技术已成为国外军用航天领域研究的热点。本文全面地总结了激光距离高分辨和距离多普勒成像技术研究进展,并详细分析了工程应用和理路成像仿真过程中所必须解决的关键问题,指出激光距离高分辨成像的优点和难点,为进一步开展目标激光雷达成像研究奠定预先技术支持。Abstract：关键词：     

激光应用的新领域─激光清洗

报导激光应用的新领域──激光清洗的原理及应用概况。介绍了两种激光清洗的实例：高重复频率TEA－CO2激光高速清洗固体表面；和激光清除宇宙空间垃圾。     

免调试固体激光器在军用激光测距系统中的应用

将IJL88200型激光测距机中的激光器改装成“免调试激光器”,并对改装前后的激光器及测距机的性能进行对比试验,取得了理想的结果。     

光学材料的激光微加工研究进展与应用前景

综述了国内外在光学材料激光微加工方面的研究成果和应用状况，并展望了其发展前景。     

He-Ne激光对愈合延迟创面修复的促进作用

目的 :观察He -Ne激光对整形手术愈合延迟创面的修复作用及可能发生的不良反应。方法 :选择整形术后创面愈合延迟患者 42例为受试对象 ,A组 ( 2 2例 )为治疗组 ,用He -Ne激光照射联合常规换药方法处理 ,B组 ( 2 0例 )为对照组 ,单纯采用常规换药方法处理 (观察激光对坏死或感染创面有无促进愈合作用及是否可减少再手术植皮率 ,并观察其不良反应 )。结果 :A组患者创面 3周内愈合率为 86 .82 % ,B组患者创面 3周内愈合率为 5 5 % ;A组患者再手术植皮率明显低于B组。 (P <0 .0 5 )A组创面分泌物及创周炎明显轻于B组 ;两组患者创面均未发现明显不良反应。结论 :He -Ne激光可促进整形术后愈合延迟创面愈合 ,缩短愈合时间 ,减少再手术植皮率 ,无明显不良反应     

提高激光打标检测系统质量的理论分析

随着激光打标工艺的日趋成熟,对打标在线检测的需求日益增加.本文采用激光三角法应用于激光打标系统的在线检测,分析了各种可能影响测量系统精度的因素,以激光散斑的影响最为严重.本文针对不同的因素提出了相应的解决方案.