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本文介绍了电子束曝光机激光定位工作台的一种新型吊装结构。用有限元法分析了吊装结构工作台的静态特性及其对测量系统定位精度的影响,并用散斑摄影法测试了模拟吊装结构工作台的静态变形位移。分析与实验表明吊装结构工作台是实现亚微米定位精度较理想的切实可行的结构方案。 相似文献
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本文描述了用于电子束曝光机的芯片自动套准系统，该系统包括：扫描控制器、图象采集子系统、相关位置计算单元和位置与角度修正子系统。利用该系统，完成一次双标记识别及修正的循环需时１１秒；角度最小修正值为０．０１４度，最终实现的套准精度达到３σ≤０．０７μｍ。 相似文献
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影响电子束曝光机加工微细化的因素 总被引：1，自引：0，他引：1
结合实际工作,分析、探讨了影响电子束曝光机加工微细化的因素。这些因素主要有:抗蚀剂材料、电子束本身、电子束曝光机控制线路、器件结构和电子束工艺等。在诸影响因素中,工艺的影响是目前一个较大且较主要的影响因素,其次是背散射电子束的影响,对后者,我们采用辅助曝光方法加以改善,效果良好。但对工艺等的影响因素的改善尚待继续研究、摸索。 相似文献
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介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计，该电子光学系统采用透镜内偏转设计，系统象差小，偏转灵敏度高，工件面上电流密度大，通过调试和使用，电子束流、最小电子束斑直径等主要设计指标均达要求。 相似文献
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某些电子束曝光机光刻出的线条是弯曲的 ,因而影响了机器分辨率的提高 ,本文对此现象做了分析 ,并提出可能产生这种现象的原因。这对于解决上述问题 ,提高电子束曝光机的分辨率具有重要意义。 相似文献
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本文简要会介绍了一种圆形电子束曝光机应用软件的结构，工作原理及工作过程；并且根据作者长期应用这套软件的具体情况，对使用该软件过程是同到的一些具体问题和解决方法作了详细的说明。此外，对自行编制的软件也作了介绍。 相似文献
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本文分类研究了电子束曝光机图形数据格式转换软件的主要算法，包括平面内两多边形的相交性测试，二维图形的几何变换，基于方向环法的二维多边形运算，二维图形的可变网格分割法等算法。 相似文献
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本文研究了双向负阻晶体管(Bidirectional Negative Resistance Transistor,简称BNRT)在张弛振荡电路中的动态伏安特性。借助动态伏安特性对BNRT张弛振荡电路的一些性质进行了分析。实验结果与计算结果一致。本文还对改进器件结构的设计,以便使器件达到更高的振荡频率提供了理论依据。 相似文献
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利用扩展的二维FD-TD方法研究了包含铁氧体介质的均匀微带线的色散特性.给出了铁氧体介质的厚度,微带线导带宽度以及铁氧体的外加恒磁场对其传输特性的影响.并对这类传输线在禁带附近模式容易传播的模式进行了讨论. 相似文献
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本文首先引入一种新型双各向异性波导结构;给出了这类复杂波导中横向场分量的纵向场表示式以及纵向场分量满足的一组耦合模方程;重点分析了具有不同电磁参数的双各向异性介质中心加载时,金属圆柱形波导中混合模的分裂效应,色散特性和场分布。结果表明,由于多个电磁参数的引入,双各向异性波导具有一般各向异性和双各向同性波导结构所没有的新奇特性。 相似文献
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利用所研制的模拟AC PDP放电特性测量装置，对（CaSr)O,(MgSr)O等不同材料形成的保护膜对AC PDP放电特性的影响进行了研究，确定了新颖膜材料的选择方向，探索了使用高发射性能保护膜材料所必须解决的问题，研究结果表明，用（CaSr)O等混合氧化物制成的保护膜的AC PDP具有比单一氧化物低的工作电压和好的老化特性，但工作电压稳态范围却较窄。研究结果还表明氧化物混合的比例不同，ACPDP的工作电压和稳态范围不同，大约在CaO(或MgO)与SrO的重量比达到1：3时，器件的工作电压最低。 相似文献
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采用锁相技术，对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器，能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。 相似文献
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城市建筑物红外特性四季变化及其成像研究 总被引：4，自引：0，他引：4
采用多层有限差分法模型等方法 ,考虑气象等外部因素的影响 ,在一年四季中对城市建筑物各部分及其周围物体的表面温度进行了逐时计算 ;运用计算机图形学方法实现了其造型 ,并绘制出该建筑物在一年不同季节及在一天不同时刻的真实感较强的红外图像 . 相似文献