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微机械系统建模与仿真技术研究 总被引：5，自引：2，他引：5
简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技术难题,即尺度效应、开发快速的表面力计算方法、多物理场耦合分析、宏模型的建立,为微电子机械系统的建模仿真指明了研究方向.详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键,多物理场耦合计算的理论方法和器件及系统宏观模型的建立,介绍了用于MEMS系统级模拟仿真的宏模型建立的几种方法,最后结合硬件描述语言VHDL-AMS提出了建立微电子机械系统模型实现系统级模拟的方法. 相似文献
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微电子机械系统 (MEMS)是一种新兴技术 ,它几乎影响着每一个科学技术领域 ,如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问题。简述了微电子机械系统技术的基础概念、所用材料、加工工艺等 ;并重点综述了该技术在光纤通信系统中的广泛应用。 相似文献
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研制微力学测试仪,对微电子机械系统中键合结构的强度进行测试。最大载荷为1．4N,在载荷量程为450mN时仪器的最高分辨力为10μN。采用键合在玻璃基底上的硅悬臂梁作为试样。为模拟横力剪切破坏和扭转破坏工况,用微力学测试仪分别在悬臂梁的固定端和自由端施加载荷至试样破坏。测得相应的破坏载荷并计算出最大剪应力。对破坏残骸的显微观察发现,存在玻璃开裂和硅开裂2种失效模式。该技术为微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)键合结构的强度表征提供一种有效方法,并可用来进行微悬臂梁或微桥的强度测试。 相似文献
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微电子机械系统技术应用研究 总被引：5，自引：0，他引：5
微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域，文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术，讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。 相似文献
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微电子机械系统的几个力学问题 总被引：2，自引：2，他引：0
讨论微电子机械系统（MEMS）的三个力学问题：（1）微系统界面区域的力学性质。（2）薄膜－基底结构界面的裂纹扩展。（3）微机械的弹塑性－粘着接触力学。文中在阐述了研究现状后,简要地报导了作者及其合作者对上述三个问题的研究结果。 相似文献
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微电子机械系统的力学特性与尺度效应 总被引：11，自引：0，他引：11
针对微电子机械系统（MEMS）材料的力学特性,工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论,为设计和制作微机器人等复杂微系统提供了理论依据。 相似文献
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微电子机械系统是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问题。以下简述了微电子机械系统技术的基础概念、所用材料、加工工艺等;重点综述了基于MEMS技术的通信器件及其应。 相似文献
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《仪表技术》1994,(6)
压敏电阻在相序测量指示中的应用……………(1—3)高精度SAW温度测量系统的设计……………一(1—7)高、低压交直流电动机的能耗测试与计算……(1—14)行输出超高压电路……………………………·(1—18)霍尔效应式异步电动机的转差率和转 速测量的探讨……………………………·(1—21)中低压锅炉汽包水位简易自控………………·(1—24)长光棚数显表哞5ttm分辨率的实现…………·-(1—26)兆欧表标度牌自动分选仪……………………·(1—28)磁推轴承电度表………………………………·(1—29)“p化的lMHz电桥装置及测量:方法……………(2—5)充… 相似文献
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一、概述 微电子机械系统(Micro-Electron—Mechanical—System缩写为MEMS)是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。它涉及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学、医学及生物学等学科和技术。 微电子机械从广义上是指集微型机构、微型传感器、微型执行机构及信号处理和控制电路,直到接口、通讯和电源等于一体的微型机电一体化产品。这里的微电子机械产品是指可以批量制造的、几何尺寸不超过1cm~3的制品,最小体积的远期攻坚目标是微米～纳米(μm～nm)范畴。 相似文献
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《机械科学与技术》2004,23(12):1519-1528
1 .机械系统原理的能量表达方法张建明 ,魏小鹏 ,郭继东 (第 1期 1)………………………………………………………2 .一种新型的磁流变阻尼器及其在半主动控制车辆悬架中的应用研究倪建华 ,张智谦 ,张 可 ,周进雄 ,张 陵 (第 1期 4 )…………………………………………………………………………………………………………………………………3.波浪力作用下海洋钻井隔水管随机振动研究李军强 ,刘宏昭 ,何钦象 ,方 同 (第 1期 7)………………………………4 .有挤压油膜阻尼器支承的多故障转子系统的非线性特性研究张 韬 ,孟 光 … 相似文献
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《机械设计》2004,21(12):59-62
§设计领域综述§ ·设计理论与方法 ·机械设计制造共享资源库建设方案杨随先 ,喻俊馨 ,王玫 (1 - 1 )…基于RDCM的设备视情维护系统的技术研究赵涛 ,韩吉韬 ,郭捷 (2 - 1 )……………………………………………………………………基于Internet的数控机床远程故障诊断系统的研究王国锋 ,王子良 ,秦旭达 ,等 (2 - 4 )…………………………………………………柔性结构拓扑优化设计发展概况王振海 ,张卫红 (3 - 1 )……………复杂机械系统方案创新设计阶段符号方案的自动化生成朱殿华 (3- 5)…………………………………………………………… 相似文献
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微电子机械系统在生物医学领域中的应用 总被引：5，自引：0，他引：5
本文介绍了国际上微电子机械系统研究的状况以及发展趋势;阐述了目前微电子机械系统在生物医学中的应用和研究开发的方向;并详细地介绍了日本在微小血管检测系统方面所作的研究工作;最后提出了应用于医疗领域中的微电子机械系统的发展前景. 相似文献
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《仪表技术》1995,(6)
红外散射式表面粗糙度比较仪的a计、、(-5)…·。………(4—21)温度补偿划电流传送器及其应用·、…··(1—9)电于二馈式料位控制器的研究勺应用……(4—26)8031单片机定时计数实用电路··*一门) 一种负压吸力控制输出装置……(4—27)交流阻抗测量与屏蔽…·门一14) 多位幼21码键盘编码电路及应用。…··(4—29)HCS全电子汽车衡……、………·(1—16)l。I编程数字式单稳态多谐振荡器··(4—40)FG120;FGllo@函数发生器。··、(1-19)不采用非线性校正吐路的热电偶温度仪表(4—41)一种简单、灵敏的内附检流计电路·、-门一亚).最佳拓… 相似文献
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微电子机械系统在相控阵天线中的应用 总被引：3，自引：0，他引：3
主要讨论了微电子机械系统(MEMS)在相控阵天线中的应用。在介绍用MEMS开关器件实现的移相器、无源微波传输线、可转动天线单元等之后,重点讨论了微电子机械天线(包括宽频带、多频段可重构天线孔径)。 相似文献
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《仪表技术与传感器》1995,(6)
期页 期页 -.-…。高分辨串、增量式光电幻码器—…··二……………·(3、23) ·、·—。。-· 一种简单的频带补偿放大电路一……………·‘··(3、26)发展中的传感器技术—……………………………·(1、5)高温夹式引伸计的研制及应用—……………·‘…··(4、26)在工业应用中日趋重要的檄传感器、……………·(互、8)热电偶参考端电子补偿技术—·二………·‘…………(5、27)传感技术中的电戳场理论的研究—……………··,·(1、14)高性能Insb t尔元件的设计—…………………··(6、26)动态测量中测量力的确定—……………………… 相似文献