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相似文献
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1.
回顾线锯切技术发展的历史背景.分析了在半导体工业中锯切硅晶锭使用的超薄金刚石内圆锯片的优缺点.阐述游离磨料线锯的产生及其与超薄金刚石内圆锯片的性能对比以及游离磨料线锯在使用中的局限性.文章还介绍了固结磨料线锯中磨料的一些固结方式,并详细阐述当前先进的树脂粘结金刚石线锯和电镀金刚石线锯以及浸渍金刚石线锯的技术规格和技术性能.  相似文献   

2.
利用复合电镀法,分别选取未金属化和金属化的金刚石磨粒,以φ120μm的镀铜圆柱形琴钢丝为基体,氨基磺酸镍溶液为电镀溶液,通过落砂法制备了金刚石线锯。采用扫描电子显微镜观察线锯的表面形貌,并研究了金刚石磨粒金属化对线锯生产的各项参数的影响。结果表明,选用金属化的金刚石磨粒能够得到沉积速度快、密度高、均匀性好、把持力高、使用寿命长、切割效率以及生产效率高的高品质金刚石线锯。  相似文献   

3.
金刚石具有极高的硬度 ,被用来制作工具时非常适宜加工硬而脆的难加工材料。采用电镀法制备金刚石工具有很多优点 :可以得到各种复杂形状、精度很高的工具 ;制造温度低 ,避免了对金刚石的热损失 ;工艺简便 ,设备投资少 ,制造周期短 ,成型方便 ,可以修复等等。目前 ,电镀金刚石制品已有各种砂轮、磨头、什锦锉、掏料刀、修正滚轮、地质钻头、扩孔器、内外圆切割片、绞刀、线锯等专用工具 ,广泛用于机械、电子、地质钻探、建筑业等。电镀法制备金刚石工具是通过金属的电沉积 ,将松散的金刚石颗粒固结在电镀层中 ,使金刚石颗粒具有切削能力。电…  相似文献   

4.
介绍了两种类型固结金刚石线锯:树脂粘结的PWS-R型和电镀的PWS-E型,且均为多线锯锯床进行高效率和高精确度锯切而研发的.对这两种线锯进行了锯切单晶硅和蓝宝石晶棒试验以评估其性能.证实了这两种线锯比通常的游离磨料型线锯锯切具有高得多的效率.特别是PWS-E型线锯在锯切效率方面具有优越性,而PWS-R型线锯对晶片的损伤较少.  相似文献   

5.
探讨金刚石线锯的技术问题,包括母线的材质、规格、强度、连接方法和结构形式;金刚石磨料的拉度、某些物理特性以及金刚石磨料在母线上的电镀固着方法和树脂粘结法及其改进措施.文章还提出了有待探索研究的课题,包括复合固着法、母线精细喷砂处理、金刚石磨料表面织构化处理以及微水刀激光技术应用于晶片切割的可行性.  相似文献   

6.
电镀金刚石线锯在单晶硅片和蓝宝石等贵重硬脆材料的切割加工领域广泛应用,其切割效率高、损耗小。文章就电镀金刚石线锯的研究现状及发展趋势做了分析与阐述。电镀金刚石线锯的生产效率过低,应通过调整镀液、制备工艺等途径提高线锯生产效率;目前市场上的金刚石线锯切削性能还不够理想,应通过控制切削参数及磨料分布进行改善;最终实现高性能金刚石线锯快速电镀制备工艺的完善。  相似文献   

7.
金刚石电沉积绞合线锯的开发   总被引:2,自引:0,他引:2  
目前在集成电路基底用硅片制造中,切割工序采用磨粒悬浊液的多线锯切正在成为主流.但是,多线锯切存在切割性能受悬浊液供应状态的影响、加工效率低下、加工精度不佳等问题.因此,为了提高作为下一代切割加工法而引人注目的金刚石电沉积线锯的效率和使用寿命,研究开发出芯线为绞合线的金刚石线锯,并介绍该线锯的制作方法及其切割性能.  相似文献   

8.
正金刚石线锯也被称为金刚石切线、金刚线,是指利用电镀工艺或树脂结合的方法,将金刚石磨料固定在金属丝上形成的线性切割工具。以生产工艺来划分,金刚石线锯主要可以分为电镀金刚线和树脂金刚线两大类。由于其优良的切割特性,被广泛应用于晶体硅、蓝宝石、磁性材料、水晶、陶瓷等产品的切割领域。相较于传统切割工艺,金刚石线锯具有切割效率高、材料损耗少、出片率高、环境污染小等优点,可以提升  相似文献   

9.
采用金刚石丸片和固结磨料抛光垫两种方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)为指标对金刚石丸片和固结磨料抛光垫的研磨性能进行了评价.结果表明:固结磨料抛光垫研磨硅片的材料去除率高于金刚石丸片;研磨后硅片的表面粗糙度也优于金刚石丸片,且表面粗糙度(Sa)在中部和边缘相差不大.最后分析了研磨硅片的产物-磨屑的形状特征,得出固结磨料抛光垫研磨硅片时的塑性去除量远高于金刚石丸片.  相似文献   

10.
随着半导体工业的高速发展以及太阳能光电池产业的突起,对单晶以及多晶硅材料的需求不断增加.精密切割工具不仅要满足切割的质量,还要保证现代化生产的高效率.采用传统内圆锯片切割以及游离磨料多线锯切割逐渐显示出各种不足.而采用固着磨料多线锯切割是快速发展起来的一种精密切割技术.该文综述了固着磨料多线锯的锯丝制造方法,总结了固着磨料多线锯加工硬脆材料的锯切工艺,介绍了目前使用较多的多线锯切割机床,并展望了提高固着磨料多线锯锯丝寿命的可能途径.  相似文献   

11.
陈建文 《广东化工》2006,33(6):79-81
乙烯酮(双乙烯酮)是十分重要的化工中间体,其下游产品较多。江苏某化工厂开发生产乙烯酮(双乙烯酮)下游产品三十多个,年生产规模三万多吨,是国内以乙烯酮(双乙烯酮)为中间体生产精细化学品的综合骨干企业。针对乙烯酮(双乙烯酮)下游产品废水特点,该厂结合企业实际,开展了产品优化,结构调整,清洁生产,资源循环利用,节水降耗等工作,从源头削减了污染物的生产。同时投资二千多万元新建预处理装置三套,6000m3/d废水生化处理装置一套,使全厂乙烯酮(双乙烯酮)下游产品的废水得到了有效的治理。  相似文献   

12.
阐述并比较了几种加压设备在乙炔加压清净过程中的性能和特点。  相似文献   

13.
本文通过三个厂家提供的三种煤样燃烧热的测定,由测定结果综合得出3号煤样燃烧最完全、燃烧热也最大,是三个煤样中最好的一种。  相似文献   

14.
A semi-empirical equation of state for metals is described. Its capabilities are demonstrated by the example of the equation of state for aluminum. New experimental data are presented on the location of the isentrope of aluminum for unloading from the state at p = 229.71 GPa on the shock adiabat to an aerogel (SiO2) of density 0.08 g/cm3. __________ Translated from Fizika Goreniya i Vzryva, Vol. 44, No. 2, pp. 61–75, March–April, 2008.  相似文献   

15.
水泥水化热是中、低热水泥和核电工程用水泥的一项关键的技术指标。全球范围内测定水泥水化热的方法有溶解法、直接法/半绝热法、等温传导量热法三种。本文总结了中、美、欧相关方法标准,对其测试原理、仪器设备、试验过程等方面进行了比对,并对其在领域的应用做了简单的概括。  相似文献   

16.
论述了涂装工艺设计对涂装设备投资、涂装生产成本的影响。  相似文献   

17.
A thermochemical rather simple experimental technique is applied to determine the enthalpy of formation of Diperoxide of ciclohexanone. The study is complemented with suitable theoretical calculations at the semiempirical and ab initio levels. A particular satisfactory agreement between both ways is found for the ab initio calculation at the 6–311G basis This set level. Some possible extensions of the present procedure are pointed out.  相似文献   

18.
A perturbation viscometer is a differential capillary viscometer that measures the logarithmic viscosity gradient of the viscosity-composition curve for gas mixtures. Measurements are made at different gas mixture compositions. Integration of the logarithmic viscosity gradients measured over the full composition range gives the mixture viscosity relative to the viscosity of one of the pure components of the gas mixture. This method is attractive because, for measurements of equal precision, integration of the gradients is potentially an order of magnitude more precise than measurement of the viscosities directly. It can also work at high and low temperatures and perhaps high pressures.The perturbation viscometer has been used to make measurements on ideal gas mixtures at ambient and elevated temperatures. The situation is more complicated when the gas mixtures are non-ideal. Extra effects due to density differences, molar volume change on mixing and differential thermal expansion may be measured in addition to the desired viscosity change producing systematic errors in the results. Thus, a more sophisticated apparatus is required. The standard perturbation viscometer has been modified to separate out the extra effects to permit measurement of the true change in viscosity. In addition, the theoretical operation of the modified apparatus has been revised to account for the design changes to permit calculation of the viscosity-composition profiles from the results.The apparatus has been tested using helium-HFC-125 mixtures and two new viscosity-composition profiles are presented for these mixtures at 23 and . Internal consistency tests have been used to confirm that the data produced are of high quality with an estimated uncertainty in the viscosity ratio data at of 0.9% and at of 1.5%.  相似文献   

19.
塔设备改造选型的分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
黄洁  张学 《化工设计》1997,7(3):23-27
就当前扩产增容中塔设备设计和改造时板式塔和填料塔的选型问题加以分析。在评述目前国内常用的几种塔板和新型填料之后,着重介绍一种新型塔板(导向梯形浮阀塔板)和一种新型填料(波环填料——乾隆帕克)。  相似文献   

20.
周辉  李灵  娄伦武 《化肥工业》2013,40(4):36-38
气化给煤装置自投运以来,出现了气化煤仓堵煤、称重给煤机输送皮带因跑偏而损伤以及清扫装置故障频繁等问题,多次造成气化系统减负荷运行。通过对出现的各种问题进行分析,找到了产生这些问题的原因,并有针对性地采用配煤和改进清扫链等措施,使出现的问题得到了极大的改善。  相似文献   

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