磁控溅射镀膜膜厚均匀性设计方法

镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性问题是实际生产中十分关注的。本文在现有的理论基础之上,对溅射镀膜的综合设计方法进行了初步的建立和研究,系统的建立可以采用"整体到部分,再到整体"这一动态设计理念,不断完善设计方法,并将设计方法分为镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计和计算机数值仿真三大部分。镀膜设备工程设计、镀膜工艺设计及二者的数值仿真这三者之间是相辅相成的,镀膜设备工程设计决定镀膜工艺过程的实现,镀膜工艺促进镀膜设备的升级,而高性能的计算机仿真设计给两者的设计提供了强有力的支持。     

基于PLC的原子沉积设备控制系统设计与实现

目的 为提高原子沉积镀膜工艺的可靠性,稳定薄膜质量,设计基于可编程逻辑控制器(PLC)的一种原子层沉积设备控制系统。方法 针对工作原理和工艺需求,根据传感器和执行器的特点,确定了以西门子S7–200 Smart PLC为控制器,以昆仑通态1070Gi触摸屏作为人机界面的硬件系统方案,实现所有逻辑控制;并利用PLC的晶体管输出端子,采用“PID+PWM”技术进行加热区域温度控制。结果 该控制系统实现了原子沉积镀膜一键操作,保证了镀膜过程中高精度温度均匀性要求(±1℃),确保了设备的可靠性和沉积薄膜的可重复性。结论 经实际应用,证明该控制系统具有稳定性好、误差小、自动化程度高等优点,达到了工艺要求。     

HCD法工具离子镀设备的研究

ＴｉＮ镀膜刀具的质量主要取决于涂层的耐磨性、附着强度、均匀而合理的涂层厚度。为了制备高质量的涂层刀具，除了刀具本身的质量和前处理外，镀膜设备的性能以及工艺参数是个关键。本文是根据我们多年来在ＨＣＤ设备和工艺方面的试验研究经验，论述了工业生产型ＨＣＤ设备的技术性能、结构特点、工艺参数、以及ＴｉＮ镀膜刀具的切削性能等。     

镀膜机的微机控制

设计了磁控溅射-多弧镀膜机的微机控制系统．采用PLC可编程控制器与上位机进行数据传递和控制设备的控制方式。本微机控制系统中的真空镀膜机，设计了3套孪生磁控、10套多弧和8级工艺的过程控制，具有自动组合工艺和自控程序升级功能，从而实现多种工艺的镀膜要求。     

AZ31镁合金表面多层膜的结构与性能研究

研究了在AZ31镁合金表面依次进行浸锌、化学镀镍、电镀铜、电弧离子镀Cr/CrN的复合镀膜工艺.利用x射线晶体分析仪、扫描电镜、显微硬度计、腐蚀测量系统及热震法等仪器和方法对复合镀层的显微组织及性能进行了研究.结果表明,在此复合镀工艺条件下,可以在AZ31镁合金表面形成致密度高、结合强度好、耐蚀性好且硬度高的复合合金镀层;AZ31镁合金镀膜后的显微硬度形成一个梯度,由71.1HK提高到2224.8HK;耐蚀性明显提高,腐蚀电位从-1481mV提高到-382mV.     

锌-聚四氟乙烯复合镀

研究了Zn-PTFE复合镀工艺，能得到PTFE含量达38％（vol)的复合镀膜。测量了复合镀膜的摩擦性能，摩擦系数μs=μk=0．11，复合镀膜具有自润滑性能。     

90年代大面积真空镀膜的展望

用蒸发方法镀制金属镜是早期商用大面积真空镀膜技术之一。对早期的这些应用来讲,只要膜的光学密度及膜与基底的附着力满足了基本要求就行,而对膜厚及均匀性等均未作特殊控制。时至今日,大面积真空镀膜已从简单的制镜以及在“钟罩”内在刚性单个物品上镀膜发展到包括用卷绕式镀膜设备在纸及塑料基底上连续制备薄膜。这些大面积镀膜技术已得到了很广泛的应用,它们包括电容器的金属化聚合物膜、包装材料的装饰膜、建筑玻璃镀膜、工艺装饰品镀膜,反射镜面和透镜镀膜以及防眩 CRT 屏等。新的市场需求、技术进步     

卷绕镀膜工艺研讨会通知

应部分单位要求,机械电子工业部沈阳真空技术研究所、中国真空学会获得专业委员会及《真空》编辑部共同发起召开卷绕镀膜(如镀遮阳膜,彩虹膜、镀铝纸、包装膜、电容器膜、装饰膜……)工艺研讨会,邀请有关专家和卷绕镀膜设备生产厂解答当前在卷绕镀膜生产中存在的问题,并进行技术交流。 请有关单位特别是卷绕镀膜设备生产厂及用户大力支持,踊跃参加,团结一致。华夏赤子安能拱手相让国外设备及产品占领我国市场。《真空》编辑部愿为马前卒,参与筹备全国大型的卷绕镀膜工艺研讨会,首先编集出荟萃国内外近十年来卷绕镀膜技术新进展的论文集 (《…     

一种双真空室结构磁控溅射台的研制

本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜.该设备采用双真空室结构,使溅射室始终维持较高的真空度和洁净度,提高镀膜质量和镀膜效率.环绕溅射室设计了3个直流靶和1个射频靶,能够溅射金属膜、介质膜、混合物和化合物薄膜.文中详述了该设备的设计原理、总体结构及工艺控制方法.该磁控溅射台已开发成功并投入使用,替代了同类进口设备.     

高效节能型聚对二甲苯真空镀膜设备研制及其在农业领域的应用

随着聚对二甲苯（Parylene）镀膜技术的快速发展和应用,如何有效提高聚对二甲苯材料的利用率、提高成膜质量、降低生产成本等在工业化生产过程中被广泛关注。本文对常规聚对二甲苯真空镀膜设备的结构特点和应用现状进行了详细分析,结合稀薄气体流动特性、传热学及工业化生产需求,设计研制了采用内置裂解加热器的聚对二甲苯真空镀膜设备。同时,根据聚对二甲苯镀膜室特有的环境工况以及膜层可抵御酸碱、盐雾、霉菌的特性,提出了对鲜花和低水分干种子进行镀膜保护的工艺研究,拓展了聚对二甲苯镀膜技术在农业领域的应用。     

民宿无人值守智能管理系统设计与实现

在民宿的运营成本中,人力成本与能源成本所占份额较大。为了在降低成本和减少能源损耗的同时增加收益,设计了一款民宿无人值守智能管理系统。基于数据挖掘技术,利用爬虫程序获取了大量民宿运营数据,为辅助民宿商户决策提供参考;使用无线RFID（radio frequency identification,射频识别）技术,通过读写器读取对应标签的RSSI（received signal strength indicator,接受信号强度指示器）值来检测人体位置的变化情况,使得入住管理和退房管理更加高效;通过STM32控制模块控制照明灯、窗帘和空调等的驱动电路以实现自动控光、自动控温等功能,或通过智能触控面板手动控制智能家居设备。结果表明：结合SVM（support vector machine,支持向量机）算法,RFID检测系统可准确检测到房间内人员的变化情况,其准确率达到99.25%,具有较高的实用价值。研究显示,该智能管理系统可实现民宿的无人值守管理,既降低了人力成本又减少了能源损耗,为响应国家智能用电服务的乡村振兴战略奠定了基础。     

CT条盒包装机条盒纸自动喷胶控制系统的研发

目的 由于乳胶长时间暴露在空气中,使得乳胶的品质降低,影响乳胶涂抹在条盒上的效果,为解决在条包生产工序中条包产品的质量缺陷,以及清洗胶缸所产生的乳胶浪费和对环境污染等问题。方法 设计一种新型条盒包装喷胶自动控制装置,通过对喷胶控制技术的研究,综合喷胶装置、压力胶桶、PLC控制器、控制程序,通过光电检测、PLC移位控制、胶枪高压涂胶和压力泵供胶等技术,实现条盒包装机条盒的自动同步喷胶、精准涂胶、乳胶余量检测及报警。结果 安装条盒喷胶自动控制装置后,能实现乳胶的密封无污染储藏与输送,新增条盒定位检测,胶枪准确涂胶,压力供胶与胶量余量检测等功能,条盒喷胶的质量得到了提升,保证了产品合格率,提高了乳胶的品质,并降低了乳胶消耗。结论 该条盒喷胶自动控制装置能提升条盒的喷胶质量,降低乳胶消耗,减少乳胶对环境的污染,提高设备作业率,降低有缺陷的条盒进入下道工序的风险,可推广应用于烟草行业内所有条盒包装机组设备上。     

全玻璃真空集热管镀膜设备的发展

本文主要介绍了全玻璃真空集热管镀膜设备的发展历程,重点描述了集热管镀膜设备发展过程中的重大改进,以及镀膜设备提高生产效率和节能降耗的方法,对其他行业镀膜设备的发展和改进有一定的借鉴意义。     

清洁高效的提取冶金--矿浆电解

环境污染和能源短缺是重有色金属冶炼的两大障碍。在对重有色金属湿法冶金存在主要问题进行分析的基础上研究成功的矿浆电解新技术,是一种清洁、高效的提取冶金。它具有流程短、能耗低、金属分离好和环境污染少等特点。矿浆电解的显著特点是充分利用了电积过程的阳极反应来浸出矿石,工艺能耗大大降低;在电解槽中硫化物转化为元素硫,而不产生硫酸,有利于环境保护。文章描述了国内外矿浆电解技术的发展过程及我国建立的世界上第一个矿浆电解工业生产厂的概况,指出我国在该领域处于世界领先地位和矿浆电解技术具有很好的前景。     

圆盘式智能化立体车库结构和弱电系统设计

智能化立体车库是物流仓储科学中的一门综合科学技术工程.它以高层立体车位架为主要标志,以成套搬运设备为基础,以先进计算机控制技术为主要手段,实现高效率存取,已经逐步发展成为技术密集型产品的代表.圆盘式立体车库结合智能化设计,存取过程中针对目标车辆进行单一操作,降低电机耗能.     

基于光强感知的太阳能智慧跟踪系统设计

为提高太阳能的利用率，根据最大功率跟踪原理，设计了一种基于光强感知的太阳能智慧跟踪系统。首先，从太阳能智慧跟踪系统的工作原理出发，对其结构进行总体设计；然后，基于太阳能智慧跟踪系统各模块的性能需求，开展硬件设备选型和软件设计；最后，搭建相应的实验平台对太阳能智慧跟踪系统进行组装和调试，并通过功能测试验证了其性能。结果表明，所设计的太阳能智慧跟踪系统可以实现太阳能板对太阳光的智慧追踪，且能完成远程控制；另外，该系统结构简单，成本较低，既能节约能源，又能提供良好的供电水平，满足了高科技产品的需求，符合现代能源利用发展趋势。     

基于器械包改进的消毒器械物流系统智能优化研究

目的 利用物联网技术改进器械包并优化消毒器械物流系统,开发出污染风险低、回收率与追溯率高的消毒器械智能化物流系统。方式 通过文献分析法确定器械污染独立影响因子,运用射频识别技术(RFID)改进器械包,利用智能设备优化原物流系统;根据动态规划与贝叶斯风险原理构建消毒器械污染风险函数,在有限预算下测算出风险最低的建设方案,对比分析优化前后器械回收率与污染率,检验优化效果。结果 算例结果得到,相较于原系统,优化后的智能物流系统器械回收率提高了79.82%,污染追溯率提高了81.18%,器械污染风险率降低了86.33%。结论 结合器械污染风险函数运算结果表明,在一定预算条件下,该模型能测算出污染风险最小的系统优化方案,帮助管理者做出决策。说明合理运用物联网技术提高消毒器械物流系统数字化水平,不仅能提高器械数据采集率,还能有效提高器械回收率与污染追溯率,降低器械污染风险。     

多层PET/PE复合膜的大尺度间歇热封工艺能耗研究

目的 分析热封设备连续加热热封工艺的能耗模型,优化设计适合大尺度热封设备的间歇加热热封工艺。方法 首先通过电热特性试验了解镍铬合金的升降温规律,拟合得到镍铬合金的升降温模型。其次分析连续加热热封工艺能耗模型,提出适用于大尺度热封设备的间歇加热热封工艺流程,并建立能耗模型。结果 以多层聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚乙烯（PET/PE）复合膜为热封对象,以最小能耗为优化目标,计算得到最优的热封工艺流程。结论 大尺度热封设备采用间歇加热热封工艺加工可以有效减少能量损耗。     

药用玻璃包装自动装盒系统设计与实现

目的 针对现阶段药用玻璃包装产业升级对数字化、自动化、智能化的设备的迫切需求，提出一种药用玻璃瓶（西林瓶、安瓿瓶、口服液制剂瓶等）自动装盒方法，以降低劳动强度，提高产品质量。方法 以安瓿瓶为例，在充分分析具体需求的基础上，借助计算机辅助设计技术和仿真技术，采用“自顶向下”的设计方法，完成系统三维模型机械设计和运动仿真。利用PLC工业控制技术，建立能够兼容不同规格产品的生产线的控制模型，实现系统智能控制，并完成样机的试制。结果 在国内几家大型药用玻璃包装生产企业成功应用后，所研制的药用玻璃瓶自动装盒系统能够有效减少因传统装盒方法对瓶身造成的划伤和污染，包装人员成本减少了40%，产品合格率提高了5%。结论 所研制的药用玻璃瓶自动装盒系统可显著提高产品的质量、降低劳动成本，加快了行业自动化、智能化进程。     

The Construction of a Green Transportation System of China

Since the 21st century, the transportation industry in China has achieved rapid growth with a significant increase in the transport capacity; however the development has also greatly impacted the energy saving & environmental conservation. This paper takes into account non-commercial vehicles such as private cars in the statistics of energy consumption and pollution of Chinese transportation system. This method extends on previous methods which solely include commercial vehicles in these statistics. Based on more comprehensive quantitative data, it reviews the progress in the energy saving and environmental conservation efforts by the Chinese transportation industry and points out that the rapid increase of energy consumption and pollution emission and the deterioration of traffic congestion are prominent problems in the development of the Chinese transport industry. The main reasons for theses problems include the unbalanced development of different transport modes, the irrational layout of integrated transport hubs, the inadequate law, regulations and standards, and the use of suboptimal technology. Based on these findings, this paper proposes several goals for the construction of a green transportation system in China including the establishment of a transportation management system, the improvement of transportation energy efficiency, the control of environmental pollution and the alleviating of urban traffic congestion. Additionally, it points out that in order to build a green transportation system in China, multiple aspects should be enhanced, i.e., the formulation of traffic planning, the optimization of transport structure, the development of urban public transport, improvement of integrated hubs, administration of energy saving and environmental conservation, development of intelligent transportation systems, technical innovations, etc..