带真空封装结构的红外探测器

本发明提供一种红外探测器,它包括一个列阵,列阵中的每个像元都有一个微桥结构。在上述微桥结构中有一片与衬底隔开的膜片,它是由一种横梁结构支撑的．每个像元还有一个真空封装结构,该真空封装结构内有一层窗口薄膜,这是用来封闭由于去除膜片中的第一和第二层牺牲薄膜而形成的第一和第二个真空容积的。     

3通道短波红外光谱可识别列阵探测器的研制

用掩模分离方法或薄膜刻蚀方法制作出多波段微型滤光片列阵，交过类微型焦平面色散元件与列阵探测器结合，构成光谱可识别列阵探测器，报道了3通道短波红外滤光片列阵的设计和制作，以及4元3通道光谱可识别探测器的研制。     

30Gbit/s Parallel Optical Receiver Module

报道了一种基于CMOS工艺接收电路芯片和GaAs工艺1×12光电探测器阵列的30Gbit/s并行光接收模块.该模块采用并行光通信方案,利用中高速光电子器件实现信号的高速传输.直接使用未经封装的接收电路裸片和光探测器裸片,采用电路板上芯片技术封装制作模块,并通过倒装焊的方式实现了探测器阵列与列阵光纤的精确对准并形成了可插拔的光接口.测试结果表明模块的接收能力可以达到30Gbit/s.误码率小于10-13时,接收模块的灵敏度可以达到-13.6dBm.     

30Gbit/s并行光接收模块

报道了一种基于CMOS工艺接收电路芯片和GaAs工艺1×12光电探测器阵列的30Gbit/s并行光接收模块.该模块采用并行光通信方案,利用中高速光电子器件实现信号的高速传输.直接使用未经封装的接收电路裸片和光探测器裸片,采用电路板上芯片技术封装制作模块,并通过倒装焊的方式实现了探测器阵列与列阵光纤的精确对准并形成了可插拔的光接口.测试结果表明模块的接收能力可以达到30Gbit/s.误码率小于10-13时,接收模块的灵敏度可以达到-13.6dBm.     

红外搜索与跟踪系统的硬件实现问题（下）

4不均匀性补偿 红外焦平面列阵传感器是用一维探测器列阵或者二维探测器列阵制成的,每个探测器覆盖传感器视场中的一个景像像元.这些红外焦平面列阵灵敏度高,光学结构简单,机械结构紧凑,但却存在着不均匀性[3-5].现有两种方法可执行不均匀性补偿.     

横向集电型HgCdTe红外探测器

为了满足美国宇航局的对流层发射光谱仪的严格的性能要求,美国喷气推进实验室已研制了若干HgCdTe红外光电探测器列阵.这些探测器列阵为双层平面异质结构型,但它们与常规的双层平面异质结构型列阵不同,即,它们采用了一种特殊的横向集电结构.与以前的这种列阵相比,这些探测器的制作成品率、电流电压特性以及低温性能都有了改善.     

室温型热释电红外探测器焦平面列阵新进展

文中介绍了目前室温工作的热释电红外探测器焦平面列阵的国外进展，混合型铁电陶瓷焦平面列阵已进入批量生产阶段，这类焦平面列阵制作的热像仪已于１９９５年进入商品市场，而单片式铁电薄膜红外探测器焦平面列阵还处在实验室研究阶段。     

可编程高光谱红外焦平面列阵

红外探测器可产生用于温度测量和热探测的热图像。它们可以用于军事、工业和医学等不同领域。从结构上看,红外探测器又可分为单元、小列阵、长线列阵或者二维列阵。 本发明提供的是一种量子阱红外焦平面列阵,它是     

医用红外多光谱相机

本发明提供一种医用红外多光谱相机,它包括一个长红外电荷耦合器件、一个中红外探测器列阵和一个能使长红外电荷耦合器件及中红外探测器列阵同步操作的控制装置。中红外探测器列阵可以包括碳纳米管,后者可以是探测器元件,例如,可以是已调节好带隙的碳纳米管。该探测器列阵上的每个分辨像元可以包括一个内含一根上述碳纳米管的平衡惠斯通电桥电路。探测器列阵上的相邻像元可以按正交偏振模式排列。这种医用红外多光谱相机可以用来获取患者某一有关部位的多光谱图像,以进行医学试验。患者既可以是人,也可以是动物,既可以是已知的健康人,也可以     

20元长波HgCdTe光导探测器列阵

本文报道了利用单片工艺和特殊的镶嵌技术,获得了20元HgCdTe光导探测器列阵,并给出探测器列阵性能以及工艺中所需注意的问题。     

10元Hg_0.80Cd_0.20Te光导探测器

在研究航天用光导探测器过程中,发展了一种适合于目前器件工艺条件下的特殊的拼接工艺技术,利用这一技术可以获得目前单片材料很难得到的小列阵多元光导探测器,以及多元多色器件和等平面组合多色器件。本文报道了10元线列阵HgCdTe光导探测器制备中关于材料选择,研磨和抛光,表面处理,器件筛选几个问题,以及10元线列阵探测器     

用离子注入法研制低暗电流和高性能的Hg0.57Cd0.43Te红外探测器

本文介绍美国雷神视觉系统(RVS)公司和AVYD器件公司在提高红外探测器性能方面所获得的成果。这两家公司联合验证了一些具有高可操作性和高性能的甚大规格成像焦平面列阵,它们将在未来的近红外和短波红外成像应用中发挥应有的潜能。这种探测器的设计理念可能会使像元间距小到5μm的大规格焦平面列阵达到衍射限分辨率。本文报导雷神视觉系统公司的先进样品制造厂把该公司的Hg_(1-x)Cd_xTe材料生长和探测器操作工艺方法与AVYD公司的p型离子注入方法结合起来在制作平面探测器列阵晶片方面所做的工作。同时综述像元间距为20μm的1024×1024元短波红外焦平面列阵的性能。这种探测器列阵是用响应波段为从近红外至2.5μm截止波长的Hg_(1-x)Cd_xTe材料制作的。通过柱状焊接互连技术,探测器列阵与雷神视觉系统公司的天文学级读出电路片焊接在一起。这些焦平面列阵在整个光谱范围内呈现出极佳的量子效率和均匀性,并呈现出中值为每秒0.25个电子的甚低漏泄电流。用来制作探测器列阵的工程级Hg_(1-x)Cd_xTe外延层是用经过改进的液相外延方法在CdZnTe衬底上生长的,并经过了复合的钝化/离子注入/钝化处理。本文详细评论探测器的性能数据,其中包括测试结构的电流-电压特性曲线、截止光谱曲线、焦平面列阵的量子效率和漏泄电流。     

列阵式热电探测器串热分析

列阵式探测器具有很多优点,是探测器的发展方向。许多国家都在研制先进的列阵热电探测器。本文建立了列阵热电探测器的模型和热传导方程,求解出了器件内部的温度分布解析式,由此给出了限制串热的五种方法:①适当增加单元器件面积②提笔调制频率③选用容易大的村底材料④造用热导率小的热电晶体材料⑤各单元之间嵌入绝热材料。     

用递归空间低通滤光片对红外探测器列阵进行无颤动非均匀性补偿

美国专利US6507018 (2003年1月14日公布) 本发明提供一种用于补偿红外探测器列阵探测器元件响应非均匀性的无颤动空间-时间低通滤光片方法。该方法既适用于一维扫描列阵、又适用于二维凝视列阵。首先,它需要确定景物与探测器列阵的相对运动是否足以使用空间-时间低通滤光片型非均匀性补偿(NUC)算法。如果是,它便应用NUC算法,然后NUC     

辐射探测装置

本发明提供一种辐射探测装置,该探测装置能够用于探测被监视场景中的一些事件,如火或者入侵者的出现．它装有一个探测器列阵,如红外探测器列阵,但有两个视场．第一个视场是受一个透镜限定的,该透镜可将一个远距离场景的聚焦图像聚焦在探测器列阵上;第二个视场是受位于列阵平面和透镜之间的一个反射器限定的,它可以将从第一个视场外部进入透镜的辐射反射到探测器列阵上．该辐射探测装置还装有一个或者多个处理器,因而它能够将第二个视场内的事件同第一个视场内的事件区分开来．     

红外探测器列阵及其制作方法

美国专利US6914245 (2005年7月5日授权) 本发明提供一种红外探测器列阵。该红外探测器列阵上的每个红外探测器均由两部分组成,其中一部分是一端固定在衬底上的支撑腿,该支撑腿有一个包含绝缘     

非致冷热成像摄像机用后向反射器

热成像摄像机是利用特殊的红外光具将红外辐射聚焦在红外探测器或红外探测器列阵上的。为了使红外探测器列阵的性能达到最佳化,需要用一块挡板或     

非致冷测辐射热计的研制方案

介绍一种基于氧化钒（ＶＯｘ）测辐射热计探测器的红外焦平面阵列（ＩＲＦＲＡ）,叙述了它的材料、制作方法、探测器列阵、真空封装和器件性能等有关问题,并与其它与非致冷热电焦平面阵列进行了比较。氧化钒（ＶＯｘ）测辐射热计ＩＲＦＰＡ可构成高质量的红外热像仪,非常适合于军事和民品的广泛应用,在下一个十年这项技术有望发展成为一种新的产业。     

混成红外探测器列阵与改善动态范围的CMOS读出电路

美国专利US7551059 (2009年6月23日授权)本发明提供一种混成图像传感器,它包括一个CMOS读出电路和一个红外探测器列阵。CMOS读出电路通过铟柱焊接与红外探测器列阵的至少一个探测器连接。CMOS读出电路包括两个放大器电路,这     

日本制造列阵红外探测器件的工艺现状

由于日本具有雄厚的半导体工业基础,所以,近年来日本列阵红外探测器件的制造技术发展相当迅速,例如,达200元之多的碲镉汞列阵器件已经制成,并应用到许多科研和生产中。日本生产红外探测器列阵器件的公司主要有东京芝浦电气股分公司和富士通股分公司。下面介绍这两家公司制造红外探测器列阵器件的工艺。