小型高功率XeCl激光器

上海光机所一室二组研制成功一台小型高功率XeCl准分子激光器,其光学谐振腔长仅有16cm,激活体积为0.8×2×7cm~3紫外光预电离Blumlein放电泵浦。由于精心设计了预电离和主放电电路,脉冲具有快的上升时间,并可在超过30ns的时间内给出均匀辉光放电。Blumlein电路两个电容器的尺寸是43×30cm~2和23×30cm~2整个器件的主体部分可置于一个40×90cm~2的台子上。此器件已给出最大42mJ的脉冲能量输出,峰值功率2MW。是迄今报道的激活长度最短的、峰值功率超MW、脉冲能量几十毫焦耳的放电泵浦XeCl激光器。     

低抖动双通道准分子激光器

设计了一台快放电双通道XeCl准分子激光器。测得该激光器两束激光间的抖动时间在一个工作大气压时为±1ns,在二个大气压时为±5ns。每个通道的激光输出能量在80～100mJ,最大约150mJ。     

短脉冲XeCl激光动力学模型及辉光抽运设计

以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现。采用辉光脉冲放电方法,实现了激光输出,根据动力学方程、XeCl激光四能级模型,计算了XeCl反应速率及密度。结果表明,辉光放电稳定,激光脉宽短,功率高,辉光放电体积大,激光脉宽18ns,单脉冲能量450mJ,矩形光斑2cm×1cm,束散角3mrad。动力学分析和系统模型成立,激光对靶材溅射获得了等离子羽辉。     

在He-Cd激光器中加入碘提高3250埃激光输出功率

T. Arai等人(IEEE J. Quant. Electr. , QE-13,No. 6, 1977)在氦-镉激光器中加入少量碘,提高了4416埃激光输出功率30～40％。我们观察了碘对3250埃激光输出功率的影响。氦-镉激光器选用电泳式全内腔结构,放电毛细管长度65公分,内径2.2毫米,腔长90公分。在最佳放电条件下,当碘蒸气压在5×10~(-4)托附近输出功率增加到一个峰值,碘蒸气压升高到5×10~(-3)托附近输出功率开始下降,碘蒸气压到达1×10~(-2)托激光完全消失,这个变化     

H_2对X光预电离长脉冲XeCl准分子激光的影响

在XeCl激光混合气体中加入适量的H_2可以使激光器的一次充气寿命增加,本文研究了H_2对X光预电离长脉冲放电XeCl准分子激光输出特性的影响。实验结果表明,当激光混合气体加入适量H_2以后,会产生二种效应:其一是使激光脉冲峰值功率提高20～30％,其二是使激光脉冲持续时间变短。实验所用的激光器是一台用平均能量为75kV的X射线源作预电离的放电型准分子激光器,其放电回路采用水传输线作脉冲形成网络,放电持续时间约为200ns。用曲率半径为5m的全反射镜和透过率为80％的部分反射镜组成激光谐振腔,激活     

高峰值功率脉冲氟化氢激光器

报道了大体积火花预电离横向放电的脉冲HF激光器。通过采用紧凑的结构安排,在放电体积为4cm×5cm×90cm的SF6和C2H6混合气中获得了均匀稳定的放电。在总气压为12.6kPa、最高充电电压45kV时,激光输出脉冲能量为3J,激光脉冲峰值功率约18MW。     

长脉冲大面积强流电子束源

本文介绍的长脉冲大面积强流电子束系统是为横向泵浦和控制放电泵浦大能量气体激光而设计和研制的。电子束能量为200250keV,脉宽约为13s,电流密度在0.58A/cm2范围内可调,束截面积约为10010cm2。用这台电子束系统已成功地进行控制放电泵浦XeCl激光,在1.91的激活体积中获得激光能量为1J。今年又用它作为CO2激光的泵浦源,在7.851的体积内初步获得360J的激光能量。     

脉冲放电时间对XeCl准分子激光输出的影响

本文研究了脉冲放电时间对X光预电离XeCl脉冲雪崩放电激光器激光和荧光特性的影响。结果表明限止放电型XeCl准分子激光脉冲持续时间的因素是HCl在放电过程中分解产生的H对XeCl（B）态的猝灭效应。     

Blumlein放电长脉冲XeCl激光器的窄线宽输出

本文在一台长脉冲Blumlein放电XeCl准分子激光器上采用光栅、棱镜和标准具等腔内选择元件,研究了XeCl激光器的调谐特性、谱线宽度和光束发散特性。得到了单脉冲能量2mJ、窄线宽(～10~(-2))和衍射极限发散角(0.15mrad)的激光输出。     

脉冲激光扫描淀积类金刚石薄膜

采用能量密度为1.178×109W/cm2的XeCl准分子激光直接辐照高纯度的石墨靶,并同时采用辅助放电,在1×10-5Torr的真空环境中,于温度为80℃的Si(100)的基片上淀积出类金刚石薄膜,Raman光谱显示在1330cm-1处出现较强的散射峰值;对薄膜红外光谱进行测试,其光谱在2900cm-1处有吸收峰,表明所淀积的类金刚石薄膜含有C-H键,其H元素与C元素的比为45%.薄膜的电阻率为1.89×106Ω/cm,通过光吸收测得的该薄膜的能隙为1.55eV.     

磁约束放电激励的XeCl准分子激光器

本文对激光激励的一种新技术—磁约束放电激励技术在XeCl准分子激光器中的应用进行了实验研究。并分析比较了以Ar或He为缓冲气体时磁约束放电激励对XeCl准分子激光输出的影响。     

XeCl激光器及辐射谱

最早的XeCl激光器以Cl_2作含卤材料,由于Cl_2对XeCl激光波长的吸收,致使器件效率很低,因此研制高效率XeCl激光器的首要问题是寻找合适的Cl化合物。我们曾用BCl_3在Blumlein型横向放电     

高同步双束XeCl准分子激光器的脉冲加宽

我们利用一台新颖的双通道准分子激光器,在两组主放电电容上分别连接两组LC脉冲形成线.两组电容器用一个公共火花隙控制对相应的通道放电.获得了脉冲宽度达60ns,高同步(抖动时间≤±4ns的XeCl准分子激光输出.每束激光的能量达120mJ.     

非稳腔在小型TEA CO2激光器中的应用

在研制的火花阵列式紫外光预电离小型TEA CO2激光器中,应用平凸非稳腔,在放电体积为180×60×11.5mm3,主放电电容为0.028μF,充电电压为20kV的条件下,获得了210mJ的基模激光输出.     

电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性

为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。     

输出能量1.5J的LiF∶F_2~-色心激光振荡

我们用(?)8×160mm钕玻璃激光作为色心激光的纵向泵浦光源,以30×30×2.5mmLiF:F_2~-色心晶体做调Q元件,单脉冲输出时脉宽200ns,多脉冲的脉宽为0.8ms,能量为10J.大块优质LiF:F_2~-色心激光晶体尺寸38×47×73 mm,谐振腔由二块平面介质反射镜构成,在1.1～1.26μm波段范围内其反射率分别为100%和8%.谐振腔长度约为30cm,LiF:F_F~-色心晶体在谐振腔内的安放位置与钕玻璃激光的倾斜角约为4°.LiF:F_2~-色心激光振荡经LN晶体倍频,调至具有明亮的58nm黄色激     

用于白癜风治疗的308nm XeCl准分子激光系统

研制了一台用于白癜风治疗的308nm XeCl准分子激光系统。根据准分子激光器脉冲式放电的特点,设计了推挽式脉冲开关电源。实验研究了激光器脉冲重复频率、工作电压、气体寿命对激光输出能量的影响,并检测了激光输出脉冲能量的稳定性。通过自动反馈控制系统调整激光头放电工作电压实现输出激光能量的稳定。激光采用扩展型紫外液芯光纤传导,得到均匀性良好的治疗光斑,液芯光纤对308nm激光的传输效率约为70%。激光器脉冲重复频率1～200Hz,工作电压18～25kV,输出能量不稳定度小于4%。经光纤输出用于治疗的有效光斑直径22mm,脉冲能量密度2～3mJ/cm2。     

在XeCl放电激光器中的回路电感效应

本文研究了电子雪崩放电XeCl准分子激光器放电回路电感对放电特性与激光脉冲输出能量的影响。     

双通道准分子激光器通过技术鉴定

1985年12月7日～8日,来自全国十六个单位的近二十名专家对中国科学院安徽光机所研制的双通道XeCl准分子激光器进行了技术鉴定。 这台双通道准分子激光器是在同一个激光装置中用一个充N_2火花球隙高压开关带动两个通道同步放电,输出两束高度同步的脉冲激光。在器件的     

XeCl准分子激光器特性研究

本文在改进了的X光预电离XeCl准分子激光器上,研究了充电电压和主放电延时对输出的影响,给出了0～700毫微秒范围的延时特性曲线。