X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器

提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法.首先利用电子束光刻和微电镀技术制作x射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器.制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中.研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方法.     

叉指换能器模型对声表面波滤波器的影响及其设计考虑

本文论述了叉指换能器(IDT)模型对声表面波滤波器(SAWF)综合设计的影响;指出了现有综合设计方法共同存在的问题;并提出了一种新的设计思想和方法。该方法能将IDT的物理模型直接纳入SAWF综合设计之中,并能消除现有方法不可避免存在的器件实际响应与设计目标响应之间的偏离,提高SAWF的设计精度。     

声表面波单指无内反射叉指换能器结构及其性能分析

根据我们以前的理论,本文提出了一些常用晶体的各种可能的单指无内反射叉指换能器结构,并分析了影响它们性能的几种因素。其中YZ—LiNbO_3,ST—X石英及X,112°YLiTaO_3上的金或金加铬单指结构存在某些缺点,用途受到较大限制,仅适用于带宽较宽及对中心频率准确度要求不太严格的场合。而上述三种基片上的沟槽填铝结构及Y128°LiNbO_3的铝和铝加铬单指结构是比较好的结构,具有比较广泛的用途。最后给出了我们在ST—X石英上用沟槽填铝单指结构研制的一种高带外抑制窄带滤波器的实验结果。     

镜像阻抗连接叉指换能器制作低损耗声表面波滤波器浅探

介绍了镜像阻抗连接叉指换能器制作低损耗声表面波滤波器的基本原理，给出了研制的在同一种基片上采用不同的镜像阻抗连接叉指换能器制作的不同带宽的低损耗声表面波滤波器，并且可从结果中看到带内波动≤０．３ｄＢ。     

微机械叉指换能器声表面波陀螺

回顾了声表面波(SAW)陀螺发展史，总结了声表面波陀螺设计思想的变迁，重点介绍了一种新型微机械-叉指换能器(MEMS—IDT)声表面波陀螺。它具有适合标准IC工艺生产的简单二维结构，具备体积小、成本低、便于批量生产以及不用真空封装的特点。由于没有普通微机械陀螺的悬浮机构，抗冲击及振动的能力较普通微机械陀螺显著提高。同时，提出了一些迫待解决的问题。     

声表面波器件体波效应抑制理论研究

针对声表面波器件中体波效应的影响,介绍了叉指换能器激发声体波的机理。根据声体波在基片上的不同传播方式,提出了不同的抑制方法。对在基片表面传播的声体波,利用声体波与声表面波有不同的能量传播角改变接收叉指换能器的位置来抑制体波效应。对在基片体内传播的声体波,则根据其传播和反射原理确定接收叉指换能器的位置来抑制。结果对声表面波器件的设计和工作性能提高具有指导意义。     

叉指对数对阶梯形叉指换能器的频响特性研究

阶梯形叉指换能器具有频响性能好,设计简单等特点,为了能在实际应用中对阶梯形叉指换能器进行灵活设计,首次采用改进的δ函数模型对阶梯型叉指换能器进行建模,并通过Matlab软件进行仿真分析,研究了叉指对数对阶梯形叉指换能器频响特性的影响。分析结果表明,阶梯形结构在叉指换能器中所占比例越大,叉指换能器的主峰曲线越好,旁瓣抑制程度也越好。该研究结果对高性能声表面波器件的设计研究具有很强的实用意义。     

声表面波非线性相位叉指换能器的设计

论述用“积木式”方法,采用均匀条宽和间隔的叉指结构,实现对群时延有特殊要求的声表面波叉指换能器的设计原理和方法.在时域上引入了不同群时延的窄带校正函数.对幅频特性和群时延特性进行精细调整.研究了机辅设计程序.实验表明,该程序对设计各种幅频和相频特性的IDT是行之有效的.     

异型声表面波器件PSPICE仿真

提出了采用PSPICE仿真声表面波器件的方法,它将叉指换能器一个周期段Mason等效电路复阻抗采用LC串并联网络等效,并以子电路形式由叉指换能器等效电路调用,两换能器间声传播路径采用等延迟时间的无损耗传输线等效,同时考虑外电路影响,仿真得到的异型声表面波器件的幅度特性与实测结果基本相符。     

剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究

研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。     

阶梯形IDT结构的仿真研究

提出一种叉指换能器的新结构,并用δ函数模型对其进行了分析仿真。结果表明,该结构克服了传统设计仿真时需加入反射栅或反射器来模拟叉指换能器内反射的缺点,大大缩减了δ函数模型仿真的繁杂性,通过自身结构的优化来模拟叉指换能器内反射．并运用δ函数对其建模,然后通过Matlab对其仿真。仿真结果表明,应用此结构设计出的叉指换能器主峰曲线较好,旁瓣抑制较大,达到设计要求,其设计效率高,实用性强。     

Cadence：选择EDA工具以技术和服务为先

几年以来，通信核心芯片厂商IDT公司在进行着一场无声的“变革”。为了能够使公司更加健康、长远地发展，IDT在核心定位、产品线结构和市场重点区域规划方面都进行了调整。     

IDT RapidIO gen2启动

IDT的产品包含丰富的数字媒体体验的低功耗、混合信号解决方案,拥有领先的无线和有线通信基础设施产品.作为Serial RapidIO器件领先供应商,IDT致力于串行RapidIO技术的发展,不断开发新的产品以适应市场需求.     

IDT：2012关注云计算、移动和4G／LTE无线基础设施

半导体行业竞争异常激烈,这是一个投入数百万美元设法降低而非提升价格的行业。因此,这个行业每隔几年就会大变一次：变化使得过去几年努力建立起来的竞争优势被一举击破。对于占据行业领导地位的厂商来说,这是个坏消息,但对整个行业而言却是好消息,因为变化能够为新加入的厂商提供机会,让每一家厂商身处压力之下,从而不断进行产品创新和改善公司业绩。     

虚拟演播室技术在节目制作中的应用

介绍虚拟演播室的工作原理、应用途径和方法,以及视频和音频与灯光的运用,这些新技术使演播室的制作效果得到很大改善,制作的节目更加逼真、立体感更强。     

虚拟演播室技术在节目制作中的应用

介绍虚拟演播室的工作原理、应用途径和方法，以及视频和音频与灯光的运用，这些新技术使演播室的制作效果得到很大改善，制作的节目更加逼真、立体感更强。     

太阳能电池埋栅电极制造新技术

介绍了用电镀法来制造太阳能电池的埋栅电极方法,对各镀层所需的溶液配制及操作工艺参数进行了详细的说明,通过与传统工艺的比较,可以看出采用新技术制造太阳能电池片,可有效降低栅线电极成本,提高电池片转换效率。     

Validation of Haptic Enabling Technology Acceptance Model (HE-TAM): Integration of IDT and TAM

This study examined the factors affecting the adoption of Haptic Enabling Technology (HET) based products by developing an integrated research framework which combines Innovation and Diffusion Theory (IDT) and Technology Acceptance Model (TAM). Also, we added the concepts of presence and perceived enjoyment to shed light on the hedonic aspect of consumer’s adoption of innovation product like HET product.     

使MEMS技术更为经济

在过去的20年中,人们已经开发出了种类繁多的MEMS加速度计,其中大多数都是基于同样的机械系统:带有一个与弹簧相连的敏感质量.弹簧的形状可以是薄膜片式、悬臂梁式或者其它一些结构.