纳米级几何量计测技术

“科技要发展,计量须先行。”(聂荣臻语)随着80年代初第一台能探测到原子尺度的扫描隧道显微镜问世,人类认识世界的能力产生了新的飞跃。近年来各国竞相开展纳米(10~(-9)米)技术微型工程的研究。在生命科学、材料科学、微型机械及微电子技术等领域,科学家正利用纳米技术识别DNA遗传密码、证实介于晶体与非晶体之间的准分子的存在、研制微型机械与传感器探测各种信息以及更大幅度地提高微电子芯片的集成度等。可以预言,微型工程的研究与发展将     

微机电系统发展的新动向

微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电 系统 (M EM S:M icro E lectro M echanicalSystem )。它将微电子 、微米 /纳米加 工技 术、精 密机械、微纳米传感器、微纳米材料等技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统 ,完成大 尺寸机电 系统所不 能完 成的任 务;也可以嵌入大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。微机电技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究…     

机电一体化讲坛 第一讲 机电一体化与支柱产业

第一节　机电一体化机电一体化是微电子技术向传统机械工业渗透过程中逐渐形成和发展起来的 ,是机械技术、微电子技术和信息技术相互融合的产物。它的产生和发展 ,给整个国民经济、社会生活带来了深刻的变化 ,促进了工业经济的发展。机电一体化涵盖“技术”和“产品”两个方面。机电一体化技术是微电子技术、计算机技术、信息技术与机械技术相结合的一种综合性技术 ,是使机电一体化产品 (系统 )得以实现、使用和发展的技术。机电一体化产品是指机械系统和微电子系统有机结合 ,从而赋予新的功能和性能的新产品。随着科学技术的发展 ,机电一体…     

微型机械的研究现状及其产业化分析

微型机械是在微电子工艺的基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，具有广阔的应用前景。文 中分析了微型机械的研究发展现状，并对其市场前景进行预测。提出微型机械技术产品产业化是微技 术发展的必然趋势，在我国实现微型机械的产业化具有一定的可行性和必要性。最后，对于产业化过程 中的一些相关问题提出相应的对策。     

2000年我国机械科学技术展望〈三〉

四、微电子技术与计算机在机械制造业中的应用展望 (一)机械电子一体化的技术装备和产品机械技术与微电子技术、信息技术紧密结合,是机械工业发展的必然趋势。事实证明,这种结合从硬件和软件两个方面,把机械产品的功能和性能,以及制造技术提高到     

2000年我国机械科学技术展望〈三〉

<正> 四、微电子技术与计算机在机械制造业中的应用展望(一)机械电子一体化的技术装备和产品机械技术与微电子技术、信息技术紧密结合,是机械工业发展的必然趋势。事实证明,这种结合从硬件和软件两个方面,把机械产品的功能和性能,以及制造技术提高到一个新的水平,使机械产品的构成发生了变化,所带来的经济效益和社会效益是相当可观的,这种结合被称为“机电一体化”。机械工业引入微电子技术,不仅可以改造老产品,更重要的是可以促进机械产品升     

机电工程科学前沿与发展的思考(4) 综合化是机械工程发展的途径

2　机电一体化工程 (ＭｅｃｈａｔｒｏｎｉｅＥｎｇｉ ｎｅｅｒｉｎｇ)是高技术装备的基础将机械与电、气、液、光、生物和信息等技术融合在一体 ,从而彻底改变了传统机械产品的结构和功能 ,产生出大量全新的技术与产品 ,这就是机电一体化工程。机电一体化是当前我国企业改造、产业调整、产品更新的重要内容 ,也是企业大发展的重大机遇。4 2 1　关于微电子芯片制造微电子技术的核心是集成电路芯片制造技术。集成电路诞生于 2 0世纪 60年代初。 30多年来 ,其集成度 (单个硅片上的元件数 )由几十个元件的小规模集成电路 ,发展到今天上亿个元…     

机电一体化技术与产品发展纲要研究

一、机电一体化技术及产品的重要地位与作用1.机电一体化技术及产品的含义机电一体化技术是一项将机械、电子计算机和信息处理等技术综合运用的复合技术。机电一体化并不是机械与电子技术的简单叠加,而是有机的结合,或者说是“融合”。一般来说,初级形式的机电一体化产品是指采用微电子技术产品代替和完善机械产品中部分装置,从而提高产品性能,提高社会经济效益。而高级形式的机电一体化产品,是综合利用先进的机电     

坚持科学发展观,推进机械制造业(下)

三、通过学科交叉与融合,开拓制造技术的新生长点光化学加工传统的机械加工方法早已不能充分满足社会各方面,特别是微电子、微机械、微光学、生物工程及各种高科技发展的要求。有人说,非传统加工或称特种加工,是近年来发展最快的加工方法,这是事实。必须综合应用在各个领域的科技成就,才能解决国民经济、国防、科学和人类生存等方面的各种装备和工具问题。近年来国际生产工程学会年会连续安排了“纳米技术:国际发展状况与呈现的产品”、“短与超短脉冲激光加工—技术水平”、“微型工程”等主题报告。本届大会的主题报告“光化学加工—从最…     

一种多功能微型电子机械系统

一种多功能微型电子机械系统谢国章一、引言微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）是德国学者于８０年代末提出的概念，意指由微机械与微电子集成所构成的微型结构，具有小型、可靠、性能优越、生产成本低等优点，既有微电子的处理功能，又有微机械的传感与执行功能，是一全智能系...     

21世纪的机械工程

机机械、机械工程科学的诞生与发展促成了18～19世纪的工业革命,被人们称为“机械文明”。20世纪后期诞生了微电子技术,它与机械相结合,使机械本身出现了革命性的变化,还促成了新颖的微型机械的诞生。同时也对机械提出了新的要求。微电子技术使机械的自动控制机构彻底简化,使机械的自动化程度和柔性大大提高,因而制造业可以由大批量自动生产线作业转向多品种、小批量、常变化的柔性自动化生产线作业。传感技     

对我省机械电子一体化的一点看法

机电产品采用微电子信息技术,在国外已很普遍,在国内也有很大发展,并被愈来愈多的人所重视,究其原因是机电一体化产品与传统产品相比具有极大的优越性:①机电一体化可以提高产品工作效率.例如,在内燃机上采用微电子信息技术,按运行情况控制点火提前角和空燃比,大大提高燃烧效果和内燃机运行效果,减少环境污染.②采用微电子信息技术,扩充了机械产品的技术性能,提高了产品档次.最近发展起来的数控机床(CNC 型机床)、柔性制造单元(FMC)、柔性制造系统(FMS)、自动化工厂     

大力促进机械技术与电子技术的有机结合积极开发新一代机电一体化产品

机械技术与电子技术有机结合,实现机电一体化,是机电产品技术发展的方向。它是机械学,微电子学和信息科学三者有机结合的一门综合性技术,应用这门技术开发的机械产品,即机电一体化产品。它的特点是:省力化、高功能化、结构简化及节能著称,其产品常常以轻、薄、短、小化出现。机械技术与电子技术的结合,不是简单的相加,而是有机的融合,使其整体发生了质的变化。这里指的电子系包括微电子和电力电子,采用微电子技术可以在很小空间内完成复杂的测量、运算、记忆、延时、判断、诊断,数/模或模/数转换等信息处理及功能控制;采用电力电子技术则可以与机械的功率部分,强电部分结合,完成各种变流、变频、变压等强电控制功能以及接受微     

纳米测量技术与微型智能仪器

纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分。微型明仪器,是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物,是微型机械电子系统的主要开窍内容之一。它将仪器的性能提高、价格下降、在生产和生活中应用更加方便。微型智能仪器具有良好的应用前景,是２１世纪仪器发展的一个重要方向。对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题,关键技术及其发展进行论述。     

通用机械行业机电一体化的现状和发展趋势

一、概述机电一体化是指机械与电子的有机结合,就是在传统的机械、电器,仪表等制造工业中引进微电子技术,特别是微处理器或微型计算机,从硬件到软件两个方面把传统产品的功能和制造技术提高到一个新水平。“机电一体化”一词,是自七十年代开始     

非开挖机械

GJ20052099 中国隧道盾构掘进机的发展和应用[刊,中]/白杉…//筑路机械与施工机械化.—2004,21(7).—41～43介绍了盾构掘进机在中国广州公路隧道、上海轨道交通线隧道和南京长江盾构隧道等3大工程中的应用情况,总结了国内几十年来盾构机研究取得的技术进步。揭示了盾构机的绿色化、微型、超大型化和多样化的发展趋势。     

《机械强度》2001年第23卷总目次

纳电子机械系统·微电子机械系统的力学特性与尺度效应梅　涛　孔德义　张培强　伍小平 ( 4— 373)…………………………………………………微电子机械系统的几个力学问题余寿文 ( 4— 380 )…………………………………………………………………………………………多晶硅微电子机械构件材料强度尺寸效应研究丁建宁　孟永刚　温诗铸 ( 4— 385 )……………………………………………………关于微卫星姿态控制手段的几点考虑薛明伦　李战华 ( 4— 389)…………………………………………………………………………微电子机械系统中的残余应力问题…     

国外微型机械及微执行器的研究

由于高新技术的迅速发展,微型机械包括各种微传感器、微执行器和微控制器的研究和为一些尖端技术发展过程中的重要手段越来越受到国际科技界的重视。微型机械多种多样。如可在狭小的空间和危险场所进行维护检查的自行式微型机械、可进入管道、人体腔体甚至血管进行检查和手术的微型机械、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜上的分辨力以纳米计的微动机构、半导体领域和分子机械领域都出现了很精密的微型机械。国外为了提高微型机械的研究水平,最近还定期举办微型机构和微型机器人的比赛,包括爬山、爬崖和自我表演等项目,由于微型机械都必须有所动作,因此其中的微执行器(micro-actuator)最为重要,其工作原理多种多样。本文将就微型机械、微执行器的原理和国外的微型机构比赛作一综述。     

微型机械技术的应用和市场前景

文章阐述了微型机械技术在未来五年间的发展趋势，介绍了当今发达国家微型机械已经从研究状态进入了工业化的生产阶段。文章对微型机械产品市场进行了分析和预测，并对微型机械产品应用领域的市场进行分析和预测。     

精密机械——新兴的综合性学科

随着新的科学技术革命的迅速发展,对各类机械产品的要求日趋高性能、高可靠性、智能化、省能耗、省资源消耗与低成本等。这就迫切要求形成一门由机械、微电子、现代光学技术等为基础、结合其它各领域最新成就的综合性学科——精密机械或精密工程(PrecisionEngineering)。目前,国内外已成立了很多相应的研究单位、高校的系科及跨行业的学会组织。并且,为了开展国际间的学术交流。欧美诸国自1981年以来每隔二年举办一次精密工程国际学术讨论会。所涉及的具体领域有:毫