双频激光干涉仪动态测量系统

一、引言双频激光干涉仪是以激光波长为基准的精密测试仪器。它不仅可作为长度、角度和平直度等测量基准,而且体积小、便于携带,可在计量室、车间及环境要求不高的场合使用。因而,它在机床和三座标测最机等的几何精度和定位精度的测定,仪器测量精度的标定等方面都得到广泛的应用。     

双频激光定位测量系统波长变化规律的研究

双频激光定位测量系统是研制超精密机床的关键。双频激光测量是以波长为基准，本文分析了波长的变化规律。为提高在线测量的准确性与稳定性打下了基础。     

双频激光干涉仪中的数字相位计设计

基于Altera公司FPGA芯片,提出了一种基于双频激光干涉仪系统中数字相位计的实现方法。该相位计用于测量系统中被测信号和参考信号之间的相位差角度,间接测量激光干涉仪的光程差信息。被测信号经过光电接收器以及A/D模数转换成数字信号送到FPGA芯片中,与FPGA内建的查找表参考信号做正交相关法解调运算,得到一组X-Y值,再利用CORDIC算法计算arctan函数获取相位差,最后计算出干涉仪的光程差,算法的全过程使用FPGA硬件实现。实验结果表明,该相位计使双频激光干涉仪的相位差测量精度在0.01°以内。     

双频激光干涉仪外置接收器电路设计

在双频激光干涉中拍频信号的高精度测量是双频激光干涉测量中的重要技术,广泛应用于精密机械、微电子加工等制造业的高速超精密测量场合。通过使用差分电路设计,提高了电路的抗干扰能力,有效地抑制了温度飘移,显著提高了信号的检测精度。     

基于双频激光干涉仪的重型数控机床定位精度测量

采用激光干涉仪对重型数控机床纵向上两段位置定位精度进行测量,得到目标位置点的定位精度和重复定位精度,并对试验值进行了分析,为探索利用虚拟检测方法得到全程精度值打下一定的基础.     

双频激光干涉仪高精度测量大型工件内外径系统的研制

本文提出了一种利用激光准直仪出射光线瞄准大型工作内外径测量点的新方法。详细介绍了由双频激光干涉仪和激光准直仪构成的大直径测量系统的测量原理及系统的软硬件设计，给出了１０００ｍｍ量块和Φ５００ｍｍ工件对比实验结果，测量１００ｍｍ直径时测量系统的误差〈１０μｍ。     

Elden公式法在双频激光干涉仪测量系统的应用

双频激光干涉仪测量系统是以激光波长为测量基准,在空气中传播的激光波长会受到空气折射率变化影响,分析了现有的激光波长补偿方法,重点对间接补偿法中的Edlen公式法进行了研究.搭建了一套双频激光干涉仪测量的实验平台,并对不同光程下实验平台的稳定性进行了测试,结果表明:实验平台的测量值能达到m量级,具有较好的稳定性.采用高精...     

应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度

介绍了应用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度的原理、方法及测量误差分析。     

双频激光干涉仪的原理与应用（一）

双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力，特别适合现场条件下使用。仪器与不...     

基于单频激光干涉仪的精密工件台定位系统设计

激光干涉仪是以稳频氦氖激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的工具。近年来,激光干涉仪一直作为精密测量工具为精密加工机和工件台进行定位校准工作。本文介绍了一种基于单频激光干涉仪的精密工件台测量定位系统。本定位系统采用单频激光干涉仪作为精密测量工具,采用高档8位单片机作为数据处理微控单元,并基于VC＋＋语言编写相关控制软件。实际应用证明本系统定位速度快,精度高,理论上最小分辨率为58．6pm。     

高测速双纵模双频激光干涉仪系统的研究

以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干涉仪系统光路框图和信号处理框图,并给出了振荡器频率选择的基本公式。所研制系统纵模间隔约728MHz,计数器选用最大允许计数频率10MHz的82c54,振荡器为频率为723MHz的JE0723型介质振荡器。在3m激光测长机上的实验证实:系统分辨率为0.32μm时,最大允许测量速度可达1300mm/s,能满足各种高速运动设备的检测及标定需求。     

一种双频激光动态转角测量的新方法

本方法利用平行四边形梁式弹性体、双频激光干涉测角仪测量转速，实现３６０°范围内的动态转角测量。可同时进行转角和转速瞬态测量，且转速越高测量分辨力越高，具有能够实时测量，动特性好、简单易行等优点     

激光角度干涉仪测量精度的几个影响因素

激光角度干涉仪是高精度的角度测量仪器,但是其测量精度受到诸多因素的影响。本文讨论了激光角度干涉仪的一些误差来源并介绍了减小这些误差影响的方法。     

几种激光干涉仪精度校准方法的分析

激光干涉仪的精度校准受到多种因素影响,是一个复杂的问题。本文讨论了三种激光干涉仪的精度校准方法。为了提高校准精度,应根据实际环境条件选择最合理的校准方法。     

干涉测距系统中的光程定位

提出一个由定位干涉仪和测量干涉仪两部分组成的光纤干涉距离测量系统,并采用标准长度光纤实现量程倍增以增大测量范围。文中重点讨论了用准单色光源脉冲电流调制干涉实现光程定位的方法及其精度,通过理论分析和仿真实验可知,定位重复性误差优于±1μm.     

双腔激光干涉仪

文章针对检测长激光器光谱特性的高分辨要求,研究了一种采用双腔的高分辨率激光扫描干涉仪,大大缓和了被检光源的单色性要求,多倍提高了分辫率。文章中举例设计了双腔激光干涉仪。     

基于激光干涉仪的测量机几何误差检定技术

误差补偿技术是提高测量机精度的一项重要技术,其内容包括误差模型的建立、误差检定和误差补偿。针对一种特定结构形式的测量机建立其包含13项原始几何误差的误差补偿数学模型,提出基于激光干涉仪的,针对包括定位误差、直线度运动误差、角运动误差和垂直度误差在内的测量机各单项几何误差的检定方法,并通过数学模型对测量机的测量误差作补偿,由此生成的误差检定模块还可以嵌入到测量机软件中,实现对测量机几何误差的快速检定和反复检定。试验表明,经误差补偿,测量机单轴在176mm测量范围内的最大测量误差由补偿前的0.1399mm减小为0.0017mm。利用该方法检定测量机的几何误差并作误差补偿能够有效地提高测量机精度。     

Mensi激光扫描仪精度测试方法研究

本文报道了一种新颖的激光扫描仪精度测试方法。采用室内双频激光干涉仪为计量标准,建立了一条高精度室内基线。以扫描仪的定向球作为测量目标,通过对球面拟合获得其球心,以此作为间接测量点,并统计建模前的点位精度。将多个间接测量点与室内基线进行比对,得到了建模后的点位精度,并检验出了扫描仪的尺度因子。合成建模前的点位精度和建模后的点位精度,即为扫描仪的综合点位精度。将本文的研究成果进行拓展,即可应用于其它类型扫描仪的精度测试。