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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
分析压气机稳定性的Euler模型张明川,唐狄毅关键词CVD(化学气相沉积),预涂层,石墨粉,金刚石膜中图分类号TB43旋转失速和喘振是压气机固有的不稳定工作现象,是一个具有挑战性的研究课题。以往的分析模型一般建立在小扰动理论基础上,适用于低速不可压流...  相似文献   

2.
涂石墨粉增强金刚石薄膜形核密度的研究张贵锋,耿东生,李兴无,郑修麟关键词CVD(化学气相沉积),预涂层,石墨粉,金刚石膜中图分类号TB43微电子学等领域的应用往往要求金刚石选择性生长;而作为耐磨硬质涂层,要求最大限度地提高形核密度,以便获得连续、均匀...  相似文献   

3.
基片温度对金刚石厚膜生长的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备了Ф60mm的金刚石厚膜,通过对沉积过程和结果的观察发现,由于所用沉积气压较高,基片不同区域温度不均匀,导致不同区域沉积的金刚石厚膜晶型差距较大.通过对不同区域的结果进行比较,发现850℃为较好的沉积温度,并在对沉积工艺进行优化后,采用该温度在Ф60mm的基片上制备了厚度为0.6mm取向性很好的金刚石厚膜.  相似文献   

4.
运用等离子体辅助热丝化学气相沉积设备分别进行了金刚石膜和金刚石 /碳化钛复合膜的沉积。实验条件 :甲烷流量与氢气流量比为 1∶5 0 ,基体温度 860℃ ,等离子体偏压 30 0V ,沉积气压 4kPa。运用扫描电子显微镜 (SEM )分别观察了沉积膜的表面和断面形貌 ;运用能量扩散电子谱 (EDX)对沉积的复合膜进行分析 ,观察到Ti元素峰和C元素峰 ;运用X射线衍射 (XRD)得到相应的金刚石衍射峰和碳化钛衍射峰。实验表明 ,用等离子体辅助热丝化学气相沉积法可以制备出晶型良好的金刚石复合膜  相似文献   

5.
采用形核 甲烷/氢气生长-辅助气体/甲烷/氢气生长的新工艺,在镜面抛光的单晶硅片上制备了金刚石膜,并用扫描电子显微镜和激光拉曼光谱等测试方法对薄膜的表面形貌和质量性能进行了表征;研究了添加辅助气体对已有金刚石晶型生长的影响.结果表明:以甲烷/氢气为气源时,金刚石膜生长率一般为1.8 μm/h,当分别加入氧气、二氧化碳、氮气时,其生长率都有所提高,其中加入二氧化碳时,其生长率是甲烷/氢气为气源的3倍多,但是加入氩气时,其生长率下降;通过新工艺,在加入氮气或氩气时,第一生长阶段为微米,而第二生长阶段为纳米尺寸,最后制备出具有微/纳米双层复合金刚石膜.  相似文献   

6.
用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在Mo基片上沉积金刚石薄膜时,界面层钼的碳化程度与初始沉积条件有关,利用XRD,SEM,EDS,对界面层进行的研究表明:在化学气相沉积的开始阶段,较低的甲烷浓度有利于碳向基体内的扩散从而让表面的Mo充分碳化,形成富含Mo2C的界面层,甲烷浓度过高时有利于金刚石的形核而不利于碳向基体内的扩散,在金刚石薄膜的生长过程中,碳向基体内的扩散很少,界面层的组成结构保持不变。  相似文献   

7.
介绍了直流电弧等离子体喷射CVD金刚石膜的沉积原理,探讨了在实际生产过程中获得高质量CVD金刚石膜的工艺条件.  相似文献   

8.
通过正交试验对PCVD-TiC膜的镀膜工艺参数进行了优化,得到了制备高硬度、高结合牢度和高沉积速率TiC膜的工艺参数。试验表明,在用PCVD法沉积TiC膜的过程中,TiCl4和CH4的流量是重要的控制参数。过多的TiCl4和CH4都会给TiC膜带来不利的影响。氩气虽然可以提高TiC膜的沉积速率,但同时也降低了膜与基之间的结合牢度。在冷挤压模具上应用的结果表明,镀有优化后的PCVD-TiC膜的模具比镀TiN膜的模具可提高寿命2~4倍。与不镀膜的模具相比,可提高寿命10倍以上。  相似文献   

9.
柱状生长的CVD金刚石膜生长面非常粗糙,并且粗糙度随着膜厚的增加而增加,限制了它的应用,必须对其抛光.本文采用了机械研磨法来研磨CVD金刚石厚膜,研磨速率达6.1 μm /h,厚度去除了36.9 μm,粗糙度Ra从5.9 μm降至0.19 μm.  相似文献   

10.
基片温度对金刚石厚膜生长的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备了ф60 mm的金刚石厚膜,通过对沉积过程和结果的观察发现,由于所用沉积气压较高,基片不同区域温度不均匀,导致不同区域沉积的金刚石厚膜晶型差距较大.通过对不同区域的结果进行比较,发现850℃为较好的沉积温度,并在对沉积工艺进行优化后,采用该温度在ф60mm的基片上制备了厚度为0.6 mm取向性很好的金刚石厚膜.  相似文献   

11.
介绍PVM环境下的SPMD程序模式,并结合程序自动并行化模型APM,提出了克服SPMD不足之处的思想,描述了改进后的SPMD程序模式——aSPMD程序模式。该模式既有SPMD模式的特点,又有Master-Slave模式的特点。文中还给出了一个用APM模型生成的aSPMD模式并行程序的实际运行效率以及aSPMD模式并行程序与SPMD模式并行程序运行时间。  相似文献   

12.
根据离散变量结构优化设计的特点,提出了离散变量结构优化设计的单向搜索算法。算例结果表明,该方法能直接计算具有应力约束和截面尺寸约束的离散变量结构优化问题,也能处理同时具有稳定约束和位移约束的多工况、多约束、多变量的离散变量结构优化设计问题。设计的结构强度和刚度等都有了保证,重量轻,成本低。  相似文献   

13.
帕萨特五速电子控制自动变速器是一款集机、电、液一体化的技术成熟,控制较为先进的自动变速器,其机械传动结构及液压控制系统结构相对来说比较复杂,因此其故障率较手动变速器要高,维修难度也较大。论文重点对该变速器常见的变矩器打滑、限压阀故障、换挡冲击等主要故障进行诊断和维修工艺分析,并编制出故障诊断流程图、维修工艺流程图。  相似文献   

14.
将品质变量引主经济预测模型中,给出了多次跳跃,间断式模型和具有多个转折点的系统趋势变化模型的一般表达式,并结合实例说明了引入品质变量回归模型预测精度的改善情况。  相似文献   

15.
根据工程实际,充分考虑规范规定的约束条件和各项技术标准要求,建立了建筑结构优化模型。利用斐波那契数列的规律,提出了离散变量结构优化设计的斐波那契算法。算例结果表明,该方法能直接计算具有应力约束和截面尺寸约束的离散变量结构优化问题,也能处理同时具有稳定约束和位移约束的多工况、多约束、多变量的离散变量结构优化设计问题。是一种理想建筑结构优化设计方法。  相似文献   

16.
以满应力设计思想为基础,提出了离散变量结构优化的拟满应力设计方法。算例结果表明,该方法能直接计算具有应力约束和截面尺寸约束的离散变量结构优化问题,也能处理同时具有稳定约束和位移的多工况、多约束、多变量的离散变量结构优化设计问题。  相似文献   

17.
提出了一种求两个多项式的最大公因式简单方法,并在此基础上,将该方法推广到任意多个多项式的情形,即给出了一种用矩阵来求多项式系的最大公因式的方法。  相似文献   

18.
针对线性回归模型中仅用数量变量而引起的个别特异点对回归方程拟合不足的问题,利用虚拟变量表示相关的非数量因素可能产生的影响,并以实例说明解决这类问题的方法。  相似文献   

19.
将离散变量结构优化设计的相对差商算法和进退法相结合,提出了一种求解离散变量结构优化设计的混合算法一以相对差商法为算法主体。同时借鉴进退法的思想,逐步前进或后退截面序号,编制程序,并通过算例与拟满应力算法比较,验证混合算法的优越性。  相似文献   

20.
求多项式最大公因式通常是用辗转相除法 ,当多项式次数较高时 ,计算较复杂 ,而推广到多个多项式的情形计算量更大 .本文给出用矩阵的行初等变换求两个多项式最大公因式的方法  相似文献   

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