PECVD淀积工艺及室温NOx气体传感器

本文介绍了用PECVD技术淀积NOx敏感的工艺，并对典型工艺参数条件进行了讨论，我们淀积的这种NOx敏感膜，不仅在旁热情况下对NOx敏感，而且在室温条件下也能对NOx气体敏感，最后，我们对室温NOx气体传感器的一些重要性能指标进行了研究。     

PECVD法Tisi2薄膜的制备工艺研究

本文利用PECVD低温淀积台进行TiSi_2薄膜的制备。采用X射线衍射、俄歇分析和扫描电镜等分析手段,对所制备的TiSi_2薄膜及其氧化特性、多层膜结构和刻蚀特性进行了全面的测试分析,证明采用PECVD方法制备TiSi_2薄膜的工艺是完全可行的。     

PECVD工艺参数对SiO_2薄膜光学性能的影响

为探索利用等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Depo-sition,PECVD)技术制作光学薄膜的有效方法.以SiH4和N2O作为反应气体,通过采用M-2000UI型宽光谱变角度椭圆偏振仪对制作样片进行测试,分析了薄膜沉积过程中的不同的工艺参数对SiO2薄膜光学性能的影响.实验结果表明:在PECVD技术工作参数范围内,基底温度为350℃,射频功率为150 W,反应气压为100 Pa时,能够沉积消光系数小于10-5,沉积速率为(15±1)nm/min,折射率为(1.465±0.5)×10-4的SiO2薄膜.     

有机薄膜晶体管气体传感器的研究进展

重点介绍了电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室在国家自然科学基金资助下开展的有机薄膜晶体管（OTFT）气体传感器方面的研究进展。制备了酞菁铜（CuPc）薄膜为有源层的底栅底接触式结构的有机薄膜晶体管,对器件的制备工艺和结构参数进行了优化,研究了其对H₂S气体的敏感特性。同时制备了P3HT-ZnO纳米棒的复合薄膜、 P3HT单层薄膜、P3HT-MoS₂分层膜和复合膜的有机薄膜晶体管气体传感器,系统地分析了OTFT器件的电学性能和气敏特性。     

循环氩离子轰击对等离子体增强化学气相沉积（PECVD）TiN膜 …

设计了循环氩离子轰击０ＰＥＣＶＤ ＴｉＮ工艺。运用扫描电子显微镜、能谱仪、恒电位仪等仪器设备，研究循环氩离子氮击对ＰＥＣＶＤ ＴｉＮ膜耐腐蚀性能的影响及作用机理。结果表明，循环氩离子轰击提高了膜层在硝酸和硫酸中的耐腐蚀性能。这种主要是由于循环氩离子轰击强化了沉积中的反应，细化了ＴｉＮ晶粒，降低了膜层中的残余氯含量。循环氩离子轰击还可能具有减少膜内缺陷、提高ＴｉＮ膜致密性的作用，从而亦有助于提高膜的     

PECVD法制备碳化硅薄膜的减反射性能研究

利用正交实验方法,探讨PECVD法制备碳化硅薄膜沉积参数变化对其减反射性能的影响,并进一步研究不同沉积参数对薄膜沉积速率和折射率的影响规律。结果表明,沉积参数中衬底温度是影响碳化硅薄膜减反射性能的主要因素;薄膜的生长速率随着衬底温度和硅烷与甲烷流量比的升高而降低,并且薄膜的折射率随衬底温度的升高而增大,但气体流量比对折射率的影响不大。     

准分子激光淀积氧化物薄膜

自1987年贝尔实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以来,脉冲激光淀积技术已得到了蓬勃发展,现在已成为最好的薄膜制备技术之一。本文简要介绍了准分子激光的原理、PLD的原理以及用准分子激光脉冲淀积氧化物薄膜的工艺及其所表现的诸多优势。     

激光诱导等离子体淀积薄膜过程的研究

用激波理论推出了激光诱导等离子体化学气相淀积过程中两个重要参量薄膜面积、膜淀积速率的表达式。分析了激光强度、气体压强、基片温度对淀积过程的影响，为最佳淀积条件的选取提供了理论依据论。     

常压CVD淀积非晶硅薄膜的研究

本文应用常压CVD法制备出了α-Si薄膜,它是非晶硅太阳能电池的良好材料。采用X射线衍射、扫描电镜、红外透射谱和X射线光电子能谱对α-Si薄膜的结构和性能进行了研究,并给出了α-Si薄膜的淀积理论模型。     

双向传感器的动态分析

本文介绍了双向传感器动态分析的一般方法,分析了传感器本身参数对其动态特性的影响,     

循环氩离子轰击对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN膜耐腐蚀性能的影响

设计了循环氩离子轰击 -PECVDTiN工艺。运用扫描电子显微镜、能谱仪、恒电位仪等仪器设备 ,研究循环氩离子轰击对PECVDTiN膜耐腐蚀性能的影响及作用机理。结果表明 :循环氩离子轰击提高了膜层在硝酸和硫酸中的耐腐蚀性能。这主要是由于循环氩离子轰击强化了沉积中的反应 ,细化了TiN晶粒 ,降低了膜层中的残余氯含量。循环氩离子轰击还可能具有减少膜内缺陷、提高TiN膜致密性的作用 ,从而亦有助于提高膜的耐蚀性。     

多传感器融合定位技术研究进展分析

随着GNSS及计算机技术的不断发展,人们对室内外位置服务的需求不断增加。学校、医院、展厅、写字楼等都需要使用准确的室内外定位信息,特别是在应对紧急情况时,室内定位信息显得尤为重要。本文分析了多传感器融合的室内外定位技术研究进展,提出了基于数据融合的多传感器融合定位平台,以GPS技术为主导,结合WIFI、航位推算等定位技术的方法,通过一定的数据融合算法,增强室内外定位的完备性,为进一步实现室内外无缝定位、智慧地球等提供了参考。     

大氢稀释逐层法制备纳米硅薄膜

如何制备高密度、分布可控、尺寸一致的纳米硅量子点,是各种纳米器件研究中首先需要解决的问题。在等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）中,用大氢稀释逐层淀积技术在氮化硅表面上自组装生长高密度、尺寸均匀的硅量子点结构,这种方法充分利用了氢气等离子体在薄膜淀积中诱导晶化作用和对非晶结构的选择刻蚀作用,能够在低衬底温度的条件...     

超微粒子气体传感器

本文叙述了超微粒子的基本概念及其性质,介绍了超微粒子气体敏感膜的制作方法和电特性,通过和一般半导体传感器的比较,指出了超微粒子传感器的优点。最后还给出了集成化超微粒子多功能传感器的结构模型和制作方法。     

基于光栅传感器的高压输电线杆塔监测

通过对输电线杆塔力学分析,利用传感器技术获得杆塔的最薄弱部位的扭转力矩、拉力、倾斜角度等信息,传送到集控中心进行数据比对,由后台控制系统做出判断,明确杆塔出现的机械失效问题,从而作出预警。传感器技术和杆塔的力学分析结合提高了杆塔机械失效监测的效率,通过该方式管理人员可及时掌握杆塔信息,及时发现安全隐患,有效减少导线覆冰引起的杆塔受损灾害的发生。     

流化床CuO烟气脱氮的试验研究

本文介绍了流化床ＣｕＯ烟气脱氮试验，分析了ＮＨ＿３／ＮＯ＿ｘ摩尔比、床温、进口烟气中ＮＯ＿ｘ浓度、床高等对脱氮效率的影响。     

燃煤炉NO_x的生成及降低NO_x的燃烧技术综述

介绍发达国家对ＮＯｘ的生成机理的研究、控制原则和当前降低燃煤ＮＯｘ的燃烧技术．