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本论文简要地对光学薄膜理论作了数学概括,确定了每层涂层光学厚度或波长的稳定性并计算了反射率的第一次与第二次导数。从而将计算结果应用于实例。 1.引言由于在制造光学滤色片过程中经常出现工艺能否再现的问题,所以采用薄膜工艺制备滤色片是不那么容易的。出现这个问题的 相似文献
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薄膜光学监控信号的数字信号处理 总被引:6,自引:2,他引:4
为提高光学薄膜的监控精度和薄膜产品成品率,分别采用经典和现代滤波技术设计了相应的数字滤波器,对薄膜光学监控信号进行了处理,对光学监控信号极值点附近的信号进行了分析。理论模拟的结果表明,经典滤波器和现代滤波器对薄膜监控信号的噪声均有较大的滤出作用,但均造成了信号的延迟。进一步用可编程序控制器和组态软件建立了一套监控系统,将两种滤波器串联使用,在可接受的信号延迟时间下,镀制了单腔滤光片,在实验中将光学监控信号的均方根信噪比提高了6DB以上,验证了数字滤波器的作用。 相似文献
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<正>本论文提出光学淀积(包括若干无吸收薄膜)在已知波长和偏振时与膜层之一的厚度无关。 1.引言薄膜光学层的计算技术通常包括采用入/2无吸收层,入/2无吸收层的主要特征是不影响波长入的反射率R(不管折射率如何),此特征对其他波长的反射率也有一定作用,但不改动波长入的反射率, 相似文献
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一、工作原理: 图1是仪器的光路图。本仪器分成干涉仪和单色仪两部分。前者包括照明系统,干涉仪主体以及成象系统。后者则由狭缝、物镜L3,L4分光棱镜以及显微镜组成。 相似文献
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基于混合优化算法测定铝薄膜光学常数 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种离线精确测定金属铝薄膜光学常数的方法.与传统的原位测量方法相比,这种方法简便,不需要连接到真空室的复杂测量设备上.该方法以测量椭偏光谱曲线和分光光谱曲线为目标,考虑金属铝薄膜在空气中表面氧化的影响,在混合优化算法的基础上,使用基于色散关系的多波长法拟合确定金属铝薄膜从紫外到可见区(200~800nm)的光学常数;优化算法采用多种群并行遗传算法和单纯形法相结合的方式,提高了拟合质量和速度,得到了理想的结果,光谱曲线拟合误差<2%.在确定了铝光学常数的基础上,镀制了单腔紫外诱导透射滤光片,测量的透过率光谱与设计结果在265nm处的峰值透过率偏差<1%. 相似文献
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目前的实际生产加工需求中,需要一种高精度、简单易行的薄膜参数检测方法。但是,传统的基于透射光谱法的单纯形法只能够得到薄膜的厚度信息,无法获取准确的薄膜的折射率。本文基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率T与厚度d及折射率n之间的关系的数学模型。进而利用遗传算法求解该数学模型。由于薄膜透射光谱数学模型的特殊性,按照实际的精度需求,有针对性的选取了遗传算法中的关键参数:种群大小、交叉概率和变异概率。并且针对透射光谱的具体情况,设计了离散化的适应度函数。最终的拟合结果表明,基于遗传算法的透射光谱法能够快速、准确的得到薄膜的光学参数。 相似文献