等倾干涉条纹在SPR现象中的规律研究

对叠加在SPR曲线上的等倾干涉务纹的变化规律进行了研究。通过计算干涉条纹周期随入射角度的变化，发现干涉条纹周期在原SPR谐振角附近，存在着-个奇异的尖锐的突起，称之为SPR干涉谐振峰，尖峰所对应的入射角称为干涉谐振角θint-SPR．对于涉谐振角θint-SPR与敏感膜厚度和折射率的关系进行了计算与分析。理论计算表明：干涉谐振角θint-SPR与敏感膜厚度和折射率有着良好的线性关系，并与SPR谐振角θSPR的线性具有相同的量级，这说明可以通过测定干涉谐振角θint-SPR来检测金膜表面的生物分子相互作用，从而提出了一种确定SPR峰值移动的全新的方法。     

等倾干涉分段图解法

研磨面平尺是一种精密的平面标准器具。它是检定样板直尺工作棱边直线度的标准器，其工作面平面度有较高的准确度（见表1），可以依照JJG740—91研磨面平尺检定规程规定的方法求得其平面度误差值。尺寸较小的研磨面平尺可用平面平晶或长平晶以等厚干涉法直接测量。但对于较大的研磨面平尺，无大平晶时需用分段法测量，等厚干涉法保证不了其检定精度要求，必须采用等倾干涉法检定。本文叙述的等倾干涉分段图解法，可直观地显示研磨面平尺平面度误差的形状和数值，是检定研磨面平尺平面度的数据处理方法之一，是检定规程给出的计算法的补充…     

迈克尔逊干涉仪的调节技巧

本文主要从迈克尔逊干涉仪的原理出发,详细介绍了在做等倾干涉和测量光波波长实验时,如何快速、准确地调节好迈克尔逊干涉仪.     

新型平面度测试仪的设计

本文简述了平行光束倾斜入射在两相近表面产生等厚干涉条纹测量平面度的原理,从而设计出一种等厚干涉条纹格值(指等厚干涉条纹所对应的厚度间隔)可变化的新型平面度测试仪。本仪器主要适用于 LSI 和 VLSI 制造技术中测量抛光硅片、掩模版和超微粒照相版的平面度、也可用来测量光学玻璃、金属、陶瓷和 GaAs 等材料制成板的平面度。     

压电细分多光束干涉平面度测量方法

高精度平板的平面度一般用等厚干涉条纹测量,它的一个条纹间距相应于二分之一波长的光程差,用目测可以判别的平面度最高仅1/20波长,但是F-P干涉板要求1/100～1/200波长的平面度。本文描述了压电细分多光束干涉法,用压电陶瓷平移干涉板从而建立一组参考干涉条纹,设原相邻两条纹的距离为α,而参考条纹与原条纹的距离为α/m,用距离为α/m的条纹作基准目视或照相测量平面度,因此精度提高了m倍.在m=10时用目测方法可以探测到近1/200波长的误差。调节压电陶瓷的电压可方便连续地调节m,采用普通低频信号发生器产生的方波来驱动压电陶瓷。     

数字图像处理技术在平面等倾干涉测量中的应用

文章介绍了一种应用数字图像处理技术进行等倾干涉测量的方法.它利用CCD摄像器件获取等倾干涉条纹,然后用数字图像处理技术对获取的干涉图像进行处理、提取中心条纹、测量干涉环直径等操作.文章最后给出了依据这一测量方法进行实验的实验结果,证明了该方法的可行性.     

用于绝对距离干涉计量的3.39μm双波长红外拍波干涉仪的研究

本文在简要介绍绝对距离干涉计量逐级精化原理的基础上,详细阐述了3.39μm 波段双线He-Ne 激光两级合成波长组成方案,分析了3.39μm 双波长红外拍波干涉仪的工作原理,给出了系统布局和有关的实验结果。精度分析表明,3.39μm 双波长拍波干涉仪的拍波干涉条纹尾数测量精度优于1.6×10~(-3)。     

基于带通滤光片的平面工件面形干涉测量方法

针对目前工业领域对平面零件面形低成本测量需求,提出了一种基于带通滤光片的干涉测量方法。该方法根据分振幅干涉的原理,使用两个中心波长相差10 nm的滤光片分别放置在工业摄像头上,拍摄两组准单色光干涉图样,通过对比处理实现干涉条纹级数排序。然后使用Zernike多项式对完成排序的干涉图样进行拟合,获得环形工件面形,最后应用最小二乘法摆正,获得所测工件的面形精度信息。通过理论分析及实测对比验证了该方法的可行性。     

基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法

针对传统的通过转速与光刻胶膜厚的关系来大致判断膜厚范围的问题,研究了基于单色光干涉的光刻胶膜厚测量方法。基于光刻胶的基本特性,将油膜的膜厚测量方法应用在光刻胶上。基于薄膜干涉原理进行系统的光路设计以及光刻胶膜厚测量平台的设计。进行了干涉条纹自动计数算法的研究以及基于单色光干涉的相对光强原理的研究。最后搭建硬件系统和软件系统,对干涉条纹自动计数算法与单色光干涉的膜厚测量方法进行实验验证与分析,实现了光刻胶膜厚的快速精确测量。     

采用频谱分析技术的干涉条纹判读法与应用

采用频谱分析技术的干涉条纹判读法与应用庄其仁（华侨大学电气技术系）０引言干涉测量技术已在光学测量仪器中得到广泛应用，随着计算机技术的发展，干涉条纹的傅里叶变换也有了新的应用，如采用条纹分析的傅里叶变换技术作距离测量的波长位移干涉测量术［’ｊ。本文介绍...     

傅里叶光谱仪的智能数据采集器与光谱数据处理系统

根据傅里叶光谱学的基本原理,组成傅里叶变换光谱仪实时数据采集和处理系统。系统中智能数据采集器对干涉图作数据采集,配以干涉图处理与谱图变换软件包的IBM-PC/XT微机作为光谱数据处理系统,对干涉图进行数据处理与谱图变换,以获得正确的光谱图。     

傅里叶变换红外光谱仪中立方反射镜特性分析

在傅里叶变换红外光谱仪中,用立方反射镜作为动镜的光路系统比平面镜时的情形复杂。通过建立系统的数学模型分析光路,确定了干涉信号的数学表达式;从干涉图调制度的角度对系统在非理想状态下的运动误差容限以及安装误差容限进行了分析。结果表明,与动镜和定镜都采用角反射体的系统相比较,该系统动镜运动中其偏摆和顶点横移不会对干涉图产生影响;与动镜为平面镜的系统相比较,该系统不需要对动镜的动态校正就能满足调制度判据要求。     

STL数据处理对激光烧结制件表面条纹影响的研究#br#

对光固化立体造型（STL）模型数据的尼龙选择性激光烧结（SLS）制件表面条纹进行研究,利用SLS成形技术原理、STL模型数据存储规则、激光扫描路径形成原理,设计STL模型数据的尼龙SLS实验,分析STL模型数据烧结制件表面条纹形成机理,并提出避免条纹形成的方法。实验分析结果表明：制件表面条纹的产生是由于系统软件读取数据时,数据平面有三角形缺失或冗余;制件表面条纹与STL模型数据在成形坐标系中的Z坐标值有关,且与实际烧结层厚的关系存在一定规律性;通过对STL模型数据三角形均匀化处理或使其Z坐标不在特定坐标,能够避免制件形成表面条纹。     

可分离双参考光两次曝光全息法测机械变形方向

提出用可分离双参考光两次曝光全息测量物体变形方向的方法,设计的光络系统用两个平面反射镜将一束扩展激光束分成两束参考光和一束物光,藉此记录物体变形下的可分离双参考光两次曝光全息干涉图。这种干涉图含有物体变形的数值和方向的两种信息,从理论上对此作了分析,叙述了测量物体变形方向的方法,给出了试验结果。     

基于线结构光参考平面的多摄像机标定方法研究

多摄像机视觉测量系统中不同视觉传感器空间分布广,无公共视角,现场标定十分困难。针对多摄像机标定问题,研究了一种基于线结构光参考平面的灵活标定方法。标定过程中,以空间中同时覆盖相邻摄像机视角的结构光平面作为标定参考基准,在不同摄像机视角中,自由移动平面靶标多次,确保每次移动后靶标与结构光相交,并能在各自摄像机中清晰成像,摄像机拍摄靶标图像。提取靶标图像中角点坐标、激光光条特征点坐标。借助靶标平面与摄像机坐标系外部参数矩阵,求解激光光条特征点在对应摄像机坐标系中坐标。通过结构光基准平面内,不同摄像机坐标系中至少3组非共线特征点坐标信息,求解相邻摄像机外部参数。分别进行标定试验和精度验证试验,试验结果表明该方法切实可行。     

光学干涉图像区域分割技术研究进展

干涉图像区域分割属于重要的干涉图像预处理步骤,目的是从干涉图像中提取出有效数据区域。干涉图像区域分割广泛存在于各种数字波面干涉仪的实验测试和数据处理中,对于精确波前复原以及相位解包裹可靠实施具有重要影响。介绍了3类常见干涉图像的区域分割技术,包括单帧干涉图、同步移相干涉图和横向剪切干涉图,并系统总结了相关研究进展、展望了该领域研究趋势。     

基于LabVIEW的光纤傅里叶变换光谱仪数据处理技术

为了提高编程效率与增强光谱仪数据分析处理能力,结合LabVIEW软件在信号处理方面的优势,利用虚拟仪器技术实现了光纤傅里叶变换光谱仪干涉图处理与光谱复原。采用均匀抽样算法,利用由光纤Mach-Zehnder干涉仪输出的参考光干涉图过零点取样,实现对测试光干涉图的等光程间隔采样,消除了由压电陶瓷非线性光程调制引起的误差。采用求摸法复原出光谱图,自动消除了相位误差。利用LabVIEW软件完成了对宽带ASE光源的干涉图数据采集、显示与处理并最终得到光谱图。结果表明,与光栅光谱仪测得的光谱相比,光谱线型趋于一致。     

辅助干版微角位移调制全息法测机械变形方向

提出用辅助干版微角位移调制全息法测量物体的机械变形的方向。在测量光路系统中 ,设置了两张干版 ,一张辅助全息干版用于记录被测物体的被辅助全息干版自身微角位移调制的双曝光全息图 ;另一张全息干版用于记录被测物体的非调制双曝光干涉图。前者用于分析物体的变形方向 ,后者用于测量物体的机械变形量。文中着重阐述了机械变形方向的测量原理 ,导出了相关公式 ,给出了实验结果     

基于十字线结构光的亚象素三维视觉测量

本文使用十字线激光器,配置CCD相机组成十字线结构光视觉测量系统。根据视觉测量系统的标定与测量原理,建立了两个光平面相应的数学模型;采用最小外接矩形法分割光条,在每个矩形区域内采用高斯曲线拟合法提取光条中心,再用最小二乘法拟合光条直线。最后用该系统实现了零件的非接触三维轮廓测量,验证了模型的正确性和光条提取方法的精度。     

条纹颜色分离与聚类

为解决彩色物体表面颜色干扰以及条纹之间的颜色串扰导致彩色结构光系统产生的条纹颜色误识别问题,提出了彩色结构光的条纹颜色分离以及聚类方法。首先,提出了一种新的摄像机和投影机的颜色校正方法,以消除外界环境光以及系统的颜色串扰现象,解决系统的耦合性问题。其次,给出了一种物体的反射分离机制,用于提取物体表面的漫反射分量和镜面反射分量,修正彩色物体的背景色对彩色编码条纹的影响。最后,利用颜色聚类算法,对经过彩色物体调制后的条纹进行颜色归类划分,纠正条纹颜色之间的干扰,恢复系统消耗的彩色条纹颜色信息。实验验证了本文提出方法的有效性,结果表明:该方法具有较高的抗干扰能力、较强的鲁棒性,能准确有效地识别受干扰的彩色条纹,识别正确率达到92%左右。