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《真空科学与技术学报》2015,(11)
以单头等螺距内凹转子双螺杆真空泵为研究对象,对螺杆真空泵工作时转子与泵腔、转子与转子之间气体的流动状态进行研究,将周向返流简化为两平面平板之间库埃特流动与泊肃叶流动,径向和齿侧返流简化为薄壁孔流动,建立了螺杆真空泵转子周向、径向和齿侧返流量计算的理论数学模型。计算分析了不同间隙值以及螺杆转子参数对螺杆真空泵返流量的影响,得到螺杆真空泵返流量随着螺杆渐开线基圆半径、大径、小径、和导程变化的规律。研究结果表明:周向间隙的增加使得返流量显著增加;在理论抽速给定的条件下,小径大径比为0.63时,返流量最小。 相似文献
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余摆线真空泵泵腔与转子型线的形成,是由固定在泵体上的小齿轮和转子上的内齿围相互无侧隙啮合而成。实际上,泵在运转工作时,考虑温升和齿侧间隙间的润滑,内齿圈和小齿轮齿面间必须留有一定的齿侧间隙。此侧隙由图1不难看出,会影响转子与泵腔型线间的相互啮合,即影响两者运转时彼此正确的相对位置。 泵在运转后,一转子相对于泵腔在一周360°范围内停止在任何位置均有可能,图示为任一位置,泵再次起动在Cn这一瞬间,内齿圈并非与个齿轮利用齿面啮合转动,而是围绕其本身中心O2转动一角度β,此时与内齿圈配装在一起的转子上一点A'亦同时围绕O2… 相似文献
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《真空科学与技术学报》2015,(11)
以等螺距螺杆真空泵为研究对象,对工作状态下泵腔内各点间隙变化进行研究。建立了工作状态下主动、从动转子和泵腔温度场有限元模型,通过分析得到转子-泵腔系统的温度场和热变形分布情况,并绘制了工作状态下泵腔内各点间隙变化的曲线图。研究结果表明:转子轴向存在较大温差,泵腔相对于转子温度较低。工作状态下泵腔内各处间隙存在较大差异。进气端间隙较大,各点间隙在0.23~0.3mm之间;排气端间隙较小,各点间隙在0.11至0.15mm之间。 相似文献
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一、序言 在余摆线真空泵与罗茨泵型线分析一文中(真空3期,1978),笔者推导了转子在水平位置上的泵腔极大面积公式。转子在任意位置上的泵腔面积公式,直到1977年才推导出来。有了这个公式,就可以求得转子在任意位置上的压缩比。从而求得泵腔内压强、算出腔内气体对转子施加的总外力。这使余摆线真空泵的力分析可以准确的进行。 这部分材料包括余摆线真空泵的压缩比计算与力分析。并将固定式密封条改为摆动式密封条。这使余摆线真空泵能直接采用理论型线。减少制造上的麻烦。已于1978年,在东工75真空班毕业设计中试用过。 今刊出。供同志们参… 相似文献
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基于动网格方法建立了干式真空泵罗茨型吸气级的三维瞬态数值计算模型。模拟结果与抽速曲线对比,入口压力为1000 Pa时误差为11.5%,100 Pa时误差为34.2%,表明计算流体力学(CFD)方法不适用于入口压力较低及极限真空时真空泵内的流动研究,但在入口压力较高时具有较好的数值精度。由于干式真空泵的主要设计问题多集中于入口压力较高,负荷较大的运行工况,应用CFD方法研究干式真空泵的流动特性具有实用价值。文中计算了真空泵的性能参数,分析了泵腔内的流动现象和流场的主要特征。 相似文献
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一种适用于无油螺杆真空泵的单头变螺距螺杆转子新型线,其端面型线依次由齿根圆、摆线、齿顶圆和渐开线线顺序相接组成;该型线的主要特征是:当端面型线沿轴向作变螺距螺旋展开过程中,转子螺旋导程由排气端向吸气端逐渐增大,同时其渐开线的发生圆半径则逐渐变小,使转子齿形面的齿顶宽可以保持不变,因此能够增大吸气端的吸气容积,降低排气端的气体返流泄漏,从而提高泵的抽速和极限真空度.文章中给出了端面型线的极坐标方程、轴向展开方程和渐开线发生圆半径的计算方程,可供设计人员参考借鉴。 相似文献
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李腾赵玺皓王君魏蜀红陈昶润 《真空科学与技术学报》2023,(10):841-847
螺杆转子的几何性能直接决定双螺杆真空泵的工作性能。针对现有的螺杆转子存在空间接触线长,泄漏三角形面积大的问题,建立正弦螺旋线和椭圆弧及其共轭曲线的啮合模型,设计了一种新型正弦螺旋线-椭圆弧转子,并推导了其型线方程;通过对螺杆转子几何特性的分析和工作过程的数值模拟,比较了传统螺杆转子和新型转子的不同。结果表明:所提出的新型转子接触线长度缩短了2.54%,泄漏三角形面积减小了27.77%,且齿顶泄漏深度明显小于现有转子,具有更好的密封性能,显著提高了双螺杆真空泵的工作性能,对于改善双螺杆真空泵泄漏具有重要的理论意义和实际工程价值。 相似文献
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许海虹 《真空科学与技术学报》2019,39(3):214-225
全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用。本文正是利用自主研发的与真空循环脱气工艺 (RH) 真空精炼过程相结合的RH用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序, 研究了4级串联式全干式机械真空泵方案中, 真空主阀前后设备及管道容积、各级真空泵泵间管道容积、各级真空泵 (罗茨泵和螺杆泵) 的不同抽气能力、系统漏气量等因素对RH机械真空泵抽气过程的影响, 为不同RH吨位或RH真空精炼工艺条件下, 机械真空泵系统的设计和研究打下坚实的基础。 相似文献
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本文简略地介绍了近几年来我所设计和研制的三种特殊类型的罗茨真空泵,即150L/s双级罗茨真空泵、300 L/s真空电机罗茨泵、 600L/s屏蔽电机罗洪泵这三种泵。相应地解决了目前生产的普通罗茨泵很难解决的问题。150 L/s双级罗茨泵的研制成功,就解决了普通罗茨泵不能在高压强下运转的问题,它不但可以在高压强下运转,而且可以从大气下启动。300L/s真空电机罗茨泵能很好的解决动密封泄漏问题,泵低压运行又提供了安全可靠的条件。600L/s屏蔽电机罗茨泵同样很好的解决了动密封泄漏问题,又可在常压下运行,给用户带来一些方便条件。这三种泵的性能又都优于普通的罗茨泵,笔者认为这三种泵今后会更有发展前途的。 相似文献
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在“超高真空”历史发展的几十年间,技术和用户需求两方面都发生了许多变化。甚至超高真空的含义也有些演变。问题的焦点是:从如何获得只有泵壁出气气体负载的最低压强的静态真空转向如何获得生产过程气体低污染和高纯度的动态真空。现在,想用一种全能的泵来实现这一设想是不实际的,因为不同的真空抽气技术有着更明显的应用范围。这种情况对传统的超高真空泵-离子吸气砂来说是一样的。在大多数情况下,在设计系统时离子吸气泵是 相似文献
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采用蒙特卡洛方法计算单级涡轮叶列传输几率,引入气体分子与固体壁面反射适应系数模型,评估不同反射条件对单级涡轮叶列抽气特性的影响。采用积分中值法计算涡轮叶列传输几率,提高涡轮级抽气特性的计算精度。采用分段流态判别法计算牵引通道的抽速和压缩比,减少牵引级抽气特性的计算误差。提出涡轮级与牵引级之间的三种过渡结构,实现复合分子泵抽气特性的级间匹配,提高复合分子泵的性能。提出牵引级阻挡结构和分段式结构,有效减少牵引转子与定子间的间隙泄漏,提高复合分子泵的整体性能。通过算法改进,提高了涡轮分子泵抽气特性的计算精度;通过结构优化,提高复合分子泵抽气性能,为高性能复合分子泵开发奠定了基础。 相似文献
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采用蒙特卡洛方法对溅射离子泵腔抽气通道内的气体流动规律进行数值模拟。建立了不同溅射离子泵结构的几何模型, 计算了气体分子在不同泵腔结构中进出比例, 分析了腔结构对反流量的影响, 得到了抽气组件在不同泵腔结构中的抽气效率, 探讨各种类型腔结构的抽气特点;最后计算了舱体高度对抽气性能的影响。结果表明:在相同条件下, I型泵腔结构抽气性能最好, T型泵腔结构次之, 双侧型泵腔结构抽气性能最差。 相似文献
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涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象,影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响,那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响,本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。 相似文献