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1.
双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置 总被引:1,自引:1,他引:0
为了在薄膜形成期间跟踪生长表面应力水平的演变,更加深入地探究薄膜应力的产生机理,基于光束偏转法,搭建了利用双光束照射在镀膜基底表面的实时测量光学薄膜应力的装置.装置软件系统从线阵CCD中提取双光斑位移的变化,经过多次测量验证了算法的精确度,使装置的精确度达到2.2%,可以满足光学薄膜应力测量的要求.使用此装置跟踪SiO2薄膜镀制过程,得到了应力变化曲线.结果表明,双光束实时测量薄膜应力装置具有抗干扰能力强、精度高等特点,可以为光学薄膜镀制过程中提供有效可行的原位应力测量手段. 相似文献
2.
实用化的光束质量测量系统 总被引:5,自引:0,他引:5
文中报道了一个基于CCD和计算机的HSH-I型光束参数及衍射极限倍数因子M^2测量系统,对测量方法、软硬件组成和来源进行了讨论,并给出了实际测量的结果。 相似文献
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本文提出了利用光束等效波面曲率半径,并结合束宽及远场发散角来测量分析激光光束传输特性的方法,能以较高的精度确定激光光束的束腰位置zo,束腰处的束宽D_o及激光光束质量传输因子M ̄2。这是一种可用于连续,重复频率脉冲及单脉冲激光光束传输特性的分析测量方法。文中还给出了实现这一方法的具体测量方案。 相似文献
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提出一种利用激光的相干性测定激光光束方向的新方法,从而可以获得一种准确的客观测量结果,而不象用通常的方法那样获得一种相对的或比较的测量结果。 相似文献
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细丝直径测量的双光束干涉法 总被引:2,自引:0,他引:2
本文提出一种双光束干涉法测量细丝直径的方法,两束平行光波相向入射到细丝上,反射后形成两条虚线源,它们产生平直的条纹,条纹周期与丝径成反比,由CCD摄取条纹图进入微机处理。给出细丝直径。文中将介绍该方法的原理和装置,给出相应的实验结果,并对其应用前景作简要的讨论。 相似文献
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将非高斯加热光束引入到模式不匹配的脉冲热透镜技术中,描述了非高斯加热光束热透镜技术的优点。实验研究了不同加热光束形状时热透镜信号的振幅和时间特性以及与实验参数的关系。实验结果显示在不同加热光束形状时都可通过使用近场探测构型和优化实验参数如探测距离提高热透镜技术的测量灵敏度,而通过使用远场探测构型则可消除实验参数对材料热性质测量的影响。 相似文献
9.
双光束激光扫描尺寸测量系统 总被引:1,自引:0,他引:1
基于激光扫描检测原理,提出了一种用于测量较大直径的双光束激光扫描尺寸测量系统。利用具有良好速度特性和光学准直特性的扫描光学系统。,通过分光光学系统,使扫描光束由一束变为两束,对工件两侧进行双光束扫描,将携带有被测量信息的两路光信号经光合成系统后将两束光进行和接收,经微机数据处理后,给出直径的测量结果。文章详细论述了系统的测量原理、组成和微机控制与数据处理系统,对扫描光学系统设计的有关理论问题进行了 相似文献