第十三讲:真空系统的检测技术

2　真空规管的使用(上接2004年第1期第64页) 2.1　温度差对规管测量影响 真空室有时具有冷壁、冷阱或热源，这样会使规管处于室温，而真空室空间温度处于低温或高温下；或者当真空规管在校正与测量时的温度不一样，以上两种情况下，都会造成误差。而且这种影响与压力的高低有关。     

第十三讲:真空系统的检测技术

质谱检漏是最灵敏和常用的检漏技术，实际应用的质谱检漏仪都采用高灵敏磁扇形残余气体分析探头。     

第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2004年第5期第64页) 5 真空系统气密性测试 5.1 漏气及其产生原因 在真空技术和设备的应用中,真空系统的漏气是不可避免的,真空检漏的目的是使系统中的漏气量小到工艺要求所允许的程度.     

第十三讲:真空系统的检测技术

1 真空测量仪表与规管的选用和安装 1.1 真空仪表的选用 从原则上来说,应根据实际情况,从以下几个方面考虑选用适用的真空测量仪表.     

第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2004年第3期第94页) 限制真空仪器测量下限水平进一步提高的主要因素,主要有如下4个方面.     

第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2005年第2期第64页) 5.7.2制造加工过程中的检漏问题 ①焊接件 焊接件在加工过程需要配合检漏,采用何种检漏方法应根据焊接质量和设备所允许的最大漏率来确定.     

真空技术及应用系列讲座——第十三讲：真空系统的检测技术

检漏方法很多，各有其特点和应用范围，要根据具体情况来选择。     

真空技术及应用系列讲座——第十三讲：真空系统的检测技术

热解吸作用：电离规管的高温热阴极本身就是气源。它的高温热量辐射到其它电极和规管壁上时，将引起气体的热解吸。此外，栅极接收电子，收集极收集离子，也会因发热使吸附的气体解吸。     

第十六讲 真空系统的操作与维护

(上接2010年第1期88页) 除了涡轮分子泵和钛升华泵各自的优缺点外.涡轮分子泵还由于机械结构与高速旋转的原因,使得它要获得大的抽速较为困难.而钛升华泵造价低,而且易于实现大抽速.目前它的抽速在高真空或超高真空获得设备中是较大的一种,而使用和维护都十分方便.只是由于排除惰性气体性能差而限制了它单泵进入超高真空.考虑到空气中的惰性气体主要是以氩气为主,可以用抽速小一点的分子泵来排除惰性气体,以充分发挥钛升华泵的大吸气性能的优点.     

十真空技术及应用系列讲座——三讲：真空系统的检测技术

真空仪表的维护和保管。工作是保证测量结果的准确、可靠以及延长使用寿命的一个重要环节。在应用中，通常应注意如下几点。     

第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2004年第4期第152页) 4 真空测量仪表的维护与故障诊断 4.1 真空测量仪表的维护 真空仪表的维护和保管 工作是保证测量结果的准确、可靠以及延长使用寿命的一个重要环节.在应用中,通常应注意如下几点.     

第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2004年第6期第64页) 5.3.3 检漏方法的选择 检漏方法很多,各有其特点和应用范围,要根据具体情况来选择. 例如:冷冻装置因其内部装有氟里昂,所以宜用卤素检漏方法;粗真空装置宜用气泡法检漏;电真空器件的零部件则宜用氦质谱法检漏.一般地说,理想的检漏方法应满足下述要求:     

第十三讲:真空系统的检测技术

2.3.2 电离规管的放气作用(上接2004年第2期第62页) ①热解吸作用:电离规管的高温热阴极本身就是气源.它的高温热量辐射到其它电极和规管壁上时,将引起气体的热解吸.此外,栅极接收电子,收集极收集离子,也会因发热使吸附的气体解吸.     

第十五讲真空工程封接技术

（上接2007年第4期第80页） 3.2 陶瓷-金属封接形式 陶瓷-金属封接的基本形式及其特点见表4. 真空技术中常用的几种采用过渡封接工艺的金属-陶瓷引出电极结构见图6     

第十四讲:真空工程用焊接技术

（上接2006年第6期第63页）热态真空度又称工作真空度，是指从开始加热到充气冷却这段时间的炉内真空度，这是由于加热时，零件、夹具要析出气体；使用膏状钎料时粘结剂要挥发。这些因素都会不同程度地引起冷态真空度的降低。但是在钎焊温度下，要求炉内真空度基本恢复到冷态真空度，通常是采用适当延长稳定时间的方法来实现的。如果钎料中含有蒸气压较高的合金元素，为了防止合金元素大量挥发而污染炉膛，这时热态真空度与冷态真空度相差较大。例如用铜基钎料时，因为铜在940℃时的蒸气压为1Pa，