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1.
讨论了碱性化学镀铜成分中CuSO4、还原剂HCHO以及NaOH的浓度对化学镀效果的影响,得到了适合超大规模集成电路铜金属化的化学镀溶液成分。然后研究了酸性和碱性化学镀铜结合方法在铜布线制造办面的应用。首先采用分离酸性化学镀方法在TiNi/Ti/SiO2/Si基板的TiN进行化学镀,制造一层铜籽晶层,向后采用碱性化学镀铜方法制造铜膜。通过对化学镀铜膜形貌和结晶方面的研究发现:籽晶层对铜膜最终形貌和择优取向有较人的影响。 相似文献
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铜合金化学镀Ni—P表面强化的探讨 总被引:4,自引:2,他引:4
研究了铜合金化学镀Ni-P合金的工艺条件:时效温度、时效时间对镀层晶态转变、硬度与基体结合力的影响,比较了化学镀前后的耐磨性、耐蚀性。结果表明,化学镀Ni-P合金后,铜合金的表面硬度、耐磨性、耐蚀性都显著提高。 相似文献
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采用脉冲化学镀和化学镀的方法在同样组成的酸性镀液中得到非晶态Ni-P合金镀层,测定两种镀层以掺有SiC颗粒的柠檬酸腐蚀液中的腐蚀磨损行为,结果表明:脉冲化学镀镀层的耐腐蚀磨损性能优于化学镀镀层;脉冲化学镀镀层有较高的含P量并且短程有序畴的尺度比化学镀镀层约小0.1nm。 相似文献
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化学镀能够有效增强基体材料的表面性能,拓展其应用范围,在许多领域具有广泛的应用前景。综述了化学镀的基本原理、处理方法及施镀工艺,详细讨论了化学镀的研究进展。归纳了化学镀层的种类及应用技术,主要包括化学镀镍、化学镀铜、化学镀钴、化学镀银、化学镀锡、化学镀金等。分别讨论了各类化学镀的研究进展、优势、劣势及应用范围。在此基础上归纳了化学镀存在的问题,主要为对能源的消耗和对环境的污染,引起了人们的广泛关注。化学镀技术发展呈现多元化的趋势,主要集中在激光增强化学镀、超声波化学镀、粉体化学镀、多层化学镀、稀土化学镀、复合化学镀。化学镀未来的发展方向一是原有化学镀工艺的进一步完善和提高,二是具有商业价值的新领域以及超功能性新材料所带来的化学镀技术新应用。 相似文献
5.
化学镀铜对金刚在石性能的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了化学镀Cu对金刚石性能的影响。结果表明,在金刚石表面化学镀Cu可提高金刚石的强度,氧化温度和热稳定性,并随化学镀时间的增加,金刚石性能有增强的趋势。 相似文献
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超声波和稀土铈对化学镀Co-Ni-B合金镀层的改性作用 总被引:1,自引:1,他引:1
利用等离子发射光谱仪、电子能谱仪、X射线衍射仪、透射电子显微镜和显微硬度计等考察和分析了引入超声波和稀土金属铈时化学镀Co-Ni-B合金镀液的沉积速度、Co-Ni-B合金镀层的化学成分、晶体结构和显微硬度。结果表明,超声波和稀土金属铈的介入明显提高了化学镀Co-Ni-B合金的沉积速度,超声波的介入则提高了化学镀Co-Ni-B-Ce合金镀层中稀土铈的含量。在超声波和稀土铈的共同作用下,化学镀Co-Ni-B合金镀层的化学组成发生了改变,镀层结构由非晶态向微晶和晶态转化,镀层的显微硬度得到了较大的提高。 相似文献
10.
镁合金微弧氧化-化学镀的研究 总被引:8,自引:1,他引:8
利用能谱分析(EDS)、扫描电镜(SEM)和电化学测试等分析手段,研究了以微弧氧化为前处理,以硫酸镍为主盐的镁合金“无氟酸性”化学镀工艺及其镀层性能。结果表明:微弧氧化膜可以有效地防护镁合金,在其表面实现以硫酸镍为主盐的“无氟酸性”化学镀,得到了对环境友好的化学镀新工艺:所得微弧氧化一化学镀层致密、颗粒细小,镀层HV硬度为10195MPa,耐蚀性能显著提高,自腐蚀电位提高为-0.2V左右,钝化区间达800mV左右:化学镀层与镁合金基体结合力明显加强。 相似文献