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本文介绍一种用400Hz中频放电清洗HT-6MTokamak装置真空器壁的实验研究。系统经过800min断续中频放电,P_(18)、P_(28)降低两个量级,器壁表面C和O的含量分别降低到26%和5.8%。实验对400Hz中频放电清洗和直流辉光放电清洗效果进行了比较,结果表明400Hz放电对于表面H_2O的清洗效率优先于直流辉光放电清洗。实验中亦探讨了器壁条件的改善对等离子体参数的影响。 相似文献
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1引言在筒形内壁上镀出耐腐蚀、耐磨、耐高温的材料,这无论是在国防上还是在民用上都具有非常重要的意义。由于在金属管内壁上化学汽相沉积镀膜是一个比较困难的问题,使得这方面的工作一直难以突破。等离子体辅助化学汽相沉积镀膜(PECVD)已经得到广泛的应用。利用微波电子回旋共振(ECR)产生等离子体进行镀膜已获取了多种薄膜,如金钢石[’j、氧化硅‘”、碳化硅[‘’等。应用ECR等离子体具有无电极污染、低气压运行、低温沉积的优点。本文利用等离子体化学汽相沉积原理及等离子体动力学原理,建立了一台内壁镀膜装置。2实验装… 相似文献
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本文介绍了EAST装置辉光放电清洗电极的升级及实验研究。在常规的杆式辉光电极基础上,升级为具备主动水冷散热的板式电极,通过数值模拟和实验研究,证实新电极能满足辉光电流从3 A提升至6 A的散热需求,可长时间稳定运行。新电极在1000 V电压下的击穿气压略低于常规电极,提高He辉光运行电流,从而显著提升对氘(D)的清除率。使用常规的12 A(3 A×4个电极)辉光电流下对D的清除率为1.04×1023atoms/h,电流提升一倍至24 A可将清除率提升至2.4倍(2.46×1023atoms/h)。本文研究结果显示新升级的辉光电极能够稳定运行在6 A电流下,极大地提高了对D的清除率,为未来EAST托卡马克的实验运行提供了高效率的壁处理手段。 相似文献
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介绍了简单有效的泰勒放电清洗(TDC)兼真空室感应加热烘烤的清洗系统。该系统在累计运行91.5h后,使H2O含量从66%降低到6.7%,CO含量从30%降低到13%,从而使等离子体的平均有铲电荷数降低到2左右,获得了安全因子Q放电的等离子体电注。 相似文献
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本文描述直流辉光放电、10兆周高频加直流辉光放电原理和实验方法。给出了几种工作气体(H_2,He,Ar,N_2和空气)在30升圆筒形真空室中进行直流辉光放电、直流加高频辉光放电时起辉和灭辉气压随外加电压变化实验结果。实验表明,对于几百伏外加电压下H_2,He,Ar气可在10~(-1)帕气压下起辉;可以维持到10~(-2)帕气压才灭辉。几百伏直流电压附加10兆周高频电源可使起辉气压和灭辉气压下降几倍。空气和氮气比氢更易起辉。对HT-6M托卡马克真空室进行了几十小时常温和100℃中温烘烤条件下辉光放电清洗效果比较,表明边烘烤边辉光放电对水的清洗作用更好。实验由四极质谱仪监测,并用真空传输装置将样品传送到俄歇谱仪中分析放电前后表面成分的变化。对放电有关问题进行了讨论。 相似文献
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HL-2M装置初始放电阶段,分别采用2.1 MHz,13.56 MHz和40.68 MHz三种频率的射频电源开展了射频-直流辉光放电清洗实验,研究射频驱动频率对放电清洗特性的影响。预加载功率1500 W时,2.1 MHz放电的击穿气压为2.0×10-1 Pa,13.56 MHz放电为5.6×10-1 Pa;而40.68 MHz叠加直流偏压后在9.2×10-1 Pa实现击穿。对三种频率辉光放电清洗实验过程中的残余气体成分进行监测,结果表明杂质产额由高到低为:2.1 MHz>40.68 MHz>13.56 MHz。由于低频放电具有较多的加热电子数,所以2.1 MHz放电的杂质产额最高。而虽然40.68 MHz放电的功率耦合效率最低,但由于具有高的等离子体密度,其杂质产额高于13.56 MHz。可见2.1 MHz的射频-直流辉光放电在HL-2M装置初始放电阶段具有最优的清洗特性。然而由于不同频率的功率耦合效率不同,同样会对清洗效率产生影响,因此下一步首先应解决阻抗匹配问题以提高耦合功率。 相似文献
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本文介绍了一种新型高密度低温等离子体——分布式电子回旋共振(DECR)等离子体。文中利用样品架作为探针对Ar,H2,O2及N2O等气体的DECR等离子体特性作了定性的实验研究和分析。 相似文献
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通过对HL-1M的氦直流辉光放电清洗(HeGDC)的放电特点和清除效率的研究,发现环形真空室的对称性导致与阳极截面相对称的区域的场强很弱,使其阴极位降区的厚度远大于氦离子的平均自由程,严重影响辉光清除效率。提出采用多电极不对称阳极电位的辉光放电来提高清除效率。 相似文献
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本文报告北京大学光抽运铯束频标的初步实验结果,其频率稳定度的阿仑方差已达到1.2×10~(-11)/τ~(1/2),与常规商品铯束频标的频率稳定度相当。实验中采用了偏置-饱和吸收式频率锁定技术,将半导体激光器频率稳定地锁定在适当的铯原子跃迁频率上。这是一种简便、经济而且十分可靠的激光频率锁定方法,实验中用它锁定激光频率达一百多个小时。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(9)
在氩气环境下对射频驱动下空心阴极的放电特性进行了实验研究,得到了不同工作条件下射频空心阴极放电中的电子密度、电子能量几率分布函数等结果。研究结果表明,相比于平板电极容性耦合射频放电,空心结构电极的射频放电能获得更高的电子密度。在形成空心阴极效应后,等离子体密度随电压、气压的升高而增大。通过EEPF进一步分析了射频空心阴极放电电子加热机制随p D值、工作电压的变化。发现当p D增加时,射频空心阴极放电中电子加热机制从以振荡鞘层对高能电子的随机加热为主逐渐转变为对等离子体中电子的欧姆加热为主;当逐渐提升电压时,电子本身获得能量机制则由开始的欧姆加热转到了向后来的随机加热。 相似文献