铝基板阳极氧化成膜温度与膜层结构

对铝基板在草酸体系下阳极氧化成膜温度进行了研究,发现膜的起始破坏温度为32.5℃,而与草酸电解液的浓度关系不大。通过XRD、SEM对膜层进行了分析,并测试了膜层的绝缘性能。结果表明:氧化膜层是以非晶态形式存在的,膜表面存在直径80nm左右的针状物,形成Al(OH)3水合物。较高溶液温度下,草酸的溶解作用加剧了膜层断面开裂、膜质疏松等缺陷,严重影响着膜层的绝缘性能,温度不超过32.5℃,能得到均匀、致密的膜层。     

阳极氧化工艺研制的多路转换器

本文介绍了多路转换器的工作原理，电路框图及采用的新工艺-阳极氧化多层基板技术。通过介绍该电路的研制过程中解决的问题，阐述了阳极氧化工艺的特点及采用此种工艺研制电路应注意的事项。     

铝阳极氧化膜及吕电解电容器

本文叙述铝阳极氧化膜的两种主要结构，生长机理及与形成条件的关系。     

铝阳极氧化技术制作三维铝封装基板

采用铝阳极氧化技术,制作了含有阵列型铝通柱的10.16 cm(4英寸)直径封装基板。由金相显微镜观察:基板的厚度在300μm左右,铝通柱的表面直径约158μm,内部最大直径约473μm。分析结果表明:图形掩膜边缘存在侧向阳极氧化效应,因而造成铝通柱实际为纺锤体结构。由半导体网络分析仪测得铝通柱和铝栅格地之间的绝缘电阻达到1011Ω;通过矢量网络分析仪反推出基板介质在1 MHz下的相对介电常数为5.97。这种三维铝封装基板制作工艺简单、成本低廉,可用于系统级封装领域。     

激光雕刻氧化层的铝基板制作方法

随着LED产品大量使用,电子元器件对基板的散热要求越来越高,使得铝基板得到广泛应用。一部分客户要求铝基板的铝面需印制字符,而目前行业中主要采用的丝印方式,存在字符不清、表面自然氧化、耐蚀性差等缺陷,不能形成有效的防护层,最终会导致掉色失效。本文所述方法通过铝面的阳极氧化着色,然后进行激光雕刻形成黑底白字,解决了字符模糊、耐蚀性差等问题,同时可避免铝板表面进一步氧化。     

铝电解电容器阳极氧化膜的结构

铝经阳极氧化形成的阳极氧化膜分为无定形和晶形两种基本结构，阳极氧化膜对铝电解电容器的性能有极大的影响，本文叙述阳极氧化膜的结构、生长机理及与形成条件的关系。     

一种新型MCM基板——阳极氧化多层基板

采用电化学方法,对基板上的Ａｌ膜进行选择性阳极氧化,从而制得导带、通孔和介质,重复上述工序,便可制得多层布线基板。与常用多层布线基板,如ＭＣＭ－Ｃ、ＭＣＭ－Ｄ比较,它具有制作工艺简单独特、互连密度高,线径、间距和孔径更小,平面性好,绝缘电阻高等优点。     

铝阳极氧化多层布线基板在混合集成电路中的应用研究

铝阳极氧化多层布线基板是一种新型的MCM用多层布线基板，具有优良的性能。本文介绍了这种基板的特点和制作工艺原理及制作方法，并重点介绍了它在实用化电路研制过程中的设计、关键工艺技术及电路的研制情况。     

依靠科技架长虹——阳极氧化多层布线基板工艺研究走红

在微电子领域中,以布线密度高、互连线短、体积小、重量轻及性能优良等特点为人们所关注的MCM组件,仍是21世纪电子技术发展的重点之一。而多层布线基板又是MCM的一个非常关键的组成部分。随着这些年不断地开发和研制,有机叠层基板、共烧陶瓷多层基板、淀积薄膜多层基板已发展得较成熟,混合多层基板和新出现的阳极氧化多层基板还在研制过程中。     

铝的结晶复合阳极氧化膜Ⅱ．热氧化膜存在下阳极氧化膜的形成

在低压铝电解电容器生产中，铝箔常先在高温（４５０℃以上）短时间加热，形成一薄层热氧化膜，再进行阳极氧化，可形成结晶复合氧化膜，使比容增加，形成电量降低。介绍了有关这种膜的形成机理、结构及应用实例。     

相对湿度对AFM针尖阳极氧化金属薄膜的影响

AFM针尖诱导氧化加工的金属 (Ti、Al、Nb等 )纳米氧化线是实现金属 半导体纳米器件的基础 ,由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度 ,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响 ,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好的湿度范围为 30 %～ 5 0 %。     

阳极氧化铝微通道板研究的进展

微通道板(Microchannel Plates,MCP)是一种先进的电子倍增器件,在微光夜视等多个领域有着广泛的应用.传统铅硅酸盐玻璃微通道板(Lead Silicate Glass Microchannel Plates,LSG-MCP)越来越不能满足小孔径、高分辨率、环境友好等方面的要求,寻求替代产品成为研究热点.详细介绍了一种新型微通道板—阳极氧化铝微通道板(Anodic Aluminum Oxide Microchannel Plates,AAO-MCP)的研究进展,包括多孔AAO的特点、微通道的形成、功能层的制备、计算机模拟等.AAO-MCP具有孔径小、面积大、耐强磁场、工作温度范围宽等特点,应用前景广阔.最后分析了AAO-MCP存在的问题以及未来发展方向.     

铝阳极氧化膜耐电压机制研究

建立了(+)Al/Al2O3/电解液(-)系统耐电压模型。在该模型中,耐电压测试时施加于样品系统上的恒稳测试电流被分离成了介质层充电电流及缺陷漏电流两部分。使用该模型对恒稳电流下铝阳极氧化膜耐电压随时间的变化进行了模拟,模拟结果与实测值几乎完全重合,并准确预测出了铝阳极氧化膜升压时间及180s时的耐压值。另外,对铝阳极氧化膜耐电压曲线进行了初步解释。     

多孔阳极氧化铝薄膜的结构和特性

采用阳极氧化法,制备了二维有序多孔氧化铝薄膜.用金相显微镜观察了一次阳极氧化和二次阳极氧化后多孔氧化铝的表面形貌.用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和UV-VIS-NIR光谱仪等测试手段对多孔氧化铝薄膜进行了表征.结果表明,多孔氧化铝薄膜是非晶态结构,多孔氧化铝薄膜具有整流特性.多孔氧化铝的光学反射率随入射波长红移呈增加趋势,反射光谱具有明显的干涉现象.     

AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工

用原子力显微镜(AFM)研究了电场诱导氧化理论以及偏置电压和脉冲时间对加工结构尺寸的影响.通过实验得出了偏压、脉冲时间越大,加工尺寸越大的结论.并总结出氧化加工Si较好的参数范围.     

大气状态下AFM阳极氧化加工Si的研究

Si纳米氧化线是构筑基于Si的纳米器件的基础。通过AFM针尖诱导阳极氧化加工的n型Si(100)的实验得到凸出的n型Si(100)氧化物高度和偏置电压成线性关系,与针尖扫描速度成负对数关系,并在前人的基础上深化了AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型,得到了合适的加工条件为偏压8 V和扫描速度1μm/s。     

Effect of Anodic Oxidation on the Characteristics of Lattice-Matched AlInN/GaN Heterostructures

The effect of anodic oxidation on the electronic characteristics of lattice-matched AlInN/GaN heterostructures was investigated using field-effect transistor (FET) structures with the gate areas in direct contact with the electrolytes. The gate surface of the FETs was subjected to anodic oxidation in 0.1 M KOH. The oxidized heterostructures were analyzed by electrochemical impedance spectroscopy and by modeling the characteristics of the electrolyte-gate FETs and the energy-band diagram of the heterostructures. This analysis suggested that the anodic treatment induced a bulk oxidation of the AlInN barrier. The Fermi level at the oxidized AlInN surface was shifted deep into the bandgap. The oxidation led to a reduction of the carrier mobility and to partial depletion of the channel.     

大气状态下AFM阳极氧化加工重复性的研究

为实现多隧道结和多岛结构,针对室温大气环境下,利用AFM阳极氧化加工方法,对加工LT-GaAs衬底上的nm级厚度的钛膜的重复性进行了研究。本实验在一定的加工条件下,分别加工了点阵列和线阵列,通过最大残差法计算了它们宽度和高度的重复性百分比,得到所有的重复性百分比都小于1%,表明文中所提供的加工条件下,加工钛膜具有很好的重复性。同时,通过点阵列与线阵列的理论变换方法,进一步验证了在加工氧化钛线时采用0.1μm/s扫描速度的正确性。     

In Situ Surface Film Formed by Solid-State Anodic Oxidation for Stable Lithium Metal Anodes

Surface protection has drawn increasing attention in lithium (Li) metal batteries by simultaneously taking advantage of the uniform potential distribution and high conductivity, whereas tuning the composition of the protective film and improving the resistance at the interface of protective film/Li metal remain the challenges. Herein, a solid-state anodic oxidation strategy for preparing an in situ protective film for enhanced cycle life of Li metal anode is illustrated. The solid-state anodic oxidation of lithium metal is realized for the first time, and the method can be further modified for tuning the composition of the protective film for highly ionic conductive fluorine-rich interface. Surface electrodeposition simulations indicate the important role of the conductive protective film in increasing the uniform potential distribution on the Li surface. The as-prepared in situ fluorinated protective film efficiently suppresses the dendrite growth and promotes the cycling performance of the Li metal full cell in commercial ester electrolyte without any additive. This work opens up a new avenue for fabricating unique in situ protective films with controlled composition on Li surface for energy storage applications.