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激光器采用集总电容的LC快放电网络。主放电电极由一对铝合金电极组成,间距2厘米。其中一电极面形曲率R=1.5厘米,另一电极R=1厘米。二排由24组火花隙组成的紫外预电离针平行均布于电极二侧,总有效激活长度为72厘米;激光器谐振腔长为100厘米,全反端为镀铝平镜,输出端为GaF_2窗口。总锗能电容量为67000微微法总预电离电容为18720微微法。闭合循环系统采用金属真空系统与循环泵组成。 在电压34千伏,He:Xe:HCl=94.8%:4.7%:0.5%的配气比中,激光器输出能量大于110毫焦耳,脉冲前沿小于10毫微秒;脉宽40毫微秒。以80毫焦耳能量为起点,运转6×10~4次后能量下降50%。 相似文献
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上海光机所一室二组研制成功一台小型高功率XeCl准分子激光器,其光学谐振腔长仅有16cm,激活体积为0.8×2×7cm~3紫外光预电离Blumlein放电泵浦。由于精心设计了预电离和主放电电路,脉冲具有快的上升时间,并可在超过30ns的时间内给出均匀辉光放电。Blumlein电路两个电容器的尺寸是43×30cm~2和23×30cm~2整个器件的主体部分可置于一个40×90cm~2的台子上。此器件已给出最大42mJ的脉冲能量输出,峰值功率2MW。是迄今报道的激活长度最短的、峰值功率超MW、脉冲能量几十毫焦耳的放电泵浦XeCl激光器。 相似文献
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本文报导了一台电晕预电离XeCl准分子激光器的实验研究,输出最大脉冲激光能量超过250毫焦耳。研究了各种放电参数对输出激光能量的影响。 相似文献
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本文介绍的是X射线预电离KrF激光器的输出特性。利用瞬时X射线发生器在激光气体中产生1.5×108个/厘米3电子。此法能获得1.0毫焦耳能量(电效率0.93%),比用金属丝电晕放电所获得的70毫焦耳能量要大。KrF激光起始振荡的电子密度大约为107个/厘米3,而且激光的输出能量随着电子密度的增加而增大。 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1977,14(8):37
观察到ArF分子1933埃的强激光振荡。混合比为NF3:Ar:Ηe=1:55:630、总气压超过2.1大气压的混合气体由横放电激励。细调范围从1927埃至1936埃。脉宽15亳微秒的激光脉冲测得的输出能量为0.8亳焦耳。 相似文献
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襄樊市激光技术研究所继研制小型油浸卷筒氮分子激光器后,经过最近两年的努力,采用电容转换线路激励,成功地研制了高能量高功率油浸卷筒式氮分子激光器。该器件放电长度为950毫米,光斑尺寸10×14平方毫米,经用北京光电技术研究所测试室的Laser Instrumentation LTD Model 172-17NA能量计测定,其单脉冲能量为17.8毫焦耳(最大值为18.0毫焦耳),脉冲宽度(用日本6300示波器、300兆赫测定)在气压64托时为8毫微秒。 相似文献
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采用两级同步运转的紫外光预电离脉冲TEACO_2激光器.预电离是用不锈钢片制成的表面火花列阵,放在网状电极的后部.主放电和预电离使用单独的电源,并由可控的延迟触发器控制它们之间的时间延迟.为获得稳定均匀的无弧放电,在激光气体中掺杂了低离化电位的正三两胺种子气体.放电体积为7×7×100厘米~3,每级主放电贮能电容0.047微法,预电离电容0.07微法.为保证器件长时间稳定无弧运转,以便于调谐,工作气体比分选为CO_2:N_2:He=3:2:6, 总气压为560托,输入能量控制在每立升100焦耳.主放电对预电离延迟1微秒.这时器件单脉冲运转, 每分钟3~4个脉冲. 相似文献
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田晋 《激光与光电子学进展》1982,19(4):43
据华盛顿海军研究实验室的威纳特(R. W. Waynant)使用微波而不是直流放电泵浦准分子激光器应能产生能量较高的长脉冲。他指出,普通准分子激光释发射的脉宽一般小于25毫微秒,而微波泵浦的准分子激光器可产生宽度大于1微秒的脉冲,能量达0.5毫焦耳。威纳特补充说,他和他的合作者克利斯顿森(P. Christenson)用9千兆赫微波源激发氟化氙进行了初步试验,不过仅产生持续期为50到100毫微秒的脉冲,能量为30至50微焦耳。 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1976,13(9):25
本文介绍了对脉冲CS2/O2化学的CO激光器进行的实验研究,该激光器是在高压双放电横向激励大气压激光器系统中引发的。得到了分布体积放电,并产生了115毫焦耳的脉冲能量极大值,化学效率为4.5%,电效率为2.5%,输出能量系数为1焦耳/升。实验结果与模型计算说明,在所研究的实验条件下不会出现链-支化作用产生的氧原子。 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1977,14(8):55
苏联人描述了在紫外区输出的三种气体放电激光器:XeF、ΧeCl和KeF。并说,他们首先观察到的是308.16和307.92毫微米 的XeCl的受激发射。而从XeF、ΧeCl和KrF获得的能量分别为2.1和0.5毫焦耳。 脉冲持续时间相应为15.10和17毫微秒。 相似文献
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研制了一台增益体积为1.17 L的长脉冲紫外预电离TE CO2激光器。基于Pulser/sustainer技术,设计了独立可控的双高压开关抽运电路。在激光混合气体比CO2∶N2∶He=1∶2.5∶13,总气压30 kPa时,以6 nF的Pulser电容控制100 nF的Sustainer电容,获得稳定的辉光放电,激光比注入能量达1.607 J/(kPa.L),其中,Pulser能量不到全部注入能量的5%。另外,在保持Sustainer总电容100 nF不变的情况下,设计了两种脉冲宽度略有不同的Sustainer电路,均获得了稳定的辉光放电,实验测量了放电电压、放电电流与输出激光脉冲波形,并分析了Sustainer放电的阻抗特点。激光器采用“Z”形折叠腔结构,输出激光脉冲宽度达20μs,电光转换效率超过12.0%,最大脉冲能量为6.5 J。 相似文献
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高效率放电抽运KrF准分子激光器 总被引:6,自引:2,他引:4
248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,实现KrF准分子激光器的稳定放电,采用新型开关电源和结构紧凑的张氏电极,并通过优化储能/放电电容比例和工作气体配比等方法,研制出了一台小型高效率放电抽运KrF准分子激光器。研究了开关电源对充放电特性的影响,以及气体配比对激光输出效率和能量的影响。该激光器的各项参数相比以往的产品有了较大改善,可重复频率为1~80 Hz,输出效率最高达2.5%,最大单脉冲输出能量380 mJ;当工作电压高于25 kV时,激光输出能量不稳定度约为1.8%。 相似文献
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本文介绍金绿宝石的物理性能、用作激光基质金绿宝石晶体生长工艺以及室温下激光运转特性。在701毫微米到794毫微米波长范围内连续可调,在750毫微米处,输出功率最大。采用φ6.3毫米×176毫米晶棒获得500毫焦耳、200微秒脉宽激光长脉冲输出。Q开关运转时获得70毫焦耳,120毫微秒输出脉冲。 相似文献