洁净室气态分子污染物的监测技术

随着微电子工业工序复杂性的增加和产品尺寸的不断缩小,气态分子污染物(AMC)对产品的影响成为洁净室环境控制中重点关注的问题。文章介绍了洁净室中AMC的定义,重点阐述了AMC的监测技术。     

分子污染和硅片隔离技术

大直径硅片千兆技术的发展对洁净生产环境提出控制分子级污染的要求。主要从“硅片隔离技术”和消除分子级污染的技术措施两方面着手。     

洁净区域压力梯度分析及控制方法探讨

为保证多区域洁净室的可靠运行,对洁净区域压力梯度的分析方法和有效控制方案进行了深入探讨。结合多区通风网络分析方法和计算流体力学分析方法构建了洁净室多区域耦合分析模型,为压力梯度的合理设置及洁净室设计和运行评价确立了有效的方法;综合分析净化工程中现有的压力控制措施并结合分析模型提供的控制参数优化设置方法明确了压力梯度的控制方案,为实现洁净室的高效运行提供了参考。     

用CFD方法评价乱流洁净手术室的洁净等级

针对乱流洁净室设计的集总参数法和现行评估方式，本文在分析洁净室尘源特性和如何用CFD模拟室内尘源的基础上，提出在洁净室设计中应该更多地考虑洁净等级在空间中的分布，通过利用CFD技术得到室内所关心区域的污染物浓度水平和洁净等级，从而对洁净室设计和运行效果给出更合理的评价。     

空气传播分子污染物、源头及监控系统的研究

通过研究某半导体制造工厂应用AMC控制程序的案例,探讨关于AMC控制的具体内容,了解AMC并掌握如何制定正确的AMC评估战略、描述与建立AMC控制原则和规范、理解AMC控制系统的设计理念。     

医院洁净手术部现存问题解析

我国医院洁净手术部的建造市场还存在管理欠缺、监管不力的问题,市场上设计队伍和设计人员水平不一,施工队伍和施工人员良莠不齐,因此一些建成的洁净手术室还存在质量和性能参数满足不了规范的要求.为了建好医院的洁净手术部必须在管理和监管方面加强力度.另外,目前手术室的空调净化耗电偏高,应建设既能满足手术室的性能参数要求又节能的经...     

浅析洁净室洁净度的污染源及其控制方法

洁净室的洁净度在日常运行管理中十分重要.在洁净室内空气污染源及其传播途径分析的基础上,提出相应的切实可行的控制方法,以保证洁净室洁净度持续处于受控状态.     

国际洁净会议动态

国际洁净室教育委员会（ICEB）会议 2010年9月3日在东京会展中心召开了国际污染控制学会联盟的国际洁净室教育委员会（ICEB）全体会议。8个成员组织,代表11个国家（荷兰、中国、日本、爱尔兰、法国、意大利、韩国、瑞典、挪威、芬兰、丹麦）,和来自美国、德国、巴西的3个观察员组织出席了会议。     

生物洁净室的污染控制

生物洁净室的目的是控制细菌污染。通过对细菌特性、来源及污染途径的分析,确定了全方位、全过程控制的基本思想,即污染源控制,污染传播过程控制和交叉污染控制,通过分析微粒的运动特性,提出了空气途径污染的主要手段是气流流动控制和表面污染控制,最后分析了交叉污染的形成原因及其防治措施。     

净化厂房中气相分子沾污(AMC)的来源和危害

越来越多的研究发现,在半导体圆片加工净化厂房中,除了存在空气悬浮颗粒沾污外,还存在以气相或蒸汽形式存在的分子污染物(Airborne Molecular Contaminants,AMC)。随着特征尺寸(CD)的不断缩小,AMC将会越来越严重地影响圆片加工质量和成品率,并会影响净化厂房内工作人员的身体健康。文章介绍了AMC的分类、来源、危害性、控制标准和方法,希望以此引起人们对AMC的重视,并采取相应的控制措施。     

浅析FFU在电子洁净室的应用

重点阐述了FFU的特点及控制方式,并结合现代电子洁净室对空气洁净度等级的要求;分析了FFU应用在洁净室中的优势,并介绍了FFU在实际工程案例中的应用。     

浅析半导体洁净室的洁净度维护

半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程,分析洁净室洁净度维护系统中,日常管理容易出现纰漏的情况,找到预防这些纰漏的原因,并在实际管理过程中去避免这些纰漏。     

医药洁净厂房不锈钢洗刷池洁净型排水口设计

针对认证专家对洁净厂房内洗刷池原排水装置所提出的可能存在的污染洁净厂房环境风险的质疑,通过认真分析研究,认识到专家提出质疑的原因,并找到解决办法.设计出新的洁净型洗刷池排水口,消除了排水管网有可能对洁净厂房产生污染的风险.     

建设经济型洁净手术室初探

本文对经济型洁净手术室的设施标准及其参考造价进行分析,并对经济型手术室的设计考虑的特点进行讨论。     

预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC管控中的应用

对预浓缩气相色谱质谱在半导体洁净室VOC（Volatile Organic compound,挥发性有机化合物）管控中的应用进行了系统的归纳和总结。主要从三个方面的应用进行了讨论：一是洁净室VOC来源确认,二是确认厂务系统处理效率的应用,三是厂务系统处理最终效果的确认。也是实验室分析仪器在半导体行业应用方面的成功范例。     

论医院洁净手术室空调四管制的优越性

介绍了医院洁净手术室对空调系统的要求,特别是温湿度控制方面。通过对空调水系统四管制与二管制的分析比较,阐述了四管制空调的优越性,能有效解决温湿度控制问题。     

有效控制AMC的化学过滤方案

AMC对微电子制程存在潜在严重危害并会导致成品率降低.将传统检测方法和Gigacheck或Gigamonitor相结合,会得到更多的AMC信息.化学过滤器是去除AMC的有效手段,评价化学过滤器的指标不仅要考察吸附效率、吸附容量等指标,还必须对化学过滤器整体进行测试,从而能够提供对特定的AMC有很强针对性和突出去除效果的化学过滤解决方案.     

洁净手术室控制新技术:"湿度优先控制"

为降低院内感染,就要通过适当的空气处理方式,把室内的相对湿度控制在最不利于微生物生长的范围。本文提出了系统层面上的"湿度优先控制"理念,阐述了这种空调方式的应用范围,以及在洁净手术部实施该方式的可行性。     

基于自适应调制编码的IP微波技术

IP微波技术是一种全新的传输技术,它将IP技术运用到微波领域中传输数据信号,具有部署速率快、安装灵活、转运方便、传输数据高效等优势,成为我国常用的地面大容量无线传输系统。提出了一种微波传输的环境模型并对其进行了说明和讨论,该模型使用IP网络作为回传,有助于开发无线接入系统的通用网络。对超高频波段微波/互联网协议（IP）转换网络接口进行了原型设计,并对转换网络接口的三大功能模块进行了详细说明,实现了数字宽带综合业务的单向传输,并对地面传输信号（DTMB）进行了演示。结果表明,地面传输信号（DTMB）可以在IP网络上高效传输,并且间歇传送用于监测/观测应用的截断微波信号会显著降低网络所需的吞吐量。