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用于微测辐射热计的氧化钒薄膜制备 总被引:1,自引:0,他引:1
采用射频(RF)反应溅射法,在微结构衬底上制备氧化钒薄膜,研究了氧气压、衬底温度、退火条件及薄膜厚度对薄膜电阻及电阻温度系数(TCR)的影响.在氮气保护下,采用常规退火和快速升降温退火对薄膜进行热处理.结果表明:氧分压、退火条件和薄膜厚度对电阻温度系数影响较大,需综合考虑;衬底温度对薄膜电阻的影响较大,但对电阻温度系数的影响较小;与常规退火方法相比,采用快速升降温退火有利于薄膜电阻温度系数的提高;通过优化工艺参数,制得的薄膜电阻温度系数可达(-4%/℃)左右,满足微测辐射热计的要求. 相似文献
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一、概述电阻温度系数测试仪是用于测定各种合金材料的电阻温度系数的装置。标准电阻、精密电阻通常使用锰铜合金材料,根据JB 1778—76标准规定,普通锰铜试样电阻的测定点为10℃、20℃和40℃,由锰铜的电阻与温度的关系式可知, 相似文献
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各种低温的精密测量,对1—30K标准锗电阻温度计提出了迫切要求。锗电阻温度计的性能优劣,直接依赖于材料的特性。在1—30K范围锗的电导随温度的变化,跨越两种电导机构(载流子电导和杂质电导),因此其电导温度曲线呈现出不同斜率的过渡。过渡区的特性直接关系到温度计的测温范围,以及函数式的繁简。为了获得具有软过渡特性的温度计用的材料,本文在锗中掺以不同浓度的As,并适量地补偿Ga,用直拉法生长了单晶。材料制备的对比试验表明,用合金法掺As能稳定地控制掺入量;在正压氩气氛中能抑 相似文献
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超导体MgB2的高温电阻率及热重—差热分析 总被引:1,自引:0,他引:1
利用Mg扩散法制备出单相多晶的MgB2超导体,其超导转变的零电阻温度为38.4K左右,转变宽度小于1K。正常态电阻率温度关系为金属型,在270K-450K的高温范围内电阻率与温度成很好的线性关系。差热和热重分析表明在空气气氛中MgB2在900℃左右开始急剧氧化。 相似文献
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在测量金属电阻温度系数的实验中,由于电阻测试系统和温度测试系统对温度的响应时间不同,升温曲线和降温曲线不重合.引导学生发现这一问题,拓展实验思路. 相似文献
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原子层沉积(ALD)技术在制备薄膜时因具有厚度精确可控、三维均匀性好以及可以实现大面积成膜和低的成膜温度等优点而使其在各个领域受到广泛关注。本文采用ALD技术,以VO(acac)2和O2分别为钒源和氧源,使用不同的沉积温度(420~480℃)和退火条件(自然冷却、4和8h程序降温)在玻璃基底表面制备VO2薄膜。通过X-射线光电子能谱、X-射线衍射以及扫描电镜对薄膜的价态、结晶状况及表面微观形貌进行表征;通过四探针测试仪对所制备薄膜的半导体-金属相变特性进行了研究。实验结果表明:VO2薄膜相变特性与其微观结构和晶体取向有着直接关系。选择ALD脉冲时序为[10s-20s-20s-20s],循环周期数为300,在450℃沉积且采取自然冷却所制备的VO2薄膜结晶状态良好,相变前后薄膜方块电阻突变量大,具有良好的热致相变特性。因此,该ALD技术可以制备相变特性较好的VO2薄膜。 相似文献
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为了使12 T/50 mm无液氦超导磁体在4.5 K低温下具有更好的运行稳定性,针对磁体线圈设计了传导冷却结构及低温系统。通过仿真软件,模拟低温环境下磁体线圈的温度分布,进一步对低温系统内部的导热结构进行优化设计。为了防止线圈在降温过程中产生过大温差导致热应力集中,根据低温系统在不同工况下的热负荷变化,对各部件降温过程进行瞬态模拟。模拟结果表明,12 T/50 mm无液氦超导磁体低温系统能够满足磁体线圈所需要的低温环境,即磁体线圈正常运行温度低于4.5 K,励磁温度低于6 K,降温及励磁过程中产生的最大温差低于20 K。 相似文献