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研究了环境温度变化对各种元件气敏特性产生的影响突出地表现为随着
环境温度的降低一℃ , 气敏元件在空气中的阻值。明显增大用有机硅化物
处理元件的表面可减小元件凡的这种漂移 相似文献
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对H_2S气敏元件特性的改进 总被引:2,自引:0,他引:2
以ZnO为基体材料制作的H_2S气敏元件比SnO_2元件对H_2S气体的选择性和响应恢复特性有明显的改善。这为元件的实用化创造了有利的条件。 相似文献
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CO_2气敏元件特性检测装置 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种合配气、温控、检气的流通型检测装置,具有简易可行、温度控制精确、能快速进行CO2气体浓度切换等特点,能较好地检测CO2气敏元件的静、动态特性。 相似文献
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合成了四氮杂轮烯(TAA)及其Cu,Ni和Co络合物。用其升华薄膜制成气敏元件并探索其在室温时的气敏响应特点 相似文献
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平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构,采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm×2 mm的直热式Sn02薄膜甲醛气敏元件.用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜,材料的平均粒径约为15nm.元件的最佳工作温度约为230℃,在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间.实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,元件的响应和恢复时间均约为50s. 相似文献
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TAA-NO_2传感器在火炸药安定性自动化检测中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
以TAA-NO2传感器为基础,建立了一套用于火炸药安定性自动化检测的采样,记录与数据处理系统。首次提出用三个特征值(tT℃1,tT℃2和VT℃2)将响应特性曲线与火炸药的安定性关联起来的新概念。并用该系统测定了四种火药和硝化甘油的安定性,所有结果和经典实验结果很好吻合。 相似文献
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稀土掺杂薄膜型气敏元件 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍稀土掺杂薄膜型气敏元件的制作工艺和敏感性能,测试结果表明,掺Eu2O3的元件对丙酮敏感性高,而掺Nd2O3的元件对乙炔气敏感性高,文中对这类元件的气敏机理作了简单的讨论。 相似文献
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研究了γ—Fe2O3、ZnO、WO3、La1-xSrxFeO3气敏元件的环境温度特性。环境温度改变时(-40~40℃)元件的阻值R0的变化依基体材料及检测气体而异,La1-xSrxFeO3乙醇元件最为稳定,ZnO和WO3的H2S元件的R0有明显漂移,但在一定浓度H2S中的Rg比较稳定。这几种元件均适于在VH=5V下工作。 相似文献
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以不同锡、镉比的CdO、SnO_2混合粉料作靶,采用直流溅射方法制得镉、锡复合氧化物薄膜。由XPS及SEM分别对薄膜的组成与形貌进行分析,并探讨了掺钯前后,Sn/Cd比、工作温度及气体浓度等对CdO—SnO_2混合溅射膜性能的影响。 相似文献
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采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器,选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜,从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理。阐述了该传感器的结构与工艺流程,并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性。实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性,该传感器可以检测到10^-6量级的NO2气体,且响应时间快。 相似文献
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NO2高选择性气敏元件及其表面修饰 总被引:2,自引:0,他引:2
本文报导了用WO_3气敏材料制作高灵敏度、高选择性N0_2气敏元件的研究结果,并利用修饰技术在元件特性的改善和提高方面做了初步实验,对元件敏感机理也做了初步探讨.结果表明,元件对N0_2具有高灵敏、高选择特性,元件阻值合适且响应恢复快,并有良好的抗湿度特性,通过对元件气氛处理、掺杂等表面修饰技术可明显提高元件的气敏特性. 相似文献
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有机半导体薄膜由于具有特殊离域的。电子体系的特殊结构,特别是LB膜制备技术的采用,使得制备的有机半导体薄膜具有定向性和极高的比表面积,在气体传感器应用中显示出优异的性能.本文主要讨论了平面电极式有机半导体薄膜气体传感器研制中与表面和界面有关的技术问题及其解决的基本方法. 相似文献
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采用磁控溅射技术制备Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜.研究退火处理对薄膜微观结构和表面形貌的影响,进而测试了相关的气敏性能.实验证明,经过氧化性退火处理,集成薄膜中的SiO2层厚度从3 nm增长到50 nm左右,形成Pd/SnO2/SiO2/Si结构,SnO2薄膜形成金红石结构的多孔柱状晶.气敏测试表明,Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜在低温区对H2、CH4、CO和C2 H5OH敏感性较高,另外,随着H2气体浓度的增加,相应灵敏度从35递增至73.5. 相似文献
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Zn2SnO4 气敏材料的水热合成及其掺杂改性 总被引:4,自引:0,他引:4
采用分析纯的ZnAc2·2H2O 和SnCl4·5H2O作为起始原料,控制适当的pH值和离子浓度,在200 ℃温度条件下水热法反应24 h得到Zn2SnO4微粉;通过浸渍法制备了Pd、Au、La掺杂的Zn2SnO4粉体;利用X射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)对合成材料的结构、尺寸和形态进行了表征;采用静态配气法测试了材料的气敏性能.结果表明:在200℃水热条件下可直接合成Zn2SnO4,所得材料是比较规整的立方晶型,粒径大约为200 nm,纯Zn2SnO4对H2S、乙醇蒸气、乙醇汽油等有机蒸气具有较好的灵敏度,通过金属离子掺杂能明显提高材料对乙醇蒸气、乙醇汽油等气体的灵敏度和选择性. 相似文献