氦质谱检漏仪性能诸元关系的研究

本文根据顺流式氦质谱检漏仪和逆流式氦质谱检漏仪真空系统的结构配置特点,分别推导出这两类检漏灵敏度、最高入口工作压强、抽气时间、最小可检漏率、最大可检漏率、响应时间和清除时间等特性的普适性计算公式。这些公式能够解释有关的实验结果,有助于分子泵逆流检漏仪的研制开发。     

航天器氦质谱真空容器总漏率检测的灵敏度及可信度探讨

依据航天器氦质谱真空容器总漏率检测原理,讨论了检漏仪和真空容器直接相连、同真空容器主真空泵并联、在前级泵和主真空泵间等连接方式,逐项研究了总漏率测试的最小可检漏率、反应时间,分析各种连接方式的应用特点,认为对大型航天器氦质谱真空容器检漏系统,检漏仪连接在前级泵和主泵之间可得到较好的灵敏度和反应时间.通过测量不确定度的分析与评定,确定一般航天器氦质谱真空容器总漏率检测的相对标准不确定度小于10％.     

逆扩散型氦质谱检漏仪的研究

一、常规型质谱检漏仪的发展真空检漏技术中,唯有氦质谱检漏仪灵敏度最高。广泛采用,发展较快亦较成熟。早在四十年代其检漏灵敏度为10~(-8)托·升/秒,到五十年代末达10~(-13)～10~(-14)托·升/秒。国内在六十年代以来分别研制的氦质谱检漏仪以及国外绝大部分质谱检漏仪新产品均属常规形式(见附表1、表2)。被检漏件与节流阀相连,由辅助机械泵完成粗抽。检漏时节流阀徐徐打开,调至质谱室允许的工作压强,质谱室真空由扩散泵抽气。为提高系统的真空度和质谱室少受沾污,一般加有液氮冷阱,前级有机械真空泵以及必要的一些辅助的旁路或     

第七讲：真空检漏

第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）二、检漏仪器（接１９９７年第５期第４４页）用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国...     

涡轮分子泵逆检流漏技术研究

一、逆流检漏方法的特点在通常的氦质谱检漏法中,被检件接在检漏仪的高真空侧,被检件通过节流阀与检漏仪的质谱室相连,如图1所示。氦气通过漏孔进入被检件并被抽入质谱室,其中一部分被主泵抽走,另一部分在氦质谱室中建立起氦分压,由此形成了     

大型真空系统氦检漏率的快速准确检测方法

大型真空系统检漏往往耗时长、效率低。本文分析了氦气通过漏孔进入氦质谱检漏仪形成检漏信号的规律,并据此建立检漏信号数学模型,确定漏孔的最终稳态泄漏信号。基于上述分析,提出漏孔漏率的一种快速预测方法。该方法用于大型真空系统检漏能准确预测被检部位的漏率,能显著缩短检漏时间,提高检漏效率。     

标准漏孔及其校准

随着我国航天事业的发展 ,各种型号的卫星、宇宙飞船、导弹和运载火箭相继研制成功。但是 ,由于各种泄漏也造成多起质量事故。目前 ,泄漏已成为我国航天器发射失败的主要原因之一。所以 ,航天产品密封检查尤为重要。氦质谱检漏仪是一种非常灵敏、使用广泛的检漏设备。在航天领域 ,承担着各种密封零部件、密封系统、整星和电子原器件的检漏任务。氦质谱检漏仪是一种比对仪器 ,在检测产品前要与一个已知漏率的标准漏孔进行漏率值的比对 ,即用标准漏孔对氦质谱检漏仪或整个检漏系统进行校准。只有经过校准的氦质谱检漏仪或检漏系统才能准确地测…     

嗅敏探枪累积检漏方法

氦质谱检漏法是目前使用最多、灵敏度最高的一种检漏方法。这种方法又可分为抽空法和加压法。所谓抽空法就是将被检件与检漏阀相连,利用检漏仪的抽气系统或专门设计的抽气系统将被检件内腔抽空,然后在被检件外部焊缝处施以氦气(喷吹法或氦罩法)。在一个大气压的压差作用下,氦气便通过漏孔进入被检件内腔并传输到检漏仪中,使检漏仪输出指示发生变化(如图1所示)。所谓加压法就是被检件内充以高压氦—空气混合气,氦—空气混合气在压差(1～几个气压)的作用下通过漏孔向外部大气中逸出,被检件外部用一种叫嗅敏     

中国环流器HL和欧洲联合环JET的检漏技术进展

对HL环流器系列装置,开发了蒽-丙酮荧光液渗透检漏用于真空内衬的零部件检漏,灵敏度可以达到10-9Pa.m 3.s-1,示漏位置分辨小于0.5mm;对大容器真空检漏,采用四极质谱计和氦质谱检漏仪相配合的检漏法;对压力容器检漏,开发了真空罩吸枪-氦质谱检漏系统,还研制了适于抽除大量水汽的检漏真空机组。对氘氚放电的JET,使用普通的氦质谱检漏仪(扇形磁体型)受到真空室壁释放所吸留的氢同位素的、尤其是氘的严重干扰,因为示漏气体氦(4H e,4.0026u)与氘(D2,4.0282u)的质量数十分相近。在氦质谱检漏仪入口处串接选择性抽气泵——用液氮冷阱来抽除可凝气体、用分子筛泵或10K低温泵来抑制氢同位素本底,并前置一个涡轮分子泵来压缩加强采样气流等。这种加强组合能使原先的氦质谱检漏系统灵敏度提高3个量级以上。     

空调器生产线的氦质谱检漏技术

氦质谱检漏技术在空调器生产中已得到了应用，产生了明显的经济效益。对于生产线的空调器整机检漏采用了加压吸枪法。研制的检漏设备分三部分：充氦系统、氦质谱检漏仪和氦气回收系统，回收效率可达９０％以上。设计了一套二器（冷凝器和蒸发器）氦质谱检漏设备。这套设备可对两器进行总检，其检漏速度达５０ｓ／台，灵敏度达１０－９Ｐａ·ｍ３／ｓ。     

真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术

(上接2005年第1期第64页)5.4.4　质谱仪检漏法质谱检漏是最灵敏和常用的检漏技术,实际应用的质谱检漏仪都采用高灵敏磁扇形残余气体分析探头。为获得最高灵敏度,可适当降低分析器的分辨率。为此可选用质量数唯一,容易分辨并且大气内含量极少的试验气体。氦气是惰性气体,质量数为4,基本上符合要求。因此质谱检漏仪常用氦气作为试验气体,并称之为氦质谱检漏仪。这种仪器的分析器探头只对氦气分压力的变化有响应。氦质谱检漏仪最重要的技术指标是灵敏度。灵敏度是仪器输出信号的变化除以引起此变化的输入量变化。质谱仪的输出信号是表头读数,输…     

大型金属超高真空系统检漏的特点和方法

阐述大型系统超高真空获得及运行过程检漏工作的几个特点。对结构复杂的真空室，如何使用分子筛吸附泵与氦质谱检漏仪相结合提高检漏灵敏度，极大限度地找出泄漏的位置。还指出大型金属超高真空系统运行过程如何根据溅射离子泵离子流的数据，判断真空系统漏气及寻找漏点的方法。     

氦质谱检漏仪的进展及应用

1　氦质谱检漏仪的进展经过近半个世纪的努力,氦质谱检漏仪取得了很大的进步,集中体现在如下几个方面。(1)便携式　小型便携式检漏仪不仅灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏　如日本的仪器以及中科院科仪中心的ＺＱＪ230Ｇ型仪器,检漏口压强可高达数百帕,有利于检测大系统和有大漏孔的工件。(3)自动化程度高　中科院科仪中心的ＺＱＪ291型仪器,自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次全检漏过程。(4)全无油的干…     

氦质谱检漏法中应注意的几个问题

氦质谱检漏仪是当前用得最广、灵敏度最高的一种检漏仪器。它不仅能确定出极微小漏孔的位置,而且还能通过标准漏孔测量出该漏孔的漏率。因此,在真空技术,气体和液体的贮存和输送(特别是低温液体)装置等方面均得到了广泛应用。然而,如何充分发挥仪器的效能和提高检漏结果的可信度,确是值得认真对待的重要问题。既然被检件经过了检漏,那     

大型金属超高超人空系统检漏的特点和方法

阐述大型系统超高空获得及运行过程检漏工作的几个特点。对结构复杂的真空室，如何使用分子筛吸附泵与氦质谱检漏仪相结合提高检漏灵敏度，极大限度地找出泄漏的位置，还指出大型金属超高真空系统运行过程和如何根据溅射离子泵离子流的数据，判断真空系统漏气及寻找漏点的方法。     

大型真空容器的漏率控制与密封设计

随着科技进步,真空装备向大型化,高真空的方向发展。本文针对大型真空容器的检漏和密封设计进行了分析。当容器容积在2000 m3量级时,氦质谱检漏仪接到前级真空侧理论上能够实现反应和清除时间约10 s,检漏灵敏度约1×10-9Pa·m3/s的总装检漏。考虑到总装检漏实际实施上的不确定性和补漏困难的问题,通过密封和检漏设计,提高建造过程中的检漏水平和质量显得尤为重要。文中对焊缝检漏、大型真空法兰的密封及检漏结构、大型真空阀门的使用等进行了分析。     

氦质谱压力真空检漏法在高压容器检测中的优化分析

本文介绍了氦质谱压力真空检漏方法在高压容器泄漏检测中的优化分析。通过给氦质谱压力真空检漏法的集气室充气工装增加辅助抽气室,避免高压条件下充气工装泄漏造成的检漏系统本底信号过高影响,提高了氦质谱压力真空检漏方法在高压容器检测中的灵敏度和检测数据的准确性,拓展了氦质谱压力真空检漏方法的适用范围。     

对1000kw电子轰击炉的氦质谱检漏

一、前言　　　　　　我们根据我国现有的检漏方法和仪器,　　决定试图摸索出用氦质谱检漏仪对大型金属　　真空设备进行检漏的一点经验,为解决当前　　真空冶金中急待解决的真空检漏做点有益工(作。我们在我国自行设计和制造的1000　kw电子轰击炉上进行了实际操作和试验,实践　　证明:效果较好,基本上达到预期目的。　　　　二、需要解决的几个问题　　　　　　众所周知,氦质谱检漏仪的检漏灵敏　　度是很高的,出厂指标都在　　10～10　　托·升/秒范围内(在最佳工作条件下),质　　谱室的工作压强一般都为2×10托,仪器　　的使用与维护较其…     

ITER绝缘线圈氦质谱压力检测优化分析

ITER将第一次在世界上实现能与未来实用聚变规模相比拟的受控热核聚变实验堆,解决通向聚变工程的很多物理和工程问题。其中超导体磁体作为国际热核聚变实验堆ITER(International Thermonuclear Experimental Reactor)装置的核心部件之一其制造过程中非常关键问题就是焊缝的密封性能。对于焊缝的密封性能常用检漏方法是氦质谱真空压力检漏。本文主要介绍了氦质谱压力真空检漏方法在线圈泄漏检测中的优化分析及检测步骤。通过给氦质谱压力检漏法集气室中的连接工装增加辅助机械泵,避免真空条件下连接法兰泄漏造成的检漏系统本底信号过高影响,提高了氦质谱压力真空检漏方法在线圈检测中的灵敏度和检测数据的准确性,减少了误判的几率,拓展了氦质谱压力真空检漏方法的适用范围。     

逆扩散型氦质谱检漏仪在冰箱检漏工作中的应用

逆扩散型氦质谱检漏仪可以直接用吸枪对冰箱检漏。这种方法检测灵敏度高、操作 简便、无需液氮、无需辅助真空设备、无需排风设备、无毒、无害且能达到Ａ级冰箱检 测标准。