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相似文献
 共查询到13条相似文献,搜索用时 177 毫秒
1.
数值模拟了C-H-O和C-H-N体系的气相化学,构建了含氧和含氮气源化学气相沉积金刚石膜的三元相图,探讨了加氧和加氮影响金刚石膜生长的途径.结果表明,甲基是金刚石生长主要的前驱基团,乙炔导致非金刚石碳沉积,原子氢刻蚀非金刚石碳.通过气相反应改变这些基团的浓度是加氧的一个重要作用途径,而加氮在改变这些基团浓度的同时,CN等含氮基团还强烈地参与了金刚石膜成核和生长的表面过程.  相似文献   

2.
低压下用CO H_2气体制备人造金刚石的相图计算   总被引:1,自引:0,他引:1  
用非平衡热力学耦合模型计算了低压下由CO+H2气体制备人造金刚石的相图.这些相图与经典的平衡热力学理论计算的相图不同,都有一个金刚石生长区.金刚石生长区的存在是实现用CO+H2气体制备人造金刚石的热力学基础.本文认为相图中的金刚石生长区是体系中超平衡氢原子和超平衡氧原子对金刚石相和石墨相不同作用的结果.不同压力下相图中金刚石生长区的范围稍有不同,压力降低时,金刚石生长区将向低CO浓度的方向移动.本文还将计算的结果与报道的实验结果进行了对比分析,两者基本相符.  相似文献   

3.
通过热力学分析从理论计算上给出了C-H-N体系中低压生长金刚石的三元相图.该相图中存在金刚石生长区.不同温度和压强下金刚石生长区几乎都位于CH4-N连线以下,并且随衬底温度的改变而有显著的变化.随着氮含量的增加,金刚石生长区向碳含量减少的方向移动.使用该相图对优化添加含氮气源生长金刚石的实验条件提供了理论依据.  相似文献   

4.
本文根据非平衡热力学耦合模型计算了不同激活温度下的金刚石生长相图,研究了不同激活温度下金刚石生长区的变化.激活温度升高,金刚石生长区变大,有利于生长金刚石.对干不同的衬底温度,随激活温度的升高,金刚石生长区的变化也有所不同.  相似文献   

5.
根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果符合,可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据。  相似文献   

6.
低压下用CO+H2气体轩人造金刚石的相图计算   总被引:5,自引:4,他引:1  
用非平衡热力学耦合模型计算了低压下由CO+H2气体制备人造金刚石的相图,这些相图与经典的平衡热力学理论计算的相图不同,都有一个金刚石生长区,金刚石生长区的存在是实现用CO+H2气体制备人造金刚石的热力一文认为相图中的金刚石生长区是体系中体系中超平衡氢原子和超平衡2氧原子对金刚石相和石上不同作用的结果,不同压力下相图中金刚石生长区的稍有不同,压力降低时,金刚石生长区将向低CO浓度的方向移动,本文还将  相似文献   

7.
本文用非平衡热力学耦合模型计算了常压乙炔火焰生长金刚石的相图,从理论上得到金刚石生长合适的衬底温度及气体流量比条件.不同衬底温度下氧气与乙炔流量比的范围是不同的.实验中通常的衬底温度在1000~1250K之间,此时合适的流量比范围应为0.8~1.1.衬底温度太低,不论流量比为何值,都不能生长金刚石.不同气体流量比时,衬底温度的范围也不相同,当流量比接近于1时,衬底温度的范围最宽;流量比偏离1时,衬底温度的范围将迅速变窄.本文从理论上得到的生长条件与报道的实验结果基本相符,因而可用于指导乙炔火焰生长金刚石的实验研究.  相似文献   

8.
低压气相生长金刚石薄膜   总被引:2,自引:0,他引:2  
  相似文献   

9.
Pd-Cu-Si体系相图计算与非晶成分设计   总被引:1,自引:1,他引:0  
巫祥超  张鹏程  陈金繁 《材料导报》2013,27(Z1):123-125
Pd-Cu-Si合金体系的非晶形成能力与其相图的最低液相温度密切相关.利用相图计算的基本理论和模型,结合低维到高维的外推公式,计算优化了Pd-Cu-Si合金体系相图的液相投影图,在富Pd区域得到一系列可能的非晶形成能力较强的成分,指导非晶成分设计.  相似文献   

10.
常压乙炔火焰制备金刚石的生长条件   总被引:2,自引:2,他引:0  
本文用非平衡热力学耦合模型计算了常压乙焰火生长金刚石的相图,从理论上得到金刚石生长合适的衬底温度及气体流量比条件。不同衬底温度下氧气与乙炔流量比的范围是不同的。实验中通常的衬底温度在100-1250K之间,此时合适的流量比范围应为0.8-1.1。衬底温度太低,不论流量比为何值,都不能生长金刚石。不同气体流量比时,衬底温度的范围也不相同,当流量比接近于1时,衬底温度的范围最宽;流量比偏离1时,衬底温  相似文献   

11.
含氧化锆的氧化物系统计算相图研究与进展   总被引:3,自引:0,他引:3  
氧化锆是一种重要的高性能陶瓷材料,由于其优良的力学和电学性能。在结构陶瓷和功能陶瓷两个都有着广泛的应用前景,本文在简述计算相图发展和原理的基础上,综述了近年来对含氧化锆系统计算相图的研究,总结了一些重要体系的研究结果,提出计算相图方法将对该系统材料的组分设计起重大的促进作用。  相似文献   

12.
三元系统相图教学课件,是以三元系统相图为蓝本,利用Flash、HTML等网络多媒体技术的优势,将复杂的三元相图讲解内容和繁琐的相图判断规则制作成简单实用的网络课件,从而,促使了教学手段的更新和教学方式的转变。  相似文献   

13.
刘志杰  张卫 《功能材料》1998,29(5):506-508
激活温度和衬底温度是低压人造金刚石制备过程中的两个重要的温度参数,激活温度决定着制备过程中一些重要激活粒子如超平衡氢原子和超平衡氧原子等浓度,而衬底温度对能否 生长金刚石也有重要作用。采用合理的理论计算可以预测温度对金刚石生长条件的影响。本研究采用非平衡力学硝模型计算了C-H、C-O和C-H-O体系不同激活温度下的金刚石生长相图,研究了激活温度和衬底温度对金刚石生长区的影响规律。本研究结果将对金刚  相似文献   

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