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论纳米光栅测量技术 总被引:4,自引:1,他引:4
邹自强 《纳米技术与精密工程》2004,2(1):8-15
作者及其同事们经过20多年努力将计量光栅技术提高到了纳米量级和亚纳米量级,并进行了大面积推广应用,形成了一整套纳米光栅测量技术,该文为对这套技术的综合论述.首先回顾了刻线技术的发展历史,指出中国古代曾作出杰出贡献.归纳了发展计量光栅技术的5个阶段和4项内容.给出纳米光栅的定义和两个特点,并通过作者和同事们的光栅制造过程说明,纳米光栅实质上是一种刻录、固化到光栅基体上的光波波长.它为纳米测量领域提供了一种新途径、新方法,与激光干涉仪等现有纳米测量方法相比,具有自己独特的优点.文中讨论了纳米光栅的读取技术与信号处理技术,提出了纳米光栅细分误差的错位测量法.还讨论了与纳米光栅相关的纳米机械,介绍了作者和同事们的科研成果,圆柱、导轨等的机械精度已经进入了纳米量级.最后讨论了纳米光栅与激光干涉仪以及高等级量块的比对结果. 相似文献
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介绍了量具的零位调整不正确时系统误差消除的方法并以游标卡尺和外径千分尺为例具体分析其消除方法。 相似文献
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《中国新技术新产品》2015,(11)
长度测量技术是近几年工程建设、工业生产等领域研究最多的问题,其测量系统分辨率早已经达到微米、亚微米乃至纳米等级。本文就长度光栅测量工作中出现的误差来源分析,简单的阐述了有关误差修正技术,仅供同行工作参考。 相似文献
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粗光栅位移测量系统细分误差的来源与消除分析 总被引:3,自引:0,他引:3
本文从粗线纹光栅位移测量系统的原理出发,对里周期性变化的细分误差作了详细的理论分析,并得到了实验的验证.同时提出了从硬件上和软件上消除细分误差的方法,为进一步研制高精度数显系统打下基础。 相似文献
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光电跟踪测量仪器的系统误差的修正方法 总被引:2,自引:0,他引:2
对于现代光电跟踪测量仪器来说,为获得较高的实际使用精度,必须对仪器的系统误差进行检测并加以修正。本文是根据从事精度检测工作的实际经验,着重讨论在外场对静态系统误差进行检测和修正的方法,并且指出了采用系统误差修正的方法对于仪器设计和仪器使用的指导意义。 相似文献
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介绍了梯形误差的产生,以及梯形误差的检测方法,根据物镜放大倍率变化与物距的函数关系,推导出梯形误差校正机构的运动距离,并进行了模块数据的验证。 相似文献
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介绍了关节坐标测量机原理、组成,并对其进行了误差分析.从理论上分析了圆光栅安装偏心误差对测量结果的影响,介绍了圆光栅分度误差测量方法,并采用非线性拟合的方法对该项误差进行了修正. 相似文献
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提出了一种自动测量光栅栅距修正累积误差的方法。栅距测量是基于高阶累积量估计光栅传感器输出的两路莫尔条纹信号的时间延迟而得到的,该方法能够实现每个栅距的测量,通过对每个光栅栅距的误差进行修正来减少累积误差,为大量程高精度测量奠定了基础。实验采用长为500 mm的50线/mm的光栅传感器,该传感器包含栅线25 000条,实现栅距测量分辨力为3 nm,达到了纳米级测量。该方法抗干扰能力强,适合在生产现场应用。 相似文献