干膜光致抗蚀剂

干膜光致抗蚀剂法(以下简称干膜法),自1968年杜邦公司开发以来,一直是作为印刷线路板的一种图像成形法。干膜法有以下优点:(1)由于是薄膜状,所以作业性好(不需要涂布和干燥工序);(2)抗蚀剂厚度均匀,且能涂覆厚物;(3)可以进行遮蔽;(4)能形成精密图像。在印刷线路板生产自动化的发展过程中,干膜的良好作业性为人们所认识,预计     

印制板H_2SO_4/H_2O_2蚀刻体系对贴膜工艺的要求

前言 H_2SO_4/H_2O_2蚀刻体系具有如下优点:(1)配制溶液方便,操作简单;(2)蚀刻效果好,侧腐蚀小;(3)废液处理简便,污染程度小;(4)可进行综合利用。许多单位逐渐扩大使用范围,取得了良好的效益。作者去年在全国印制电路第三届学术年会上发     

抗蚀剂材料以及在光学元件方面的应用动向

一、前言一般所说的光致抗蚀剂,就是化学蚀刻掩模上涂布的高分子感光材料。从用于半导体元件制造的柯达公司的商品—Kodak Photo Resist,到类似的材料,都称之为“光致抗蚀剂”(Photoresist)。近来,由于照射用的光源已从可见光扩展到X射线,     

印制线路用抗蚀剂

印制线路用光致抗蚀剂的种类表中按照光致抗蚀剂的物理形状进行分类,并分别列出其各种特征,使用者可以根据其特性灵活应用。如表1所示,干膜光致抗蚀剂各种性能都好,可广为应用。由于液态光致抗蚀剂是液体状的且存在对基板的涂布方法等问题,所以很难用在具有通孔的基板上形成图形,只能用于内层板等方面。而当用其作焊锡抗蚀剂时,尽管抗蚀剂膜会缺乏均匀性,但对线路的凹凸面来说,液体的随动性好,故可广为使用。     

日本耐大气腐蚀钢板表面处理技术

1前言 --耐大气腐蚀钢是指为提高耐大气腐蚀性能而添加了少量Cr、Cu、Ni、P合金元素的低合金钢,能在钢材表面上形成致密而稳定的锈层,在日本桥梁制造业使用量为最多,被称为具有防腐蚀性能钢材.耐大气腐蚀钢材,自1978年在日本桥梁上使用以来,由于使用该种材料的钢结构不需涂覆防腐蚀涂料而降低了维修费用,在实际桥梁上应用呈逐渐增加趋势.但是,这种钢在裸材使用上,尚存在问题,归纳为:(1)耐大气腐蚀性能钢材在初期使用与普通碳素钢一样产生红锈,污染周围混凝土结构而影响环境美观;(2)生成稳定锈层时间长,约需要10年;(3)在海边由于大气中海盐粒子量超过0.05 mdd(mg NaCl/dm2/day)时,即高盐分环境中生成稳定锈层很困难.日本建设省规定耐大气腐蚀钢材使用环境的盐分含量为0.05 mdd以下;(4)为防止汽车冬季打滑,道路上使用的盐量增加,影响稳定锈层的生成等[1].     

埋地钢质管道直流杂散电流腐蚀机理及影响因素研究

本文通过实验对埋地钢质管道直流杂散电流腐蚀机理及影响因素进行研究,认为:(1)直流杂散电流腐蚀机理为阳极区金属失去电子由铁变为铁离子,阴极区发生电解水化学反应;(2)直流杂散电流腐蚀速率与电流强度呈线性相关;(3)杂散电流强度相同,腐蚀速率随土壤电阻率增大而下降;(4)直流杂散电流电压相同,腐蚀速率随土壤电阻率减小而增大。     

均匀腐蚀试验方法

本方法描述实验室中进行金属与合金均匀腐蚀(失重)试验的一般方法。它不适用于高温氧化,大气腐蚀,盐雾腐蚀以及土壤腐蚀所造成的失重试验。本试验包括(1)适用范围;(2)试样的制备;(3)试验装置;(4)试验条件;(5)试验程序;(6)腐蚀率的计算;(7)报告的要求以及三个附录:I.腐蚀产物的电解清除法:Ⅱ.腐蚀产物的化学清除法;Ⅲ.部分金属与合金的密度。本方法对试样的要求,试验条件与试验程序作了详细而严格的规定。有了这些规定才有比较实验数据     

18—8不锈钢在氯化镁溶液中应力腐蚀断裂的声发射研究

应力腐蚀开裂(scc)是在远低于破坏极限的条件下,材料受到拉应力和特定腐蚀环境的联合作用而导致的脆性开裂。它常常会引起没有明显预兆的突发性破坏事故,造成生命和财产的灾难性后果。为了避免事故的发生,人们迫切需要了解应力腐蚀断裂的过程,区分scc裂纹的孕育期和扩展期,以防患于未然。为了研究奥氏体不锈钢在氯化镁溶液中的应力腐蚀断裂,识別孕育期和裂纹扩展期,通常采用下列方法:(1) 直接用显微镜观察裂纹;(2) 观察伴随裂纹发生发出的氢;(3) 测量电位——时间曲线;(4) 测量延伸率——时间曲线;(5) 在恒应变下测量应力松驰。但是以往的许多试验证明,用这些方法常常由于某种原因很难     

X65钢在高温高压CO2酸性溶液中的腐蚀行为

利用高温高压釜,通过失重法、SEM、XRD以及电子探针微观结构分析等方法,研究了X65钢在四种不同高温条件下及1 MPa分压的饱和CO2的NACE酸性溶液中的腐蚀行为。结果表明:(1)在所研究的温度范围内,X65钢在CO2腐蚀介质中表现出高的腐蚀速率;随着温度的升高,腐蚀速率呈先下降再升高的趋势,90℃时最小;(2)表面生成了FeCO3为主的腐蚀产物膜;(3)CO2腐蚀的作用形成了钢表面点蚀、坑蚀、台地腐蚀特征;(4)Cl-为点蚀的"激发剂",并且在点蚀坑内富集,导致局部Cl-浓度差不同,促进点蚀发生;(5)CO2腐蚀是各种因素相互作用的结果。     

THE ROLE OF GRAIN BOUNDARY SEGREGATIONS AND HYDROGEN DIFFUSION ON SCC IN 7050 Al ALLOY

本文研究了7050铝合金的应力腐蚀开裂。用离子探针证实氢在裂尖区富集,通过俄歇能谱分析研究了Zn,Mg 元素在晶界的偏析。应力腐蚀开裂包括三个过程:(1)在欠时效和峰时效的合金中,氢加速进入晶界;(2)氢和Zn(或Mg)在位错芯部发生电荷转移产生H-;(3)由于H-在晶界的尺寸失配导致晶界开裂。测定了应力腐蚀开裂激活能,表明氢在晶界中通过空位扩散是控制应力腐蚀开裂的主要过程。     

7050高强铝合金晶界偏析和氢致应力腐蚀开裂

本文研究了7050铝合金的应力腐蚀开裂。用离子探针证实氢在裂尖区富集,通过俄歇能谱分析研究了 Zn,Mg 元素在晶界的偏析。应力腐蚀开裂包括三个过程:(1)在欠时效和峰时效的合金中,氢加速进入晶界;(2)氢和 Zn(或Mg)在位错芯部发生电荷转移产生 H-;(3)由于H-在晶界的尺寸失配导致晶界开裂。测定了应力腐蚀开裂激活能,表明氢在晶界中通过空位扩散是控制应力腐蚀开裂的主要过程。     

邻叠氮萘醌磺酸酯型光敏剂的合成及其性能的测试

邻叠氮萘醌磺酸酯型正性光刻胶(或光致抗蚀剂)具有如下特点:1.分辨率高,一般在1μ以下,即使涂胶较厚,也能得到较好的分辨率。2.所得图象逼真,边缘整齐,线条锐度好。     

硅系列光致抗蚀剂实用化

日立制作所生产技术研究所开发成功硅系列光致抗蚀剂《RU-1600P》,该产品对干蚀刻用的氧气等离子体的耐蚀刻性较目前产品提高30倍。即使在凹凸不平的基板上也能得到线宽0.5μm的解象力。如果选择合适的感光剂它还可适用于制造64兆位DRAM所必须的准分子激光曝光和电子束曝光。     

半导体用高纯气体

生产半导体需使用多种化学品。据推测,1980年美国用于半导体工业的化学品约达900亿日元,主要用在生产集成电路方面。另外,印刷线路板制造厂家等购买了约相当于400亿日元的化学品。两项合计约为1,200亿日元。这些化学品是:(1) 光致抗蚀剂及其有关的药品;(2) 清洗用药品;(3) 掺     

抗蚀剂在日本的进展

微型蚀刻用的抗蚀剂要满足下面几个要求;(1)辐照灵敏度高,(2)分辨率高,(3)抗干蚀性好。本文提到的各种抗蚀剂起码都能符合其中的一项要求。下面将日本最近开     

金属腐蚀

9210001 轻水反应堆电站中腐蚀损坏事故及有关问题研究——石原只雄。防食技术,1990,39(11):621(英文) 报道了最近有关腐蚀事故和公用事业公司所采用的补救措施。具体为(1)BWR_s奥氏体钢管的晶间应力腐蚀开裂(IGSCC);(2)BWR_s不锈钢管焊件枝晶应力腐蚀开裂(IDSCC);(3)未敏化处理的奥氏体不锈钢堆芯组件的辐照加速应力腐蚀开裂(1ASCC);(4)PWR_s蒸汽发生器管材料的晶间腐蚀(IGA):(5)碳钢管的腐蚀疲劳和冲刷腐蚀;(6)反应堆组件的应力腐蚀开裂;(7)微生物引起的腐蚀。 (注:BWR_s——沸水堆;PWR_s——压水堆) 9210002 PWRs中锆合金燃料包壳水侧氧化的模     

熔石英元件抛光加工亚表面缺陷的检测

亚表面缺陷的准确检测是进行亚表面损伤研究的前提和基础,对保证光学元件加工质量至关重要.基于HF酸化学蚀刻法对熔石英元件抛光加工产生的亚表面水解层、缺陷层深度和亚表面损伤形貌进行了定量检测,并利用X射线荧光光谱法研究了熔石英抛光试件杂质元素的种类和元素含量沿深度分布规律,提出了熔石英元件抛光加工亚表面损伤深度的判定方法.研究表明:由于水解层和亚表面缺陷层的存在,熔石英抛光试件的蚀刻速率随着时间的增加呈现递减的趋势,且在蚀刻的初始阶段蚀刻速率下降尤为明显;当蚀刻深度超过某一特定值后,全部或部分覆盖在水解层以下的缺陷层将会被完全蚀刻去除,蚀刻速率基本保持不变;另外,熔石英抛光试件存在多种形式的表面及亚表面缺陷,在不同蚀刻深度,亚表面损伤形貌、划痕的宽度和深度也存在一定的差异.     

提升钢丝绳损伤检测问题的探讨

钢丝绳损伤检测(Steel wire rope damage detection)的最终目的是为了能够保证钢丝绳的安全运行,在安全运行的基础条件下还能够尽量减少浪费情况出现。提升钢丝绳由于受力因素比较多,为了保证矿井提升机能够安全运行,某煤矿企业采取TCK型钢丝绳损伤定量检测仪对钢丝绳的以下各种损伤问题加以检测:(1)锈蚀;(2)磨损;(3)变形;(4)疲劳;从而保证提升钢丝绳的安全运转。除此之外,本文还针对提升钢丝绳存在的安全问题提出了实时在线检测技术、钢丝绳动态安全系数的相关观念、安全系数的计算方法、磁致伸缩法和声发射超声法等,从而为钢丝绳的安全检测提供相应依据。     

离子镀膜的大电流长寿命阴极的研究

1.前言在离子镀膜中作为建立等离子体源的放电阴极,应该满足以下条件:(1) 结构简单;(2) 开始放电容易;(3) 能提供大电流;(4) 使用后可暴露大气;(5) 长寿命;(6) 耐蒸镀金属离子的反向轰击。先看一下早期的阴极:直热式钨灯丝的最大缺点是满足不了(3)、(5)项条件,而氧     

低压电容铝箔的成分、热处理、显微结构和比电容之间关系的研究

本文评述了低压电容铝箔的成分、热处理、显微结构和比电容之间的关系,所得结论是:(1) 硬态高纯铝箔由于有高的位错密度,在腐蚀、形成之后的比电容比退火铝箔高;(2)高纯铝箔经过适当热处理后的比电容,随表面立方织构分数的增加而增大;(3)某些微量元素使退火高纯铝箔的位错密度和表面立方织构分数都得到增加,因而更有效地增大其比电容;(4)退火铝和铝合金箔的晶粒尺寸对比电容没有明显影响。