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本文简要地回顾了腐蚀V形槽的几种方法。并以联氨(N_2H_4)腐蚀V形槽工艺为主,结合半导体硅的结构报告了腐蚀方法,及达到最佳化的条件。并指出了此工艺的应用。 相似文献
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文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件。设计了5μm×5μm的单模光波导,并用APSS软件进行了光场模式分析;利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽;最后,利用紫外光敏胶将波导和光纤固定。 相似文献
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文中对热光波导光开关、喷墨气泡光开关、微热管光开关、热驱动MEMS 光开关等几种典型光开关中所涉及的热科学问题进行了评述。在对其关键问题进行深入分析的基础上,尝试提出了几类可能的解决方案,对于研究开发新型光开关及升级改进现有光开关技术具有积极的参考价值。 相似文献
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分析了 SOI(silicon- on- insulator) 2× 2电光开关工作时热光效应对等离子色散效应的影响。采用二维半导体器件模拟器 PISCES- 对器件进行了模块。结果表明 ,热光效应对等离子色散效应的影响与调制区长度密切相关 ,当调制区长度较短时 ,热光效应的影响不容忽视 ;当调制区长度大于 5 0 0μm时 ,这种影响可以忽略不计。 相似文献
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在国家“九五”重大科学工程项目EAST超导托卡马克装置中,电源系统应具备的功能是:(1)在各超导线圈上提供可以控制,并能正反向的0~15KA电流和0~2.5KV电压;(2)在超导线圈失超时,能迅速将超导线圈中电流转移出来,实现失超保护;(3)快速地过电压、过电流保护;(4)电源对地隔离为5KV; 相似文献
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在多路光开关中,为了保证切换过程中,每一路光传输中插入损耗等关键指标的实现,文中介绍了一种光路耦合的设计和调试技术,该方法简单实用,可靠性高并易于实现,满足了批量化生产的调试要求。 相似文献
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在家用电器中,绝大多数开关是采用机械触点来实现开关的通断,如电饭锅里的限温器、洗衣机里的洗涤定时器、电冰箱里的启动器等。这些机械触点一般由铜或铜合金、镀银的铜或银及银合金组成。其损坏的原因一般是在开关触点断开时,由于自感电动势产生高电压而形成的电弧将触点烧坏,使其不能正常工作,从而 相似文献
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为了克服传统低压开关电动控制系统中所存在的诸如接触器主触头被烧、短路情况下断路器无法正常将电路分断、电机保护功能难以充分发挥等问题,可以通过永磁控制技术的应用加以实现.本文重点就低压开关的电磁控制技术进行探讨,以供参考. 相似文献
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单片机在机械式自动变速系统中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
文章介绍了以80C196KB单片机为控制核心的电控机械式自动变速系统,详细说明其工作原理,软件、硬件设计思想。该系统实现了起步和换档过程的自动控制,大大减轻了司机的劳动强度。 相似文献
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我们在研制VMOS器件中应用硅各向异性腐蚀技术,并取得成功(VMOS器件主要电参数为:BV_(DS)=50~60V,I_(DS)=1~2A)。本文着重介绍硅各向异性腐蚀基本原理和各向异性腐蚀液、氢氧化钾-异丙醇-水腐蚀液的机理、V形槽腐蚀技术和实验结果分析。 相似文献
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介绍了舰载雷达波导转换开关(简称波导开关)的功能,特点和步进电机的原理,特性,推导了步进电机直接驱动波导开关负载的计算公式,提供了选择电机和校核电机的参考依据。 相似文献
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Dale Cigoy 《电子设计技术》2010,18(9):71-71
设计自动化的测试系统开关需要搞清楚要开关信号和要执行测试的特点。例如,在测试应用中承受开关电压信号的最合适的开关卡和技术取决于其涉及电压的幅值和阻抗。 相似文献