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器件模型作为工艺与设计之间的接口,对保证集成电路设计成功具有决定意义.本文介绍了BSIM3模型的原理,并完成了低温下(77K) BSIM3模型的参数提取.同时探讨了使用参数提取软件的具体工作步骤. 相似文献
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纳米固态及真空电子器件 《电子器件》2008,31(6)
传统MOS器件的阈值电压模型被广泛地用于分析Trench MOSFET的阈值电压,这种模型对于长沟道和均匀分布衬底的MOS器件来说很合适.但是对于Trench MOSFET器件来说却显现出越来越多的问题,这是因为Trench MOSFET的沟道方向是垂直的,其杂质分布也是非均匀的.本文基于二维电荷共享模型,给出了Trench MOSFET的一种新的阈值电压解析模型,该模型反映了器件的阈值电压随不同结构和工艺参数变化的规律,模型的结果和器件仿真软件Sivaco TCAD的仿真结果吻合较好.该模型较好地解决了以往所用的Trench MOSFET阈值电压模型计算不准确的问题. 相似文献
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MOSFET热载流子退化/寿命模型参数提取 总被引:1,自引:4,他引:1
基于 MOSFET热载流子可靠性物理 ,并结合电应力条件下热载流子退化特征量ΔIds/Ids0 、Isub等实测数据的拟合处理 ,发展了可表征退化物理意义的衬底电流与退化 /寿命参数提取模型 ;进而由自动测试 ATE与 CAD技术相结合的监测系统 ,实现了载流子速度饱和临界电场Ecrit、有效导电长度 LC和寿命因子 H、m、n提取 .实验研究结果表明 ,模型及提取参数合理可信 ,并可进一步应用于 MOSFET及其电路的退化 /寿命模拟预测 相似文献
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衬底寄生网络建模和参数提取,对RF SOI MOSFET器件输出特性的模拟有着非常重要的影响。考虑BOX层引入的体区和Si衬底隔离,将源、体和衬底短接接地,测试栅、漏二端口S参数的传统测试结构,无法准确区分衬底网络影响。文章提出一种改进的测试结构,通过把SOI MOSFET的漏和源短接为信号输出端、栅为信号输入端,测试栅、漏/源短接二端口S参数的方法,把衬底寄生在二端口S参数中直接体现出来,并开发出一种解析提取衬底网络模型参数的方法,支持SOI MOSFET衬底网络模型的精确建立。采用该方法对一组不同栅指数目的SOI MOSFET进行建模,测量和模型仿真所得S参数在20GHz频段范围内得到很好吻合。 相似文献
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研究了用注 F工艺制作的短沟 MOSFET的热载流子效应。实验结果表明 ,在栅介质中注入适量的 F能够明显地减小由热载流子注入引起的阈电压漂移、跨导退化和输出特性的变化。分析讨论了 F的抗热载流子损伤的机理 相似文献
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通过求解二维泊松方程推导了一个简洁的短沟道 MOS的阈值电压模型 ,得到的 DIBL因子可用于分析参数对短沟道效应的影响。模拟的结果能很好地与数值模拟器 MINIMOS的结果符合 相似文献
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基于BSIMSOI对深亚微米全耗尽SOI MOSFET参数提取方法进行了研究,提出一种借助ISE器件模拟软件进行参数提取的方法。该方法计算量小,参数提取效率高,不需要进行繁琐的器件数学建模,易于推广。将该方法提出的模型参数代入HSPICE进行仿真,模拟结果与实验数据相吻合,证明了这种方法的有效性和实用性。 相似文献
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Bastien Cousin Marina Reyboz Olivier Rozeau Marie-Anne Jaud Thomas Ernst Jalal Jomaah 《Solid-state electronics》2011,56(1):40-46
For the first time, a continuous and explicit model valid in all operating regions, for undoped short-channel cylindrical gate-all-around (GAA) MOSFETs, is presented in this study. From a two-dimensional analysis, the threshold voltage roll-off, the drain-induced barrier lowering (DIBL) and the subthreshold swing are explicitly modeled. Short-channel effects are then implemented into a continuous drain-current model based on an effective surface potential approach using the gradual channel approximation. Improving the model behavior in the saturation operating region by accounting the channel pinch-off displacement, channel length modulation is studied and implemented as well. Analytical results are compared to TCAD-Atlas numerical simulations and validate the short-channel model in all operating modes making it suitable for circuit design simulations. 相似文献
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提出一种将模拟退火法与基于主成份灵敏度分析的空间坐标变换相结合的优化算法,用以精确提取微波场效应管小信号等效电路参数。该法具有快速收敛,能够消去模型坏条件等优点,从而提高了低灵敏度元件Ri、Rg、Rd等的提取精度,使各个模型参数均能得到精确、快速提取。 相似文献