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相似文献
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1.
重点阐述了在薄膜SOI上制成的扩展电阻温度(SRT)传感器的阻温特性(R-T)。利用器件二维模拟软件PISCES研究了最高工作温度(Tmax)的Si膜厚度效应,模拟结果表明,在相同的衬底掺杂浓度下,Si膜尽度越薄,器件的Tmax越高。实验结果也验证了这一点,薄膜SOISRT传感器不仅具有非常好的器件特性,Tmax高至450℃以上,而且它的工作偏置电流低至1μA,比体Si SRT传感器小10^3倍。因此,薄膜SOISRT传感器具有很广阔的低功耗应用前景。  相似文献   

2.
介绍了汽轮发电机测温系统和薄膜式铂电阻的特点,论述了发电机专用薄膜式铂电阻在汽轮发电机测温系统中的应用。  相似文献   

3.
半导体温度传感器具有较高的精度和良好的线性输出。采用LM135型半导体温度传感器,与CPU、数码管接口,经A/D和V/F转换等信号处理,成功研制了某直升飞机数字大气温度显示器,取代了双金属片指针式温度计。试验结果表明LM135传感器在-55℃~70℃可以实现单点校准,在-60℃~-55℃出现非线性,可以通过程序进行单点补偿校准。  相似文献   

4.
半导体温度传感器具有较高的精度和良好的线性输出。采用LM135型半导体温度传感器,与CPU、数码管接口,经A/D和V/F转换等信号处理,成功研制了某直升飞机数字大气温度显示器,取代了双金属片指针式温度计。试验结果表明LM135传感器在-55℃~70℃可以实现单点校准,在-60℃~-55℃出现非线性,可以通过程序进行单点补偿校准。  相似文献   

5.
基于单线数字式温度传感器的分布式测温系统   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了DS1820数字式温度传感器的特性及基于DS1820的分布式温度检测系统,给出了系统的构成及通讯协议,该系统具有结构简单,数据传输可靠的特点。  相似文献   

6.
实现精密热处理,必须通过精确的传感器与控制系统来实现。《热处理行业用新型温度传感器及测温技术》一文将与您一同探讨在高温、高真空、还原性气氛液态金属熔体、高温熔盐中长期工作的热电偶及相关的检测技术等问题。  相似文献   

7.
于单线数字式温度传感器的分布式测温系统   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了DS1820数字式温度传感器的特性及基于DS1820的分布式温度检测系统,给出了系统的构成及通讯协议,该系统具有结构简单,数据传输可靠的特点。  相似文献   

8.
本文分析了薄膜温度传感器制造的难点,提出降低内应力的方法,应用正交试验技术得出了最佳工艺条件,应用S枪磁控溅射方法和薄膜工艺制成了零电阻分别为100Ω、500Ω、1000Ω的镍薄膜电阻元件,其电阻温度系数达到德国DIN43760标准。  相似文献   

9.
采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器.探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响.通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器.  相似文献   

10.
本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。  相似文献   

11.
本文主要论述蜡质膨胀式温度传感器的原理,介绍三种典型结构,分析该器件的设计特点和两个主要的性能。  相似文献   

12.
干涉式光纤温度传感器   总被引:1,自引:0,他引:1  
干涉式光纤温度传感器哈尔滨理工大学张晓冰卞希宁1前言干涉式光纤传感器属于相位调制式传感器。它通常采用两根光纤——敏感光纤和参考光纤,通过比较两根光纤中光的相位即可检测被测量;也有采用单根光纤的,这时在光的传输通路上设置两个反射平面,通过比较两个反射平...  相似文献   

13.
张铁群  王晓勇 《光学仪器》1999,21(4):178-182
将无机薄膜电致发光器件和有机薄膜电致发光器件作了一个比较,并给出了有机薄膜我器件的基本结构及其功能层材料选择的依据。最后分析了一个实际制备的双层器件。  相似文献   

14.
将无机薄膜电致发光器件和有机薄膜电致发光器件作了一个比较,并给出了有机薄膜电致发光器件的基本结构及其功能层材料选择的依据。最后分析了一个实际制备的双层器件。  相似文献   

15.
本文介绍了铁电存储器的特性,提出了信息功能薄膜的几种主要的制备方法,指出了它的应用领域。  相似文献   

16.
从试验和理论分析两方面对汽车用温度传感器(即感温塞)中的稳定导热问题进行了研究,得到感温塞上的温度分布及温敏元件的真实温度与感温塞浸没于冷却液中深度之间的函数关系;导出温敏元件的耗散系数与接触热阻之间的关系,并分析讨论了诸因素对器件性能及测温系统的影响。  相似文献   

17.
研究设计基于感应取电方式的电力无线测温系统,测温终端检测到设备温度后,通过采集器汇总处理并利用Zigbee组网传输数据,监控中心通过后台软件可以监视整个高压输配电线路的温度情况,进而作出正确的决策。  相似文献   

18.
基于单总线数字温度传感器的多点测温技术   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了Dallas公司的单总线数字温度传感嚣DS18820的特性、工作原理及传输通讯协议。该芯片能够在单总线上进行双向数据传输,并可组网实现多点测温。文章给出了单总线数字温度传感器多点测试技术及应用实例。  相似文献   

19.
日前 ,美国NI公司公布了几种新的信号调理元件(SignalConditioningComponent,SCC)模块。1 SCC -FV0 1是一个双通道频率 -电压的转换模块 ,可以输入± 10V、最大 10 0Hz信号。这个模块的输出与输入频率成线性比例 ,0V表示DC输入信号。 2 SCC-ICP0 1单通道有源加速度计模块 ,可以接受± 5V的信号 ,具有 19kHz的 3极Bessel低通滤波器 ,以进行噪声和抗混叠滤波。这个模块含有 4mA电流源 ,以驱动ICP兼容的传感器。 3 双通道的SCC -RTD0 1模块 ,接受 2、3和 4线铂RTD …  相似文献   

20.
谐振式MEMS温度传感器设计   总被引:2,自引:2,他引:2  
为了实现以频率输出为信号的气象温度测量,提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理,采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测,从而实现温度的测量。根据硅基传感器的正面腐蚀工艺,设计了谐振悬臂梁的双层结构,采用有限元方法分析了悬臂梁的谐振模态、可利用的振型及其温度与各模态谐振频率的关系,并利用多普勒振动系统对悬臂梁的谐振特性进行了研究。实验发现悬臂梁的二阶弯曲振型Q值相对于其它振型是最大的,其Q值约为150;高阶振型特别是二阶弯曲振型适合用于以ZnO为压电材料的温度传感器的频率检测,并且具有相对较高的灵敏度(约为20Hz/℃)和频率温度系数(1.9×10-4/℃)。结果表明,微型温度传感器能够满足气象温度检测的要求,并具有抗干扰能力强、灵敏度高、信号传输接口简单等优点。  相似文献   

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