微机械加工技术在微传感器中的应用

随着微传感器的广泛应用，微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中，从微机械加工技术的关键工艺入手，分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍，并介绍了两种分别使用体微机械加工技术和表面微机械加工技术制造的微传感器。     

微系统技术及其应用

在过去几年里,微系统技术取得了长足发展,主要有两个原因:第一是市场需求对微系统技术发展产生的巨大推动力,第二是微电子微机械加工技术的发展为微系统技术奠定了有力基础。 微系统属于高新技术,它采用不同于传统机械加工的全新工艺,它的出现将在工业界引起深刻的变化。发达国家如美、日、德均投入巨资发展微系统技     

纳米卫星发展现状及纳米卫星中的微电子技术

介绍了用于地球观测、空间科学和技术演示的下一代超小型纳米卫星以及微电子技术和ＭＥＭＳ技术在纳米卫星中的应用。     

微机械加工技术在传感器制作中的应用

讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性，必然性，介绍了几种在传感器制作中常用的微机械加工工艺，举例说明了用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。     

微电子机械系统技术及其应用

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合,该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用,并探讨了发展方向。     

微机电系统实验建模研究

获得精确的微机电系统模型是实现系统高精度控制的有提条件，但微系统某些固有特性给系统理论建模带来一定困难。本文以微加速度传感器为例，提出一种理论分析和实验相结合的建模方法，并给出了相应的实验电路。     

纳米卫星发展现状及纳米卫星中的微电子技术

介绍了用于地球观测、空间科学和技术演示的下一代超小型纳米卫星以及微电子技术和ＭＥＭＳ技术在纳米卫星中的应用。     

微机电系统技术

一概述微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅ－ｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ,ＭＥＭＳ）是指可批量制作的;集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。ＭＥＭＳ是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。图工是ＭＥＭＳ的模型框图。ＭＥＭＳ的特点是：１］微型化：ＭＥＭＳ器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。２］以硅为主要材料,机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度类似…     

多孔硅及其在MEMS中的应用

具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的 MEMS中可作为功能结构层和牺牲层。简要介绍了多孔硅的结构和制备方法 ;与体微机械和表面微机械加工技术相比 ,多孔硅技术的优势被详细阐述 ;针对多孔硅材料的性质 ,讨论了多孔硅在不同领域的应用。     

传感器技术在机电自动化系统中的应用

本文主要对传感器技术在机电自动化系统中的应用情况进行了分析,希望能够为相关研究及实践提供有效参考。     

射频微机电系统技术现状

较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。     

硅微机械加工技术

微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。     

MEMS的研究与应用

本文介绍了MEMS的基本概念、基本特征和理论基础，并结合MEMS的发展史和制造技术，对MEMS的应用领域作了重点阐述，最后对MEMS的发展前景和产业化的挑战作了分析。     

从硅集成电路技术到微系统技术

技术进步和市场需求促使ＶＬＳＩ从集成电路技术不断向微系统技术发展。本文将从微系统的一个分支－－硅微电子机械系统方面介绍和讨论有关这种发展的一些问题。     

微光机电系统及其应用

微光机电系统（MOEMS）是在微机电系统（MEMS）基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学,微电子和微机械结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息,军事,航天,医学,工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。     

高温半导体材料碳化硅及其在微机电中的应用

简要介绍碳化硅的性质，制备，加工技术和它在恶劣环境下的微机电系统中的应用。     

基于微光机电系统的微感知技术

微光机电系统技术是在微机电系统技术基础之上发展起来的具有多种学科交叉融合特征的前沿高新技术,在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一.由于微感知技术具有微型化、集成化和智能化的特点,未来在国防军工、精密仪器、特殊工业,以及环境检测等领域将有广泛的应用前景.首先描述了微感知技术的技术特征,同时对当前国内外的微感知技术研究情况进行了介绍,总结了微光机电系统的几个亟待突破的技术问题,并指出了微感知技术面临的挑战.通过对发展微感知技术需要关注问题的思考,对我国微感知技术的发展提出了建议.     

体微加工技术在MEMS中的应用

微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术，包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术。该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术，先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术。最后给出用LIGA技术和牺牲层技术制作微加速度传感器的例子。