碳化硅功率模块焊接工艺研究进展

碳化硅(SiC)模块的封装技术是目前电力电子行业关注的热点,焊接材料和工艺是影响模块可靠性的关键环节。详细分析了当前国内外业界已使用或正在研究的焊接材料和工艺,包括应用于传统硅(Si)功率模块和SiC功率模块的常规无铅钎料、低温纳米银烧结、固液互扩散连接和纳米铜焊膏等。分析了各种工艺的焊接过程、焊层性能及存在的问题,明确了今后SiC功率模块高温封装焊接技术的发展方向,即低温纳米银烧结技术和固液互扩散技术将会是SiC功率模块焊接工艺的优选。     

文献与摘要（70）

EnvioletUV氧化处理是一种光亮镍电镀槽液净化处理的有效方法Enviolet-UV-Oxidation:AProvenMethod for Bright-Nickel Plating Bath Purification电镀槽液经过一段时间的使用后都会出现有机污染物,影响电镀效率和电镀金属层质量,常规是采用活性炭与过氧化氢处理镀液以达到净化。本文介绍Enviolet紫外线氧化处理方法去除镀液中有机污染物工艺,这是由德国Hansgrobe AG首先推出,称为Enviolet-UV-Oxi-dation Process。UV氧化处理有自动化设备,电镀溶液由泵抽流在处理装置内循环,有机污染物被分解、过滤     

红外探测器专用前置放大电路低温特性的研究

红外探测系统被广泛地应用于航空航天、军事、通信等领域。前置放大器低温性能的改善直接影响到整个系统探测精度的提高。从理论上分析了MOS器件低温性能参数的变化,设计了一种红外探测器处理电路专用的CMOS低功耗电流型前置放大器,并采用0.35 ?滋m标准CMOS工艺流片,进行了常温(300 K)和低温(77 K)测试。测试结果表明,该运放电路在低温工作时放大倍数线性度良好,功耗等性能得到改善;但是带宽、失调、输入线性范围等性能下降。针对实验结果给出了初步理论分析。     

镀镍液净化新工艺

本文在总结前人研究的基础上,结合四年的实践经验,提出了一种镀镍液净化新工艺。赫尔槽试验和微量元素分析试验结果表明：该工艺净化效果好,适用于解决镀镍层出现毛刺、针孔等缺陷。     

Ni基硅化物受退火方式影响的研究

硅化镍(NiSi)因具备低硅耗、低电阻率、低热预算、没有明显线宽效应等特性,被广泛应用于源漏极接触部分和栅极与金属的接触部分中。工艺中,加热条件的变化会导致生成不同的Ni基硅化物,均一性也会根据加热方式产生变化,影响器件的性能。对先导工艺中Ni基硅化物在不同工艺流程里不同的固相反应进行了对比分析,研究了低温浸入式退火加高温尖峰退火以及低温浸入式退火加高温激光退火这两种方法对生成Ni基硅化物的影响,发现硅化物电阻值主要取决于低温浸入式退火的温度,硅化物均一性主要取决于高温退火方式。该研究结果对实际工艺加工有参考作用。     

离子束工艺

由于半导体器件工艺的干法化,各种离子束工艺越来越显得重要了。本文就其中的离子束曝光、离子束蚀刻以及聚焦离子束技术的最近进展情况进行论述。一、前言随着半导体器件的高密度化、高集成化,要使工艺技术满足:1)、超微细加工,2)、低温工艺,3)便于控制,4)净化工艺等的要求问题,越来越显得重要了。采     

室内气态污染物净化技术研究综述及量化对比分析

室内气态污染物的净化是我国居民越来越关注的一个热点问题。近年来气态污染物净化技术的相关研究层出不穷。但多数报道仅关注于某项净化技术,很少横向对比各技术的净化效率。综述了通风换气、吸收和氧化分解三类气态污染物净化技术的原理,量化对比了其中8项技术的净化效率和能耗,分析讨论了各技术优缺点。植物吸收技术、光催化氧化技术、臭氧氧化技术、二氧化氯氧化技术、低温等离子体氧化技术的净化效率相对低于活性炭吸附技术和通风换气类净化技术。一般,多种净化技术复合后的效率优于单一的净化技术。对于光催化氧化、臭氧氧化、二氧化氯氧化、低温等离子体氧化等技术,通过技术的优化或复合,大幅度提高其净化效率后才可能具有商业化应用前景。     

低温密封焊接技术

分析了低温密封焊的工艺难点,通过改变腔体耦合结构及工艺实验,实现了微波产品高气密性快速低温焊接。从焊料、气密性两方面进行工艺难点分析并进行工艺实验及可靠性实验研究。通过调整腔体的耦合结构,选择In-3Ag焊丝和GD401硅橡胶,烙铁温度设置为320～330℃,热台温度设置为110～120℃时,能实现微波产品高气密性、快速低温焊接。解决了助焊剂污染问题,满足可靠性实验要求。除以上主要影响因素,水汽含量也是需要考虑的。为进一步研究低温密封焊接提供重要依据,同时此技术可借鉴应用于产品的批量生产。     

硅的等离子工艺和低温工艺

一、硅的等离体及低温工艺的必要性 低温和等离子体工艺现在成为LSI技术中很引人注目的技术。它们可以为LSI提供一个有力的工艺手段,低温工艺的好处是:     

MOS电路的低温淀积二氧化硅钝化

介绍硅烷低温淀积二氧化硅的工艺、装置、薄膜性质及其应用于MOS集成电路钝化的初步结果。     

基于亚沸蒸馏的高纯溴提纯工艺改进

由于碲镉汞薄膜材料中杂质的含量对红外探测器件性能的影响很大,因此对衬底表面加工过程中使用的溴甲醇腐蚀液的纯度提出了非常高的要求.采用改进的亚沸蒸馏装置对高纯溴溶液进行了进一步的蒸馏提纯,并根据等离子质谱分析仪(ICP-MS)的杂质含量测试结果对实验条件进行了优化.结果 表明,该方法可以进一步降低提纯溴中的杂质含量,进而...     

DRF-J45型镓单晶炉的开发与设计

当前镓提纯方法大部分采用电解法,电解法生产出的镓晶体纯度不高,常常形成个别杂质元素超标。为了提高其晶体纯度,需采用晶体提拉法来进一步弥补并提升镓晶体提纯工艺方法。从分析镓单晶炉生长的工艺特点出发,简要介绍镓单晶生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型镓单晶炉的机械结构及电气控制系统。     

红外产品用高洁高纯净高压氮气气源站设计

在导引头、探测器、位标器等红外用产品的测试过程中,高度依赖高纯高洁净高压气源,尤其对氮气的需求量是最大的,并且随着技术的发展,氮气的需求朝着高压力、高洁净、高纯度、低露点等方向拓展。由于红外制导所采用3~5μm、8~12μm波段的探测器,探测器需在70~100 K范围内的低温下工作(一般为80 K),以获得足够的灵敏度,所以低温制冷是这一类红外探测器不可缺少的重要条件之一,这就要求红外制导技术所采用的节流制冷器对氮气纯度有很高的要求,纯度一般需满足99.999%。本文针对氮气气源站的设计、气体纯化干燥、气源站监控、厂房建设、节能环保等方面,简要阐述了一套高纯高洁净红外用高压氮气气源站的设计方法,对各类气源站的设计提供了一定的指导意义。     

Impurity study of CdZnTe substrates used for LPE HgCdTe

Impurites were tracked from raw material purification through to CdZnTe processing in an effort to identify the sources of elements which impact on IR photodetector performance. Chemical analyses by GDMS and ZCGFAA effectively showed the levels of impurities introduced into CdZnTe substrate material from the manufacturing processes. A new purification process (ISDZR) for raw materials was developed, resulting in improved CdZnTe substrate purity. Substrate CU contamination was found to have detrimental effects on LPE layer and device electrical properties for lightly doped HgCdTe.     

DAST 源粉表征与晶体制备

通过X 射线粉末衍射、核磁共振波谱法对制得的DAST 源粉进行表征，确证其分子结构并计算出源粉纯度为 99.7 %。然后使用该DAST 源粉配制其甲醇溶液，并利用溶液降温法通过自发成核过程培养出尺寸为(2~3) mm×(2~3) mm×(0.3~0.5) mm 的DAST 晶体。     

A modified sublimation purification system using arrays of partitions

The authors report a new concept of sublimation purification system for the purification of organic semiconducting materials; using arrays of partitions for the efficient separation of the target material from impurities. The authors clearly demonstrate that the new system improves the purity of an electron transporting material for organic light-emitting devices (OLEDs), which was confirmed not only by measuring the purity directly but also by evaluating the performance of OLEDs with the material.     

Quality and R&D drive Morton metalorganics

Morton International is a leading manufacturer of high purity metaorganic precursors for metalorganic vapour phase epitaxy (MOVPE) and related film growth technologies used in the manufacture of compound semiconductors. With significant capital investments in a new world class manufacturing and research facility, state-of-the-art analytical instrumentation, advanced purification and a focus on global manufacturing expansion, Morton is committed to a long-term leadership position in the markets it serves.     

反式-4-(反式-4’-丙基环己基)环己基乙烯提纯工艺研究

随着TFT-LCD(Thin FilmTransisitor-Liquid Crystal Display)技术的发展,其应用领域越来越广阔,对液晶材料的要求也越来越高。为了保证液晶材料的质量,使其适应液晶显示器件的要求,液晶材料的生产纯化技术研究成为液晶领域的一项重要工作。本文介绍了反式-4-(反式-4’-丙基环己基)环己基乙烯单体液晶的精制纯化研究,可以得到适用于TFT液晶材料的高纯度、高电阻率、低离子浓度的单体材料。     

汽车尾气净化技术现状及发展

综述了汽车尾气治理的常用方法,介绍了微波技术与等离子体技术在汽车尾气净化中的应用现状，指出用微波与廉价催化剂相结合的集成净化是一个有研究和应用价值的汽车尾气治理方法。     

Rear side passivation of PERC‐type solar cells by wet oxides grown from purified steam

To considerably improve the conversion efficiency of industrial solar cells, the effective passivation of the rear surface is a prerequisite. Thermal grown silicon oxides provide an excellent level of surface passivation on lowly doped p‐type surfaces. However, dry thermal oxidation processes require relatively high temperatures (∼1000°C) and, due to the low growth rate, long process times. To decrease both oxidation temperature and process time, the dry oxidation process can be replaced by a wet oxidation. The most common way to introduce high purity water vapor into the oxidation tube is the pyrolytic generation from high purity gases (H₂ and O₂). A more easy and cost effective option for the supply of water vapor that was applied within this work is the direct purification of steam. The passivation quality of dry and wet oxides, the latter grown from pyrolytic generated water vapor and purified steam was compared within this work. The passivation quality obtained for the wet oxides grown from purified steam was found to be comparable to those oxides grown from pyrolytic generated water vapor. On laser fired contacts (LFC) solar cells conversion efficiencies well above 20% could be achieved independent of the oxide that was applied for the rear side passivation. Copyright © 2010 John Wiley & Sons, Ltd.