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冯勇建 《仪表技术与传感器》2007,(2):6-7,13
介绍了一种用硅-玻璃键合工艺制作的微型梁式可变电容器,通过ANSYS软件并结合MEMS器件的特点进行优化,设计并制作了由MEMS工艺实现的微型静电驱动的可变电容器件,给出了工艺流程和测试结果。通过实验测试证明:用这种方法制作的电容器件具有良好的线性、较小的滞后和稳定的工作特性。 相似文献
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针对MEMS开关在宽带应用时遇到的驱动信号与微波信号间的干扰问题,论述了驱动信号与微波信号物理隔离的多种开关的设计,分析了4种结构形式的MEMS开关,使用IntelliSuite○R软件进行开关机电耦合分析。在开关总的结构尺寸确定的前提下,使用ADS/Momentum场分析软件,微调膜桥和梁的结构参数,通过通孔接地实现微带线与CPWG信号的连接,通过驱动电极的结构和连接方式及与微波信号线间隙的调整,实现了MEMS开关整体性能的优化。 相似文献
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研究了静电执行的电容式并联毫米波MEMS开关的S参数在开关过程中的瞬态变化.以一个电容式并联毫米波MEMS开关为实例,采用已有的开关一维力学动态模型,建立了开关过程中开关梁与介质层之间的间隙与时间的关系;通过HFSS电磁仿真软件,得到开关S参数在开关过程中的瞬态变化.结果显示,在开关下拉过程中(用时约9.4 μs),插... 相似文献
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文中介绍了一低驱动电压接触式RF-MEMS开关,开关采取了两端固定的"桥式"结构,在桥与支撑点间采用折叠弯曲的铰链结构,而且紧靠中央信号线的旁边各有一个较大面积的电极,这些措施降低了开关的驱动电压.整个工艺采用表面微加工工艺.由实验测试可知:开关驱动电压11 V左右,与ANSYS模拟的值12 V基本一致,开关的S参数,在的范围内,插入损耗要小于-1 dB,在频段(≤5 GHz),开关的隔离度要优于-30 dB,在频段5~10 GHz,隔离度也要高于-20 dB. 相似文献
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用于制备高机械可靠性RF MEMS开关的新型工艺 总被引:1,自引:1,他引:0
对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究.介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性.通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥膜.最后,给出了完整的开关制备流程.与常规工艺相比,新工艺避免了应力集中问题,提高了开关的机械可靠性,成品率从10%提高到了95%,工作寿命从1 000次提高到了2.5×107次.此外,在23.3 V的驱动电压下,开关插入损耗<0.55 dB@DC-10 GHz,隔离度>53.2 dB@DC-10 GHz.结果表明该工艺可满足无线通讯对MEMS开关成品率、寿命和微波性能的要求. 相似文献
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现有的氢传感器都是根据钯膜吸氢而产生膨胀的这个特点设计而成,但这些传感器基本上都存在着结构复杂、价格高、市场化比较困难、配套设备昂贵等特点。介绍一种基于MEMS工艺的光强调制型光纤传感器,说明该传感器的工作原理,并且给出了相关的制作工艺流程,最后对其测试性能进行了必要的探讨。证明了此类传感器不仪具有低成本、结构简单、适宜于批量生产等优点,而且在一定的测氢范围内具有相当良好的灵敏度和稳定性。 相似文献
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摘要:在分析马赫-曾德尔干涉仪(MZI)基本结构的基础上,定义了二种开关形式,以二者作为结构单元,采用Banyan网络结构,提出了一种新型的可实现1:k(k>1)多路连接的波导矩阵光开关,以2×2、4×4矩阵光开关为例,给出了该类光开关的结构和功能。对MZI结构进行了性能模拟和优化,分析了Banyan网络中交叉连接损耗与交叉角度的关系,并由此对整个开关的插入损耗进行了分析。基于PLC技术制作出相应的MZI开关单元及2×2、4×4波导SiO2光开关实物,测试结果与仿真结果基本吻合,开关时间均小于1ms,该类光开关能够很好地实现多路开关的功能。 相似文献
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Failure Mechanisms of Capacitive MEMS RF Switch Contacts 总被引:1,自引:0,他引:1
Microelectromechanical systems (MEMS) radio frequency (RF) switches hold great promise in a myriad of commercial, aerospace, and military applications. In particular, capacitive type switches with metal-to-dielectric contacts (typically Au- on-silicon nitride) are suitable for high frequency (≥10 GHz) applications. However, there is little fundamental understanding of the factors determining the performance and reliability of these devices. To address this void in understanding, we conducted fundamental studies of Au-on-Si3N4 contacts at various bias voltages using a micro/nanoadhesion apparatus as a switch simulator. The experiments were conducted in air at 45% relative humidity. The switch simulator allows us to measure fundamental parameters such as contact force and adhesion, which cannot be directly measured with actual MEMS switches. Adhesion was found to be the primary failure mechanism. Both a mechanical and electrical effect contributed to high adhesion. The mechanical effect is adhesion growth with cycling due to surface smoothening, which allows increased van der Waals interaction. The electrical effect on adhesion is due to electrostatic force associated with excess charge trapped in the dielectric, and was only observed at 40 V bias and above. The two effects are additive, but the electrical effect was not present until surfaces were worn smooth by cycling. Surface smoothening increases the electric field in the dielectric, which leads to trapped charge and higher adhesion. Excessive adhesion can explain decreased lifetime at high bias voltage previously reported with actual capacitive MEMS switches. Aging of open contacts in air was found to reduce adhesion. Surface analysis data show the presence and growth (in air) of an adventitious film containing carbon and oxygen. The adventitious film is responsible for aging related adhesion reduction by increasing surface separation and/or reducing surface energy. No junction growth and force relaxation with time were observed in capacitive switch contacts, as was previously observed with Au–Au contacts at low current in direct current MEMS switches. 相似文献
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基于MEMS技术的微型传感器 总被引:9,自引:4,他引:9
和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。 相似文献
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平板式可变电容器是MEMS重要的机电耦合部件,建立其宏模型是MEMS系统级快速仿真的迫切需求。本文采用解析法在三维空间内建立了可描述活动极板六自由度运动的宏模型,并以MAST为模型编码语言实现了其多端口参数化组件模型。在SABER仿真平台上构建了电容检测式微加速度计系统级模型,时域仿真结果表明使用该系统级模型能够快速进行有限元分析软件难以实现的复杂机电耦合系统时域行为分析。 相似文献
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微电子机械系统技术应用研究 总被引:5,自引:0,他引:5
微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域,文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术,讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。 相似文献