文摘索引

根据1978年一机部技术情报工作会议精神,原在中国科技情报研究所重庆分所出版的《通用机械文摘》中“真空技术”文摘部分由我所归口编辑,并从本期开始在本刊上付印,特此通告读者──本刊编辑部 一、一般问题 极高真空的获得和测量──《Proc7thIntern Vae Congr 8 3rd Intern ConfSolid Surfaces(Vienna)1977·1-8》, (英文) 任何真空系统的性能,都决定于真空室材料,真空泵和真空计的选择。获到极高真空(低于10-9帕)的第一点要求,是使用放气率低的材料。现有的不锈钢和铬镍铁合金,在适当条件下对于氢的放气率,低于 10-10帕米秒-1(=10-13…     

高精度真空材料放气测试研究

材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空度最低达6.8×10~(-9)Pa。低的本底真空进一步降低了系统的放气率测量下限,三种方法的测量下限依次可达:6.20×10~(-12),2.90×10~(-12)和2.78×10~(-12)Pa·m~3/(s·cm~2)。针对三种方法,对应选取聚四氟乙烯(PTFE)、304和316 L不锈钢作为样品,测试了不同时间的放气率。测试结果表明:三类样品10 h内的总放气率分别在10~(-8),10~(-11)和10-12Pa·m~3/(s·cm~2)数量级,对应的最大测量不确定度分别为9.4%,12.5%和13.8%。结合四极质谱计,进一步获得样品的放气组分和PTFE各组分的放气分率,总放气率和放气分率均随抽气时间的增加而下降。     

氮化钽薄膜皮拉尼真空计的灵敏度特性

1.前言加热物体被周围气体所传导的热量随气压而变化,利用此原理制造的皮拉尼(热传导型)真空计有比较简单的测量电路,即使在大气压下工作也不会损坏,适用于一般工业上的真空度测量。由于压强高于10托和低于10~(-3)托时,气体热传导和压强的关系较小,在此压强范围内,用通常的白金丝皮拉尼真空计测量压强是困难的。为了在上述压强范围内使真空     

一种基于对称结构的固体材料放气率测试装置设计北大核心CSCD

为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程及引入的较大测量偏差;采用耐高温特殊石英材料制成的低放气率真空室,为实现放气率比较小的固体材料测试解决了真空室本底放气的限制条件;设计出用同一台真空计通过转换气路分别测量样品室和空载室内压力的对称结构,避免了原有动态流量法采用两台真空计分别测量时由于灵敏度的差异而引入的较大偏差;装置集成了标准气体流量计用于真空计的在线校准,提高了测量结果的准确性;采用的对称结构陶瓷加热炉,对样品实现25℃~1000℃范围的加热,设计的装置对材料放气量的测量范围为5×10^(-6)Pa·m^(3)/s~5×10^(-10)Pa·m^(3)/s。     

静态膨胀法校准系统概述

引言 校准真空计的简单方法应是直接与标准比对。但公认能作为标准的绝对真空计,至今只有U型计和压缩计式真空计(麦氏计)。而U型计只是在乇级(上百帕)以上的压强容易得到较高的准确度,但向低压强扩展则要采用要求较高的测量方法,实际应用就有一定困难。压缩计虽然扩展了U型计低压强量程,对10-5乇(10-3帕)以上压强能得到较高准确度。但存在着效率低,操作要求高,以及汞污染等问题。而且要精确更低的压强是非常困难的。 由于绝对测量的标准真空计较少,又存在上述一些问题,因此发展了产生己知低压强的方法。主要有动态小孔法和静态膨胀法两种…     

真空获得和测量的极限(摘译)

Ⅰ.引言 1950年B—A规宣告可测压强(真实密度)极限降低了约三个数量级[1],从1.3× 10-6帕降到 1.3 × 10-9帕。此后又有一些进展,这将在第四部份评论。但B—A规直到今天仍作为超高真空即压强低于1.3×10-7帕的测量。在努力改进压强测量的同时,出现了有关可获得压强的低限问题(见第Ⅱ部分),人们又使不锈钢系统经适当的真空出气(约300℃几小时)在室温下即可达到与B—A规可测压强相当的水平。而大多数现代超高真空系统也就是此水平。然而很明显,由于使系统由室温进入低温特别是液氦温度范围,所获得的压强可能远低于B—A规和任何别的规[2]所…     

涡轮分子泵轴承的长寿命润滑油

一、序言 涡轮分子泵是一种获得洁净真空的现代真空设备。它具有较大的抽气速率,能获得10～(-11)托的超高真空度,因此它在有些场合逐渐取代油扩散泵,在真空领域中获得日益广泛的应用。其主要领域是:集成电路、显像管、χ线管、真空镀膜、核聚变和质子加速器等。 涡轮分子泵(以下简称分子泵)技术的进步,除与泵体设计、加工技术、轴承精度等有关外,分子泵润滑油的质量也是不可忽视的一个环节。随着分子泵本身性能不断提高,如转速由几千转/分提高到九万转/分,抽气速率由几升到几百升/秒扩展到几升至九千升/秒,极限压强由10～(-9)托提高到10-“…     

真空材料的放气──Ⅱ

这是我们教育丛书中的一篇论文:在学校和学院中真空科学和技术的理论和实践。 本文第Ⅱ部分研究放气率的测量方法。详细说明所选用材料的测试结果。对用于超高真空的材料,本文还探讨一些减少放气率的方法。 1.序言 在任一个无漏气并达到平衡的真空系统中,压强决定于系统总的放气量和泵的抽速。 P = Q/S托这里Q是总放气量(托·升/秒), S是抽速, (升/秒)。严格地讲,这个公式只有对系统中一个独立的部分才是正确的。在这部分中分子流是主要的。从表面放出的气体进入这部分体积之中而后又由于抽气而流出这个体积。对于有大的温差存在的情况,例…     

压力小于10~(-11)托真空系统的材料预处理及平均出气率

本文叙述一个压力小于10-11托金属超高真空系统的材料预处理;介绍了用升压法测量材料极低平均出气率的操作方法;对测量误差和测量结果作了分析和讨论。 一、引言 真空系统所能达到的极限压力P=P0+ [托][1]。式中:P0为泵本身的极限压力(托);Q0为空载时,经常时间抽气后真空室内的气体负载[托·升/秒];S为泵对真空室的有效抽速[升/秒]。 要降低真空系统的极限压力P,靠降低泵的极限压力P0还不够,还必须设法减少真空系统的气体负载Q0,或增大泵的有效抽速S,但有效抽速S的增大要受到结构和成本等多种因素的限制,一般不可能成数量级增加。 如果…     

涡轮分子泵与钛升华泵的组合真空系统

涡轮分子泵，钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速。本文叙述了这种装置的设计方法和试验情况。从设计出发点至达到的预想效果都进行了较系统的介绍。该装置得到了满意的效果，获得１０－１１托的极限压强，对氮气或空气的抽速为３０００开／秒左右，而对于氢气的抽速为１万升／秒。并对涡轮分子泵和钛升华泵联用的系统获得超高真空的方法进行了讨论。     

《WZK─IP型》复合计改为高压强计试验报告

一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要测量的压强常常处在中真空范围(1～10-5乇),因此广泛采用复合计。 热传导真空计测量准确性较差,受环境温度,油蒸汽污染的影响较大,对压强的快速变化反应较慢。水银真空计虽然原则上比较准确一些,但它影响工人的健康,此外操作不方便,读数慢,不能测量可凝性汽体等缺点。复合计的低真空和高真空衔接不好,用钨丝做灯丝的电离计管在10-1～10-3乇情况下工作寿命很短,。高压强…     

轴流分子泵研究(一)——关于平板单叶轮的排气性能

1、引言 近年来,随着科学技术的不断发展,真空技术的重要性与日俱增,而且开始要求比以往更高、更清洁的真空环境。所以自扩散泵问世之后,曾一度被忽视的分子泵又再次引起人们的重视。 分子泵与扩散泵不同,它不用油或水银之类的工作液,因而可获得清洁的真空;又因它的极限真空只取决于系统的泄漏和放气,因此如果用真空处理过的材料制成具有良好排气性能的多级轴流叶轮,那么就能获得超高真空。 Hablanian[1]通过10级的轴流压缩机在低压下工作,得到了3×10～(-4)乇的极限真空和叩左右的压缩比。 德国Arthur Pfeiffer公司,利用Becker[‘]的专利…     

用油封机械泵获得10~(-5)帕压强

1.引言通常认为,加常规吸附阱的双级油封机械泵,在理想条件下能获得低于10~(-3)帕的极限压强。这类泵常用作扩散泵、涡轮分子泵和离子泵的前级抽气和粗抽。这里所说的极限压强是指在吸附阱前方测得的总压强。     

一套超高真空测试系统的研制

本文介绍了超高真空测试系统的结构特点。测试表明,系统在没有通液氮的情况下,极限真空度为1.8×10~(-11)托,通液氮的情况下,抑制规测得的极限真空度为6×10~(-12)托。测试系统暴露氮气(1大气压)10分钟后经8小时250℃烘烤,钛离子泵起动后3小时真空度为3.4×10~(-11)托。由于极限真空高,该系统能作超高和极高真空规管的对比测试和相对校准,还能作超高真空规管的本底压强的测量。     

油增压泵

一、概述 油增压泵和油扩散泵均利用油蒸汽射流来达到抽气的目的。故统称为油蒸汽射流泵。油增压泵油锅没有分馏装置,工作液在20℃时的蒸汽压为1×10-5托,所以泵的极限真空一般为1×10-4～5 × 10-4托。油扩散泵油锅设有分馏装置,工作液在20℃时的蒸汽压为1× 10-7托以至更低,所以泵的极限真空比较高,通常为1× 10-7托。由于油增压泵油锅压强比油扩散泵高数倍以至十多倍,前级又设置有一级喷射或两级喷射来提高前级工作压强,油增压泵就能在1×10-3～1× 10-2托间稳定的工作,而油扩散泵只能在1×10-6～ 5×10-4托间工作。如二者名义抽速相同,…     

JK系列高真空抽气机组抽速不稳的解决办法

一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)～l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)～10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760～10~(-2)托,最佳工作压强在760～10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组     

五级金属油扩散泵的研制

本文介绍一种具有大排气量的五级金属油扩散泵的设计与调试。这种泵的主要特点是：工作压强范围宽、在较高压强下有较大抽速、最大出口压强较高。典型Ｋ－５００泵的抽速是大于１００００升／秒，极限压强低于６．６×１０－５帕，最大前级压强大于５４帕，加热功率８千瓦左右。     

一种(105～10-8)Pa真空计校准装置的设计

针对(105～10-8)Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置.装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成.设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10-9 Pa量级的极限真空度.真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,...     

10~(-13)托的液氦低温冷凝泵

本文介绍了超高真空校准装置用的液氦低温冷凝泵的性能。 该泵的特点是泵体的双层外壁用液氮冷却作为液氮屏蔽,而未采用泵内的液氮屏蔽挡板。极限真空度高,抽速大,满足了校准装置的要求。 液氮低温冷凝泵在4.2K时测得极限真空为1.2 ×10～-12托,抽速为6500升/秒(对干燥氮气)。减压降温接近2K时,极限真空为 10～-13托,对氢气抽速为11000升/秒。 一、引言 低温冷凝泵是利用致冷剂将固体表面冷到极低温度,使气体碰在冷凝表面上被凝结,从而产生抽气作用的。这种抽气过程基本上是一种物理吸附过程。它的抽速仅与低温表面或低温板的面积、几何形…     

磁悬浮高速转子真空计的试验

本文介绍我们研制的磁悬浮真空计初步试验结果。简述该计的组成与利用数字频率计测量压强的方法。给出与中国计量科学研究院真空室的薄膜真空计对比,与DL-2型热阴极电离计对比及密封管静态压强测量稳定性的试验结果。试验的结果表明: ①多次对比的试验有较好的重复性。②在1×10~(-2)～1×10~(-3)托压强范围内,磁悬规与薄膜真空计的读数基本一致,相对偏差小于1％。磁悬规压强测量线性上限为1×10~(-2)托。③在1×10~(-3)～1×10~(-5)托压强范围内,DL-2型热阴极电离计与磁悬规的读数的相对偏差在 5％～-10％之间。在6×10~(-4)托压强附近,三天内多次对比的重复性较好。两个规的压强读数比值的相对标准差为1.3×10~(-2)。④密封管内静态压强的测量,平均压强P=2.555×10~(-3)托时,相对标准差为4.3×10~(-3);平均压强P=6.479×10~(-5)。托时,相对标准差为1.1×10~(-2)。