高能离子束辅助沉积制备钛纳米膜

用离子束溅射沉积和高能离子束辅助沉积方法制备了具有择尤性的钛纳米薄膜,并采用原子力显微镜、X射线衍射仪和俄歇电子谱仪研究了试样表面预处理、离子束流和温度等离子束工艺参数对钛薄膜结构的影响。结果表明：离子束溅射沉积的钛膜在[002]和[102]晶向上呈现出明显的择尤生长现象,并分别在该两个晶向上表现出纳米晶型和非纳米晶型结构;当用高能离子束辅助沉积时,[102]晶向择尤生长现象消失,且钛膜的结构对束流变化较为敏感,束流较低时,钛膜为纳米结构且择尤生长现象减弱,而束流增加时晶粒长大,择尤生长现象叉增强。另外钛膜容易受到氧的污染,并随辅助离子强度增加而增强。     

离子束溅射制备SiO2薄膜的折射率与应力调整

基于正交试验方法,系统研究了用离子束溅射法制备SiO2薄膜其折射率、应力与工艺参数(基板温度、离子束压、离子束流和氧气流量)之间的关联性.使用分光光度计和椭圆偏振仪测量SiO2薄膜透过率光谱和反射椭偏特性,利用全光谱反演计算法获得薄膜的折射率,通过测量基底镀膜前后的表面变形量得到SiO2薄膜的应力.实验结果表明,工艺参数对薄膜折射率影响权重从大到小依次为氧气流量、基板温度、离子束流和离子束压,前三者对折射率影响的可信概率分别为87.03％、71.98％和69.53％;对SiO2薄膜应力影响权重从大到小依次为基板温度、离子束压、氧气流量和离子束流,前三者对应力影响的可信概率分别为95.62％、48.49％和37.88％.得到的结果表明,制备低折射率SiO2薄膜应选择高氧气流量、低基板温度和低离子束流;制备低应力SiO2薄膜应选择低基板温度和高氧气流量.     

离子束溅射氧化钽薄膜的光学带隙特性

Ta_2O_5薄膜是可见光到近红外波段中重要的高折射率薄膜材料之一。本文针对离子束溅射制备Ta_2O_5薄膜的光学带隙特性开展了实验研究工作,基于Cody-Lorentz模型表征了薄膜的光学带隙特性,重点针对薄膜的禁带宽度和Urbach带尾宽度与制备参数之间的相关性进行研究。研究结果表明:在置信概率95%以上时,对Ta_2O_5薄膜禁带宽度影响的制备参数,权重大小依次为氧气流量、基板温度、离子束电压;而对Ta_2O_5薄膜Urbach带尾宽度影响的制备参数,权重大小依次为基板温度和氧气流量。对于Ta_2O_5薄膜在超低损耗激光薄膜和高损伤阈值激光薄膜领域内应用,本文的研究结果给出了同步提高薄膜的禁带宽度和降低带尾宽度的重要工艺参数选择方法。     

热处理对NdFeB薄膜微结构和磁性能的影响

采用磁控和离子束联合溅射法制备了NdFeB/α-Fe/NdFeB系列纳米复合多层膜,研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响.     

双离子束溅射技术制备带通滤光片

研究了采用双离子束溅射沉积技术、以沉积时间作为膜厚控制手段制备带通滤光片的工艺。简要介绍了离子束溅射系统的基本工作原理和膜厚控制技术,描述了分别在K9玻璃和有色玻璃上制备由多层Ta2O5和SiO2薄膜组成的滤光片以及短波通和长波通的工艺过程,最后测试并分析了由短波通和长波通组成带通滤光片的光学性能。实验结果表明,采用双离子束溅射技术,以沉积时间作为膜厚监控手段能够制备出具有优良光性能并满足应用设计要求的带通滤光片。     

射频溅射工艺对WSx薄膜摩擦性能的影响

采用射频溅射法以3Cr13马氏体不锈钢为基片制备了硫化钨薄膜.通过物相分析和表面形貌观察,以及测定微区化学成分、结合力和摩擦因数,研究了溅射功率、工作压力和沉积时间等溅射工艺条件对薄膜摩擦性能的影响.结果表明通过射频溅射法可获得非晶态WSx薄膜,薄膜的S/W比一般小于2,并受溅射工艺影响较为明显,随溅射功率的升高逐渐降低,随溅射时间的延长明显升高.薄膜结合力受溅射工艺影响并不显著.通过射频溅射所获得薄膜的摩擦因数在一定范围内与其硫钨比成反比.     

荷能离子束沉积的氧化物薄膜光学性质

报道在不加热的基底上,由双离子束溅射或离子辅助的电子束蒸发技术制造的ＺｒＯ２ 和ＴｉＯ２ 单层薄膜的光学性质,并提供了工艺参数和离子束设备的详情。这两种荷能离子束工艺已被用于光学多层膜,如减反射膜和短波通滤光片的制备。     

热处理对离子束溅射Ta_2O_5薄膜特性的影响

利用离子束溅射沉积技术制备了Ta2O5薄膜,在100~600℃的大气氛围中对其进行热处理(步进温度为100℃),并对热处理后样品的光学常数(折射率、折射率非均匀性、消光系数和物理厚度)、应力、晶向和表面形貌进行了研究。研究显示,随着热处理温度增加,薄膜折射率整体呈下降趋势,折射率非均匀性和物理厚度呈增加趋势,结果有效地改善了薄膜的消光系数和应力,但薄膜的晶向和表面形貌均未出现明显的变化。结果表明:热处理可以有效改变薄膜特性,但需要根据Ta2O5薄膜具体应用综合选择最优的热处理温度。本文对离子束溅射Ta2O5薄膜的热处理参数选择具有指导意义。     

氧化钒热敏特性研究

采用金属钒作为靶材,利用反应磁控溅射工艺制备了氧化钒薄膜.分析了改变溅射总压,溅射时间,溅射温度等工艺参数对薄膜电特性的影响,探索了氧化钒的成膜工艺.并讨论了不同工艺条件下薄膜方阻,薄膜电阻温度特性.最后对样品进行了XPS分析.     

基于离子束溅射Ta2O5薄膜的紫外吸收膜技术

为获得高性能紫外激光薄膜元件,急需研制紫外高反射吸收薄膜,实现吸收损耗的精确测量。本文采用离子束溅射技术,通过调控氧气流量实现了具有不同吸收的Ta_2O_5薄膜的制备。以Ta_2O_5薄膜作为高折射率材料,设计了355nm的紫外高反射吸收薄膜。采用离子束溅射沉积技术,在熔融石英基底上制备了355nm的吸收薄膜,对于A=5%的紫外吸收光谱,在355nm的透射率、反射率和吸收率分别为0.1%,95.0%和4.9%;对于A=12%的紫外吸收光谱,在355nm的透射率、反射率和吸收率分别为0.1%,87.4%和12.5%。实验结果表明,采用离子束溅射沉积技术,可以实现不同吸收率的355nm高反射吸收薄膜的制备,对于基于光热偏转测量技术的紫外光学薄膜弱吸收测量仪的定标具有重要的意义。     

一种核心机试车台进气温度自动调节方法

分析了核心机试车台加温加压进气试验时管网内部流动的换热特性,给出了进气温度自动调节的控制策略,研究得出影响进气温度调节过程的影响因素,为核心机加温加压试验过程的进气温度控制参数提供技术参考,缩短试验准备时间,提高试验效率。     

基于Fuzzy-PID的水泥窑分解炉温控系统设计及仿真

对非线性大滞后等特殊的系统,存在常规PID控制器控制效果不甚理想的问题,为此针对淮南某厂水泥窑分解炉温度控制系统,提出了一种Fuzzy-PID复合控制策略。阐述了复合控制器和温控系统的设计,并且给出了软件流程和matlab仿真模型。计算机仿真试验结果表明该控制系统响应速度快,稳定可靠,控制精度高,能满足生产工艺要求,控制效果优于传统的PID控制。     

基于DSP的微通道温度控制器设计

针对电子信息设备抗恶劣环境问题，提出主动热控制策略，研究了基于DSP的微通道温度控制器。实时监测电子设备的工作温度，及时进行修正，以达到对温度的精确控制。该控制器可用于电子信息装备的热控制工程中。     

一种多线切割机主导辊轴承冷却方法应用的研究

多线切割机主导辊轴承（以下简称轴承）温度升高是研究中关注的问题.以控制轴承内、外圈的温度为研究对象,通过水冷的方法控制轴承座温度,进而控制轴承的温度.验证了采用水冷结构控制轴承温度的新方式,其结果显示该方法是可行的.     

铝电解槽连续测温方法研究

本文提出了利用温度平衡原理对铝电解槽进行连续测温的方法。由于采取了负反馈措施,能够用热电偶在电解槽外面对内部温度进行测量,而不受环境温度变化的影响。初步的实验表明,这种方法使得铝电解槽温度的低成本、高精度连续测量成为可能,可望在冶金行业获得广泛应用。     

SVM在过热汽温控制系统前馈中的应用

过热汽温是火电机组热力系统中的重要参数。其控制品质的优劣直接影响到整个火电机组的安全性和经济性。它具有大迟延、大惯性、时变和非线性等特性。这些特性就使得对过热蒸汽温度的控制难以得到理想的效果。本文主要是利用灰关联分析方法确定影响过热汽温的最主要的变量。然后综合考虑这些变量之间的关系以及对过热汽温的影响特性。设计出一种基于SVM与常规PID相结合的新型的前馈控制方法。通过对该控制方法进行仿真,对控制品质进行分析,结果验证所设计的控制策略具有可行性及较好的控制效果,克服了由于变化幅度较大且十分频繁的负荷扰动对过热汽温系统造成的影响。     

多通道热油温控机的工作原理及其高温阀设计

本文介绍了一种利用高温导热油来控制压铸模模温多通道温控机的工作原理及其高温组合截止阀和调节阀的设计。     

Acetal gear wear and performance prediction under unlubricated running condition

Tests have shown that the acetal gear wear rate will be increased dramatically when the load reaches a critical value for a specific geometry. The gear surface will wear slowly with a low specific wear rate if the gear is loaded below the critical condition. The sudden increase in wear rate may be due to the gear operating temperature reaching the material melting point under the critical load condition. Gear surface temperature has been investigated in detail by studying three components: ambient, bulk and flash temperatures. Through extensive experimental investigations and modelling on gear surface temperature variations, a general relation has been built up between gear surface temperature and gear load capacity. A new design method for acetal gear has been proposed based on the link between polymer gear wear rate and its surface temperature. The method has been related to test results under different operating ambient temperature and gear geometries. Good agreements have been achieved between the proposed method predictions and experimental test results. The maximum torque the acetal gears can transmit is 9 Nm for both the driver and driven with a 2 mm module, 30 teeth and 17 mm face width. Copyright © 2006 John Wiley & Sons, Ltd.     

温度-频率转换在PLC控制系统中的应用

叙述在ＰＬＣ应用中采用温度一频率转换技术的方法,具体介绍了温度检测、转换电路、误差校正及控制系统的设计。     

基于液压油超低温特性的加热及保温系统设计仿真和试验分析

液压系统因其独特的优势,广泛应用在各个工业领域。液压源是液压系统中的重要组成部分之一,其油液温度的控制对系统产生至关重要的影响,该文针对超低温条件下某军工车辆液压缸运动速度过慢,不能满足实际使用要求的状况,设计了一套低温试验系统和加热保温装置,验证液压缸速度过慢的原因,并保证了液压系统的温度控制且通过了试验验证。