微电子工业对超净高纯化学品的质量要求

我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少。为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的质量要求,搜集、整理并分析了近二十年来的相关文献,研究了不同规模集成电路对这类化学品纯度、洁净度的质量规格要求,建议:制定有全球竞争力的超净高纯化学品国家标准;建立相关产品生产管理制度和实施细则;建立能与国际资深实验室进行测试技能交流的有世界公信力的分析检测平台。     

电子化学品高纯盐酸的生产工艺方法和生产装置

介绍了高纯盐酸的生产工艺方法与生产装置,其中包括将氯化氢蒸发、吸收高纯水、净化气体与最终提纯,而后经过了一系列实验,确定这样制备的盐酸的确纯净并且可以使用。     

亚沸蒸馏制备超净高纯盐酸工艺条件的研究

介绍了一种制备超净高纯盐酸的工艺路线，从工业优质盐酸开始，采用蒸馏、过滤、洗涤、吸收、亚沸蒸馏方法，提纯出超净高纯盐酸，其主要金属离子浓度含量均小于0.1ppb。同时针对亚沸蒸馏提纯技术，影响产品速率以及产品浓度的工艺条件，包括液体温度、冷却水流量、进料速率以及进料浓度进行了讨论。     

亚沸蒸馏制备超净高纯盐酸工艺条件的研究

介绍了一种制备超净高纯盐酸的工艺路线:以优质工业盐酸为原料,经过蒸馏、过滤、洗涤、吸收、亚沸蒸馏,得到的超净高纯盐酸中主要金属离子的质量分数均小于1.0×10-10。对亚沸蒸馏提纯技术中影响产品产出速率以及产品浓度的工艺条件(包括液面温度、冷却水流量、进料速率以及进料浓度)进行了讨论。     

超净高纯试剂与紫外光刻胶

超净高纯试剂和紫外光刻胶作为IC生产工艺中的关键材料,随着IC生产向亚微米和深亚微米方向发展,对他们提出了新的要求。     

亚沸蒸馏制取超净高纯盐酸工艺的研究

介绍了一种通过氯化氢蒸发、气体净化、高纯水吸收、提纯等步骤，制备电子纯盐酸的方法。采用ICP-MS和离子色谱对按此工艺生产的盐酸产品进行了分析。结果表明，此工艺能够有效去除工业盐酸中的Fe、Cu、Pb、As等金属的离子。     

微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展

大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求 ,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应 ,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合 ,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂 ,金属离子等杂质含量降至几十个 1× 1 0 -9以下 ,甚至达到 1× 1 0 -12 水平。     

电子化学品的发展现状与前景

本文简述了电子化学品的基本内容，综述了国内外电子化学品的发展现状，分析了电子化学品的发展前景。     

超大规模集成电路用超净高纯过氧化氢的制备研究

采用吸附-离子交换-膜分离集成纯化制备了超净高纯过氧化氢，讨论了过氧化氨中各种树脂的温度变化、不同膜对过氧化氢中颗粒脱除的影响和过氧化氢纯化效果。此外，分析了超净高纯化学品生产中存在的问题，为今后的高纯超净化学品提出了方向。     

浅谈高纯盐酸生产中的游离氯问题

简介引起高纯盐酸中游离氯含量超标的原因及降低的措施以及保证高纯盐酸质量的 办法。     

离子交换法生产精制盐酸和高纯盐酸

总结了用离子交换树脂法生产精制盐酸和高纯盐酸的试验过程及规模生产的可行性,并根据试验结果,设计生产规模的工艺流程和装置。     

Cl_2在盐酸溶液中溶解性的研究

对Cl2在盐酸溶液中溶解性及其溶解行为进行了实验研究,分别考察了盐酸浓度和盐酸温度对Cl2溶解性的影响。结果表明,当盐酸浓度<0.5 mol/L时,Cl2在其中的溶解度随着盐酸浓度的增大而减小;当盐酸浓度>0.5 mol/L时,Cl2在其中的溶解度随着盐酸浓度的增大而增大;温度越高,Cl2在盐酸溶液中的溶解度越小。     

国内氟化工行业发展现状与趋势分析

阐述了我国氟化工行业发展现状,分析了未来氟化工行业的发展趋势,建议我国氟化工企业在面临困难与机遇的同时,应加大新产品的研究、开发力度,提升产品附加值,做好企业的转型升级工作。     

氟化工副产盐酸除铁工艺研究

研究了经不同方法预处理的强碱性＂717＂阴离子交换树脂的盐酸除铁效果的差异,及再生后树脂的除铁效果的差异。确定了工业上最佳的树脂预处理和再生方法为用水进行预处理,用水进行树脂再生。     

从酸性蚀刻废液中回收盐酸及生产高纯电镀级硫酸铜的研究、应用

文章主要论述一种新型酸性蚀刻废液处理方法,在特制石墨蒸酸釜内加入定量的酸性蚀刻废液及98%硫酸,在蒸汽不断加热下使得反应液内部氯化氢气体不断逸出,通过冷凝回收盐酸,同时所得粗品硫酸铜通过重结晶除杂的方法得到高品味的电镀级硫酸铜。该处理工艺全过程无废水产生,回收盐酸回用于蚀刻液的配制,达到了资源回收利用之目的,所得铜产品提升了其附加值,是当前所有处置工艺中最环保的处理方法之一。     

农药副产稀盐酸生产氯化钙

利用含有机杂质的副产稀盐酸和方解石进行中和反应 ,溶液经脱色、除杂后制得无水氯化钙产品 ,质量指标达到产品标准要求 ,为副产稀盐酸开拓了一个新的利用途径。     

高纯度磷酸的生产技术优化

采用副产蒸汽真空抽滤、高效脱气塔循环脱气节能净化工艺,生产高纯度磷酸。介绍其净化技术、主要设备、实际效果及与国内水平的比较。     

合成盐酸热能的利用

介绍了合成盐酸的生产原理,对合成盐酸热能进行了计算,并结合工厂实际提出了热能回收利用的措施。     

高纯盐酸合成工艺

简要介绍氯碱工业发展和氯碱工业的平衡问题,以及高纯盐酸合成技术的最新发展。并详细介绍了各种合成工艺的流程,如喷淋洗涤法、脱吸吸收法、三合一炉法等,并对这些流程的优缺点进行了简单的比较。