微电子机械系统的发展及未来

介绍了微电子机械系统（MEMS）的技术、材料、器件及应用，讨论了它的发展趋势及将来的市场。     

微电子机械系统

概述了微电子机械系统（MEMS）的特点,理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（MOEMS）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要MEMS器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用,最后简述了MEMS技术的发展趋势与我国的发展现状。     

微电子技术新领域

微电子技术新领域陈克金,邵凯（南京电子器件研究所,南京,２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体,将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号,将这...     

光电子学与微机械的新进展

96年国际电子器件会议在美国的旧金山召开,为期四天。会议共收到600多篇报告,选中的有204篇。其中,1/3来自大学和国家研究所,2/3来自工业企业。会议共举行三次全体大会,其中值得一提的是第二次。密执安大学指出了电子学与非电子学之间相互连接的新办法。该大学一直为美国五角大楼从事研究工作,他们利用自制的微处理器和高度微型化的仪器,制成了首批机械—电子学系统,并通过自己的试验,采取缺陷的数字补偿,达到     

射频微电子机械系统的发展与展望

介绍了射频微电子机械系统（RF MEMS）的最新进展、研究内容及应用前景。该系统装置包括开关、继电器、电容器、电感器、滤波器及微波和毫米波元件。     

微电子机械系统

本文对国外微电子机械系统的研究现况作了评述，介绍了ＭＥＭＳ的主要技术和它的应用情况，对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析，最后就我国ＭＥＭＳ的发展提出了一些建议。     

军用微电子机械系统的应用及封装

扼要介绍微电子机械系统的特征，在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。     

低驱动电压电容式RF MEMS开关结构设计优化

RFMEMS开关将成为微波、高频信号控制的关键器件。针对其驱动电压过高,不能满足现代通信系统低电压的要求,推导了电容式RFMEMS开关驱动电压的理论公式;基于降低开关柔顺结构的弹性系数、驱动电极上极板与可变电容上极板分离的思路,优化设计了三种具有不同的连接梁和支撑梁结构形式的开关微桥柔顺结构。第一种结构为驱动电极板和电容上极板之间以双直梁连接;第二种结构以一组弹性折叠梁代替结构一中的双直梁;第三种结构是在结构二的基础上,改变了起支撑作用的弹性折叠梁的方向。使用MEMS CAD软件CoventorWare对开关结构进行了机电耦合仿真,仿真结果表明开关的驱动电压小于3V。     

微电子机械系统的研究进展

本文从微电子机械系统（MEMS）的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术,特别是新型MEMS器件与系统方面的最新研究进展,介绍了欧美日等发达国家和我国为MEMS的发展所作的努力,提出了“只有产业界及时介入才是中国MEMS研究的唯一出路”。     

光交换机的MEMS技术

目前,全光交叉连接器正在逐步实现。微电机系统（MEMS：Micro electro mechanical System）技术有了重大进展,并且已经在光交换应用中进入了现场试验阶段。基于MEMS的光交换机已经能够传递实际的业务数据流。在不远的将来有希望实现对成百上千的光数据通道端口进行交换,这一     

低温漂过载加速度传感器

过载加速度传感器,是采用了最新的MEMS技术与微电子技术研制的一种新型硅压阻加速度传感器,集加速度敏感元件、信号放大、饱和控制及温度补偿等于一体,对传统的电桥放大电路和温度补偿电路进行了改进,使得传感器温漂更小且具有可编程补偿温度和增益调整等功能.     

基于热膨胀效应的微执行器进展

本文首先分析了热驱动微执行器的基本及其相对于静电驱动,磁驱动的优势。接着分析了五种常见的热驱动结构的原理,特点,它们的某些典型应用也随后作了介绍,最后对热驱动微执行器计算机辅助设计的前景进行了展望。     

DC-20GHz射频MEMS开关

描述了DC－200GHz射频MEMS开关的设计和制造工艺。开关为一薄金属膜桥组成的桥式结构,形成一个单刀单掷（SPST）并联设置的金属－绝缘体－金属接触。开关通过上下电极之间的静电力进行控制,其插入损耗及隔离性能取决于开态和关态的电容。测试结果如下：射频MEMS开关驱动电压约为20V,在“开”态下DC－20GHz带宽的插入损耗小于0．69dB;在“关”态下在14－18GHz时离小于13dB,在18－20GHz时隔离大于16dB。本器作为国内首只研制成功的宽带射频MEMS开关。     

微型泵的物理模型动态模拟

根据薄板的弹性振动理论和流体动力学理论,建立了能完整描述振膜式微机械泵的动态解析模型。导出了吸入过程和排出过程的流量、压力方程。揭示流量、压力等微机械泵性能参数与执行器输出以及负载之间的内在关系。而且在此基础上用有限元分析方法,建立了其数据模型,并且进行模拟,所所结果与实验符合较好。     

走近MEMS技术(下)

四、加工技术微机械加工技术是制作微传感器与执行器的工艺技术,是微电子机械系统的工艺基础,它大致可以分为如卜四类：1、各向异性化学和电化学腐蚀硅单品性能比较稳定,但人们通过研究找到了对其具有明显腐蚀作用的腐蚀液。其中各向同性腐蚀波主要是硝酸、氯氟酸、水系统,它对硅材料各个方向的腐蚀速率几乎相问。如果搅动充分,区应物的运输良好,则可形成完美的球形凹坑和其他结构。这种腐蚀作用基本上不依赖于桂材料的晶向,故有利用掩膜对特定区域进行腐蚀时,掩膜边线下方的硅会受到钻依,使得腐蚀【的边界与掩股区的边界不一致。…     

用于光通信的微电子机械系统技术进展

以光开关为主介绍了几种典型的用于光通信的微电子机械系统光器件的研究现状,并介绍了微电子机械系统技术进展。基于微电子机械系统技术,可以获得多种光通信器件。与传统器件相比,微电子机械系统光器件具有体积小、响应速度快、集成度高、成本低等优点,将在光通信领域发挥重要作用。     

新世纪的新事业--中国MEMS调查

微电子机械系统(Microelectromechanical System,MEMS,亦称微型机电系统)是将微电子、精密机械、生化和信息处理等高技术有机整合.它对21世纪的科学技术和人类生产和生活方式将产生革命性影响,并在未来高科技战争中扮演着举足轻重的角色,是关系国民经济发展和国家安全保障的关键技术.     

微电子机械系统(MEMS)光开关

1前言近年来,随着互联网的迅速普及,穿梭于通信网络的信息量正以爆炸性速度持续增长。据日本光协会预测,横跨太平洋光缆的国际通信网以每5年10倍的速度增长,到15年后的2015年,其增长速度将是现在的1000倍,也就是说每1根光纤必须具有1000Tbit/s的传输容量。     

用于通信领域中的MEMS器件

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术在未来的通信领域中有着广泛的应用前景，本文介绍了若干个用于通信线路中的ＭＥＭＳ器件，如微电容器，微电感器，微谐振器，微滤波器，微开关等的典型结构形式及其主要性能。