Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术

本文研究了通过ＸｅＣｌ准分子激光照射Ａｌ２Ｏ３陶瓷表面后,使其表面沉积金属Ｃｕ的技术,实验结果表明,Ａｌ２Ｏ３试样浸入Ｃｕ２ＳＯ４溶液后,金属Ｃｕ膜只沉积于激光照射区。经准分子激光照射,Ａｌ２Ｏ３表面结构的变化和Ａｌ富集区的产生是金属Ｃｕ沉积的主要原因。     

紫翠宝石激光器的工业应用

在通信、微电子和生物医学技术等领域中，紫翠宝石激光打标和材料加工应用正崭露头角。目前这些工业中占主导地位的仍是准分子、ＣＯ２和Ｎｄ：ＹＡＧ激光器，随着人们对紫翠宝石激光器优良特性了解的加深，它也将汇入这个家族。准分子（ＥＸＣ；３０８ｎｍ），紫翠宝石（ＡＬＸ；３８０ｎｍ），ＣＯ２（ＣＯ２；１０．６μｍ）和Ｎｄ：ＹＡＧ（ＹＡＧ；３５５ｎｍ）激光都能在微电子工业中制造并使用的陶瓷片电容器上打标，但质量各不相同，紫翠宝石最好，准分子其次，Ｎｄ：ＹＡＧ再次，ＣＯ２最差。 紫翠宝石激光器最先由新泽西州联合信…     

制备有机聚合物脊型光波导的新方法

详细讨论了ＤＲ１／ＰＭＭＡ聚合物波导在紫外光照射下,各个模式的有效折射率,薄膜厚度,以及紫外可见吸收谱的变化情况。并在此基础上,提出了以金属掩模,利用光漂白技术制备聚酰亚胺脊型光波导的新方法。     

浅离子注入InGaAs/InGaAsP SL-MQW激光器的混合蓝移效应

利用３００ｋｅＶ的Ｐ＋离子对ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓＰ应变层多量子阱（ＭＱＷ）激光器外延结构实施浅注入,经Ｈ２／Ｎ２混合气氛下的快速退火,结构的光致发光（ＰＬ）峰值波长蓝移了７６ｎｍ,所作宽接触激光器的激射波长蓝移了７７．９ｎｍ．发现具有应变结构的ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓＰＭＱＷ,在较低的诱导因素作用下即可产生较大的量子阱混合（ｉｎｔｅｒｍｉｘｉｎｇ）效应     

塑料光纤的发展综述

本文综合介绍国外局域网和汽车用的各种塑料光纤的发展情况,从最早的聚甲基丙烯酸甲酯（ＰＭＭＡ）突变折射率（ＳＩ）塑料光纤到近年来的全氟化（ＰＭＭＡ渐变折射率（ＧＩ）塑料光纤。还介绍了除最初使用的６５０－６６０ｎｍ传播窗口以外的５２０ｎｍ、７８０ｎｍ和１３００ｎｍ等传输窗口。文章还报道了用的耐热光纤和为了保持塑料光纤而采用的皱纹微管技术。文章最后提出了塑料光纤今后的工作内容。     

光漂白法制备聚合物X连接型非线性光波导

研究了用光漂白方法制备ＰＭＭＡ／ＤＲ１聚合物Ｘ连接型非线性波导。将波长为１０６４ｎｍ的ＹＡＧ脉冲激光通过光纤耦合到波导中,研究了波导两口光波模式转换情况,并观察到了光信号的自开关效应,材料的非线性折射率和双光子吸收影响了自开关强度的大小。     

聚合物PtBuA薄膜不同温度下的AFM图像及其多重分形谱

由于原子力显微镜能够真实反映针尖原子和材料表面原子间的互作用力 ,而成为表面科学研究中的重要工具。本文对聚合物ＰｔＢｕＡ薄膜进行了不同温度下原子力显微镜 (ＡＦＭ)表面形貌的实验研究 ,并用多重分形谱定量表征和比较了温度对聚合物薄膜表面形貌的影响。实验方法ＰｔＢｕＡ薄膜是用甩胶法制备的。聚合物的溶剂为甲苯 ,溶液浓度为 2 % ,旋转速率 6 0 0 0ｒ ｍｉｎ。刚制备的薄膜放在 1 2 0℃的真空炉中退火了一夜。薄膜厚度为 1 33ｎｍ。用ＳｅｔａｒａｍＤＳＣ 92系统在干燥的Ｎ2 气氛中以 1 0℃ ｍｉｎ的加热速度测得大块聚合物的…     

六种不同波长激光照射及光敏剂HpD对活体小鼠肿瘤表面漫反射率的影响

本文研究了激光波长及光敏剂对小鼠肿瘤表面的漫反射率的影响。实验采用一套积分球系统及三种激光器（Ａｒ＋激光器，Ｈｅ－Ｎｅ激光器，Ｎｄ：ＹＡＧ激光器）的六种波长的激光（４７６．５ｎｍ，４８８．０ｎｍ，４９６．５ｎｍ，５１４．５ｎｍ，６３２．８ｎｍ，１０６０ｎｍ），测定了注射光敏剂和没有注射光敏剂两组小鼠Ｓ１８０肉瘤表面的漫反射率，结果表明，注射光敏剂和没有注射光敏剂的小鼠肿瘤表面对六种激光的漫反射率无明显差异（Ｐ＞０．０５）；提示在激光光动力学疗法中，计算实际进入肿瘤组织的光剂量时，可以不考虑ＨｐＤ的影响。漫反射率随激光变化的曲线显示，在蓝光和红光范围内，肿瘤表面的漫反射率在５１４．５ｎｍ处有最小值，但总的来说，漫反射率的值变化不大；但在红外区的１０６０ｎｍ处，漫反射率值较大，提示在激光温热疗法中计算光剂量时，应考虑漫反射的影响。     

1550nm AM外调制光纤与PCM数字光纤应用探讨

本文以南通市已经开通的市至各县１５５０ｎｍＣＰＭ数字光纤为例，阐述了１５５０ｎｍＡＭ外调制光纤与ＰＣＭ数字光纤的特点，主要指标分配，成本分析，应用方式及应注意事项。     

离子束抛光硅片纳米级微观形貌的原子力显微镜研究

本文报道了用原子力显微镜（ＡＦＭ）研究多种Ａｒ￣＋离子抛光参数Ｓｉ（ｌｌｌ）表面的微观粗糙度和三维微观形貌特征，发现用离子束抛光方法可以显著地改善硅片表面的微观粗糙度，抛光效果与离子束能量、束流强度、抛光时间和束流入射角度等有关。用４００ｅＶ离子能量、１００ｍＡ束流强度、６０°入射角离子束照射２小时后再改用３５０ｅＶ、８０ｍＡ束流强度以同样入射角照射２小时的样品，在１μｍ×１μｍ范围表面微观粗糙度（ＲＭＳ）值可达到０．３ｎｍ左右。而当小入射角（＜２０°）照射时抛光效果很差，其表面明显地呈现出直径约几十到几百ｎｍ凹坑的蜂巢状形貌特征。     

XeCl准分子激光对聚对苯二甲酸乙二酯的表面接枝改性

用XeCl准分子激光照射聚对苯二甲酸乙二酯 (PET)薄膜 ,并同时进行表面接枝 ,提高薄膜表面亲水性。研究了激光能量和脉冲次数对照射和接枝后PET薄膜表面亲水性的影响 ,对比了激光照射烧蚀和接枝薄膜的表面性质差异 ,并分析了激光照射和接枝后样品重量变化的影响因素 ,提出了一种新的接枝率计算公式     

有机小分子掺杂的聚合物共混发光二极管

报道了用可溶性发光材料聚（２,５－二丁氧基苯）做发光材料,分别与母体聚合物聚乙烯基咔唑（ＰＶＫ）和聚甲基丙烯酸甲脂（ＰＭＭＡ）共混,并掺杂电子传输材料叔丁基联苯基苯基口恶二唑和空穴传输材料二胺衍生物作发光层,用铟锡氧化物和铝分别作正负电极,制作了两种蓝紫光有机／聚合物单层发光器件。通过比较两种器件的器件特性,发现以ＰＭＭＡ做母体的器件比用ＰＶＫ做母体的器件有更好的稳定性,器件开启电压为１０Ｖ左右,发光峰值波长均位于４２４ｎｍ,电致发光效率可达２．９％,比用ＰＶＫ做母体的器件效率高一倍多。     

用于0.15μm以下器件光学光刻的准分子激光器

光学光刻正在瞄准１５０ ｎ ｍ 及更小尺寸的特征图形。在这种工艺中,计划采用１９３ ｎ ｍ 波长的 Ａｒ Ｆ 准分子激光器和由 Ｆ２ 准分子激光器发射的１５７ ｎ ｍ 波长曝光。在各种用途的激光器制造中, Ｌａｍ ｂｄａ ｐｈｙｓｉｋ 公司已积累了２０ 多年的经验。从实际激光器的效率和耐久性来讲,在性能上的最大突破,就是通过引入金属陶瓷激光管而实现的（ Ｎａｖａ Ｔｕｂｅ Ｔ Ｍ） 。主要介绍了 Ａｒ Ｆ 和 Ｆ２ 准分子激光器光源的进展,祥细地讨论了其性能特征（ 如输出功率、重复速率、带宽） 和用这种激光器进行微光刻的可能性。     

聚甲基丙烯酸甲酯LB膜用作高分辨率电子束抗蚀层的研究

应用ＬＢ技术制备了厚度为２０－１００ｎｍ的聚甲基丙烯酸甲酯（ＰＭＭＡ）超薄高分辨率电子束抗蚀层。应用改装的日产Ｓ－４５０扫描电子显微镜（ＳＥＭ），研究了ＰＭＭＡ ＬＢ膜的曝光特性和刻蚀条件。结果得到线宽０．１５μｍ的铝掩模光栅图形，表明此种超薄膜具有良好的分辨率和足够的抗蚀性。     

全固体化紫外激光技术

高输出功率紫外激光器在产业上主要用作超精细微加工光源而倍受关注。但市场上以往出售的高输出紫外激光器主要是准分子激光器,存在着装置大、工作效率低、使用腐蚀性气体、要更换气体、价格昂贵、维修成本高等缺点。因此,近几年市场要求开发能够解决上述问题的高输出全固体化紫外激光器。但是,几乎所有的固体激光波长都在近红外区,直接产生更短波长的激光非常困难。全固体化紫外激光器可将固体激光作为基波,通过波长转换成高次谐波生成紫外光。例如,为了从1064ｎｍ近红外光的Ｎｄ∶ＹＡＧ激光器得到紫外光,首先要产生二次谐波(波长532ｎｍ)…     

准分子激光器

所谓准分子就是受激态的原子(分子)和基态原子(分子)结合而形成的分子。由不同的两个原子(分子)形成准分子时,还往往分成复合受激态和异质准分子。一般准分子的基态是分解状态,基态与准分子态之间,会发生宽线宽跃迁(束缚-自由跃迁)。有时也有基态呈现弱结合的例子(XeF等),但最近,只要与激光有关,即使激发复合物的基态是结合状态,也不加区别地统称为准分子。将准分子的束缚-自由跃迁用于激光器的建议,几乎是和激光振荡的实现同时提出来的，但巴索夫等人首次得到准分子激光器振荡，却比较晚，是一九七○年。首次准分子激光振荡是用强电子束照射液Xe得到的，此后采用了高压气体。研制激光核聚变用的新型激光器的要求及CO2激光器等的高压气体激励技术的发展，促使准分子激光器取得迅速的进展。目前，准分子激光器已发展到一定的深度和广度。     

基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工北大核心CSCD

利用波长为248nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS),研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题,研究了准分子激光加工PZT微结构的性能。通过调整准分子激光器的激光脉冲能量、脉冲频率、扫描速度及扫描次数等参数,获得了加工参数及其与PZT沟槽加工深度和宽度的关系。研究了辅助气体对准分子激光加工PZT表面粗糙度的影响。用准分子激光器制备了基于PZT-Si复合材料的微悬臂梁和微膜片,并测试了其压电性能。结果表明,利用准分子激光器加工的2种PZT微压电结构具有良好的压电性能,可作为微压电驱动器的关键器件,验证了用准分子激光器加工PZT微结构的可行性。     

丹麦发明即时全息图工艺

丹麦里瑟国家实验室的研究人员已演示一种无需化学处理就能产生全息图的即时全息工艺。研究小组从含偶氮苯的聚合物出发，采用传统双光束装置来实现偏振全息术。倍频Ｎｄ∶ＹＡＧ激光器输出的５３２ｎｍ光束可产生２０Ｈｚ重复率、５～７ｎｓ的Ｑ开关脉冲，峰值功率约为１．６ＭＷ。用输出４ｍＷ的Ｈｅ－Ｎｅ激光进行读出。在单个激光脉冲照射后，薄膜将产生１１个衍射级次，在１６０线／ｍｍ的空间频率时，第一级次的最大衍射率大于４％。研究人员说，这表明光栅主要是由于表面凹凸形成。然后，研究人员修改了他们的装置，使光束通过记录一…     

多工位微细加工装置

本产品是由小型准分子激光器、投影光学系统、试样表面观察系统、X—Y控制系统组成的多工位微细加工装置.该装置可加工最小1μm的孔.以集中一点的高倍率投影方式可获得与大型激光器相同的高能量密度,最适合于金刚石、陶瓷、金属薄膜、聚合物之类的微细加工.其性能指标:     

光纤CATV信号传输对激光器要求的分析

激光器是多频道光纤ＣＡＴＶ系统中提高传输信号质量的关键器件,特别是在受色散和非线性影响的基于Ｇ．６５２光纤的１５５０ｎｍＶＳＢ－ＡＭ系统中。文章从激光器的本征特性和光纤的传输特性的角度讨论了系统对激光器性能的特殊要求,提出能够满足系统要求的激光器的典型性能指标,并介绍了几种适用于光纤ＣＡＴＶ的新型激光器及其发展。