共查询到6条相似文献,搜索用时 0 毫秒
1.
射频溅射法制取ZnS·Ag发光薄膜 总被引:1,自引:1,他引:0
用烧结ZnS·Ag蓝色荧光粉靶在钇铝柘榴石单昌基片上射频溅射制了ZnS·Ag蓝色发光薄膜。讨论了基片温度及放电气体中H2S的含量对薄膜发光特性的影响。实验表明,基片加热温度应控制在500℃左右,放电气体中H2S含量应控制在0.2%左右,所制得的薄膜具有和P22-B1荧光粉相同的发光光谱。 相似文献
2.
在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2 O2 S∶Eu红色发光薄膜。利用正交试验法 ,对溅射气体 (Ar H2 S)中H2 S浓度、退火气氛中SO2 与H2 的比例、退火温度和退火时间等工艺条件进行了优化试验。给出了实验结果并对其进行了讨论。 相似文献
3.
在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2O2S:Eu红色发光薄膜。利用正交试验法,对溅射气体(Ar H2S)中H2S浓度、退火气氛中SO2与H2的比例、退火温度和退火时间等工艺条件进行了优化试验。给出了实验结果并对其进行了讨论。 相似文献
4.
5.
6.
以Ca0.64WO4:Eu0.24陶瓷为靶材,采用射频溅射法在硅片上沉积了Ca1-1.5xWO4:Eux薄膜,利用正交试验研究了溅射时间、气压和功率对Ca1-1.5xWO4:Eux薄膜的红光(616 nm)发光强度的影响;并利用荧光光谱仪和X射线光电子能谱(XPS)仪研究了薄膜的发光性能和成分。极差分析说明,溅射气压、时间和功率都会影响薄膜的发光强度,溅射时间的影响尤为重要。为提高发光强度,溅射气压宜控制在0.2 Pa左右,溅射时间在140 min。成分分析表明,薄膜中钙元素含量显著低于靶材中的含量,但铕元素含量显著偏高。研究还表明,靶材中Ca、W、O和Eu元素的溅射产额比为1∶1.79∶1.84∶2.28。XPS分析和光致发光谱都说明,薄膜中的Eu元素同时存在+3和+2价。 相似文献