垂直磁化膜微畴结构的SEM观察

本文研究了用扫描电子显微镜(SEM)观察垂直磁化膜微畴结构的方法和观察结果。该方法的步骤是在试样表面制作高质量的干粉纹图,然后用高倍率二次电子象进行观察。由于SEM中的二次电子象具有景深大、分辨率高的特点,这项技术可用来研究磁畴的精细结构特征及其在磁化过程中的变化。     

扫描电镜电压衬度法的应用

应用扫描电子显微镜电压衬度法观察分析半导体器件样品,对它进行失效分析或观察它的工作状态等,都有很明显的效果.电压衬度图象是在扫描电镜二次电子图象的基础上形成的,它通过对样品室中的半导体样品的某一部分施加电压,以便在样品的二次电子图象中的相应部位获得反差.由于所施加的电压会在样品表面形成一个小的局部电场,这个小电场对样品该部分的二次电子发射会起抑制作用,因此当电子束     

基于PC机的断层图象序列3-D表面重建

由断层图象序列重建三维物体模型及其可见表面显示是目前国际上十分活跃的研究课题。本文对X射线CT图象序列重建三维对象模型,以及可见表面3-D显示进行了研究。提出一种给定分段点数的轮廓多边形近似方法,继而提出一种快速断面图象间轮廊插值方法。对重建出的人体肝脏体元阵列,用深度和梯度明暗显示方法进行显示,肝脏可见表面的3-D显示结果令人满意。全部软件都是在以PC/AT为主机,配以PC-VISION图象处理板的微机图象处理系统上,用C语言编程实现的。     

真空器件中电极表面微结构对其二次电子发射性能的影响

本文在概述金属材料二次电子发射性能和用于行波管多级降压收集极的低二次电子发射系数电极材料研究的基础上,对电极材料表面尖锥阵列微结构层对二次电子发射性能的影响进行了有限元计算分析,进而提出了具有三维网络结构的电极表面微结构层概念,为构建新型超低二次电子发射系数电极材料提出了思路。     

在改进后的D—6420扫描电子显微镜上利用EBIC象对激光器管芯的观察分析

本文叙述了对D—6420型扫描电镜的改进。该扫描电镜原只能作二次电子象和反射电子象观察,经线路改进、外加了吸收电流放大器后,可作束感生象(EBIC)观察。并可使二次电子信号和束感生信号同时输入视顿放大器,在荧光屏上呈现二次电子和束感生叠加象。用束感生象和叠加象对大量激光器管芯进行了观察,可看到管芯表面情况,P—N结完整性、激光器的暗点暗线等,并检验了外延、焊接工艺中存在的一些问题。     

只有竖条扫描图象的维修

本文介绍当发生只显示宽狭不等的竖条扫描图象,竖条宽度能随倍率而变、但看不到正常样品形貌象的故障原因和排除方法。一、概述:众所周知、扫描电镜的光栅图象是由水平(x)和垂直(y)方向的锯齿波组合而成。由于镜筒内电子束在偏转线圈作用下对样品表面的扫描、与显示系统的偏转扫描来自同一信号源,两者严格同步才使人们观察到样品被扫区域的二次电子形貌象。当加于镜筒内的水平扫描信号失去时,仅接收到垂直方向一条线的区域(而不是面)内的二次电子信息。可是显示系统仍是X、Y两个信号的组合,这样,只有垂直方向的样品信息被展开在整个光栅面上显示,成为竖方向的条条(见图1)。随样品表面高低起伏的密度不同,竖条的粗细及密度也不同,并随着倍率的提高,竖条的宽度增大。     

钢铁薄膜样品的二次电子象观察

用分析透射电镜H-800的SEI附件观察了多种钢铁薄膜样品,看到了在薄膜表面的碳化物和其它第二相的二次电子象。这些薄膜样品是供主机TEM进行衍衬观察的合格样品,用高氯酸乙醇溶液双喷射电解减薄法制备。本文探讨了引起二次电子象衬度的原因及影响成象质量的操作因素,并将二次电子象与衍衬象进行比较。指出这种观察方法可以作为衍衬法的一种补充,以便取得有关钢铁材料中第二相分布与形态学的更多资料。     

扫描电镜的分辨率及其发展前景

分辨率是显微镜最重要性能指标之一。作为表面形态观察的扫描电镜,长期以来人们所追求目标之一是如何使它的图象分辨率达到透射电镜分辨率的相当水平。本文是从扫描电镜的成象原理出发,分析了各种影响二次电子象分辨率的因素,并考虑了统计涨落噪音的影响,推导得如下基本关系:     

立体扫描电子显微术

一、立体图像的概念: 在扫描电镜下观察到的二次电子图像,能显示样品表面的形貌,由于其焦深较大,并根据图像中某些结构遮档显示的阴影,使人们有立体感的印象。但这不是真正的立体图像,也不具有第三维的信息,只是一张二维图象。立体图像一定要具有人们双眼立体视觉的效果,要有第三维的信息。左右两眼看物体时由于观察角度不同所造成     

结合体构造的Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像衬度

扫描电镜中的低能二次电子信号主要反映试样的表面形貌特征，而较高能量的背散射电子信号既包含了试样的表面信息，也可表征试样的结构差异和内部成分。对二次电子和背散射电子信号产生过程的计算模拟研究有助于理解扫描电子显微镜的成像机制和图像衬度机理，但现在的计算一般仅局限     

二次电子发射系数对新型SM􀀁PDP 放电过程的影响

针对新型荫罩式PDP(SM-PDP)结构，采用二维数值模拟的方法研究了二次电子发射系数对放电过程的影响；以及在放电单元不同的表面上，二次电子发射系数对放电过程影响。通过计算比较得知二次电子发射系数越大，响应频率越快，粒子电离率越高；在SMPDP中，二次电子发射主要是由粒子轰击放电单元内上下介质表面决定的。     

垂直磁化膜微畴结构的SEM观察

随着微磁学的高密度磁存贮技术的迅速发展,人们迫切需要以更高的分辨率观察大块试样表面的微畴结构。通常使用的粉纹图法和磁光法等观察方法已不能满足要求。本文研究了用SEM观察垂直磁化膜微畴结构的方法和观察结果,获得了满意的效果。该法主要分两部分:1.在试样表面制作高质量的粉纹图;2.用高倍率二次电子象观察试样表面磁性粒子的分布,从而可显示出磁畴的精细结构和磁化方向。图1是YIG单品垂直磁化膜在退磁态的磁畴结构象。图中磁性粒子的聚集图案清楚地显示出该薄膜具有片状“迷宫畴”结构,畴宽约1.9μm,饱和磁化失量Ms垂直于膜面,+Ms和-Ms呈周期分布。图2是TbFeCo非晶垂直磁化膜退磁后的磁畴结构象。磁性粒子在畴壁表面漏磁场的作用下聚集在畴     

在显微照片上套印测试格的一种简便方法

随着现代医学研究的不断深入,医学形态学的研究也由定性走向定量。人们越来越迫切地需要借助组织切片的二维显微图象推算出组织或细胞的三维结构参数,从而可以精确地对组织或细胞的形态结构进行立体定量分析。这就是运用立体定量学(Stereology)的方法来分析形态结构,称为形态计量学(Morphometery)。对显微图象进行立体定量分析有专用的图象分析系统,也有与光镜或电镜联用的图象处理装置,但价格都很昂贵。因此大多采用测试格(fest grid)的方法进行立体定量分析工作。具     

三维轮廓和形变的动态测量

利用光学投影系统将标准格栅投射到被测物件表面,形成携带有被测表面三维信息的变形格栅。此变形格栅经摄象物镜成象在另一标准格栅表面,此两个格栅重合后得到带有莫尔等高条纹的被测物件图象。再由1倍的光学转象系统将此图象成象在摄象机的靶     

三维立体图象显示器

三维立体图象显示器为在两维显示器上形成三维图象，研究人员必须用电子或光学技巧产生三维幻觉。然而，在立体显示中，象点在所有三维空间上实在形成。因此，两维象素变成有ｘ，ｙ，ｚ坐标的体象素。斯坦福大学研究人员在１９９４年１０月蒙特里举行的国际显示研究会议上...     

用二次电子线扫描法研究冲击断口的分形特点

一、前言自从Mandelbrot提出分形理论以来,分形已应用于金属断裂表面的定量分析,分形维数是金属断裂表面粗糙度的一种量度。根据最近的研究,确定分形维数的方法有以下几种:(1)切割小岛法;(2)垂直剖面法;(3)二次电子线扫描法。Huang等认为,二次电子产额对样品表面形状非常敏感,而与样品的原子序数无关。因此二次电子扫描线的像可以间接地反映断口表面的线粗糙度,并可用于分形研究。本文用二次电子线扫描法研究45号钢冲击断口的分形维数,以探索金属材料断口分形维数与韧性之间的对应关系。     

高分辨电子显微术中的图象处理

在最佳成象条件下拍摄的高分辨电子显微象可以反映出被观察晶体沿入射电子束方向的结构投影。可是,象上携带的结构信息总免不了遭受各种成象因素的影响而失真。为了从象上提取出更多的结构信息,有必要对象进行各种处理,对于完整晶体的结构象可以首先用平均法消除噪音(1,2,3),提高象的清晰度。更重要的图象     

一种直观,可靠,准确的半定量分析新方法

用波谱仪、能谱仪和光栅调制建立的的假彩色图象相结合的方法,可以很直观的看出样品显微组织的形貌,各种化学成分的含量以及各种元素的分布情况。弥补了用谱仪只能显示X射线点而不能显示二次电子图象;只能在一条线上来显示成分曲线而不能看整体分布情况的弱点。从而使形貌、含量、分布在一张彩色图上显示出来,使半定量分析更加完善。这种方法利用位相光栅在白光信息处理系统中的衍射特性对体现与原子序数有关信息的背散射电子象进行处理制作出假彩色照片,再用波谱仪能谱仪分析确定化学成分与彩色图片的对应关系。实验过程中,首先制作光栅调制图象负片。采用黑白光栅20线/mm,天津Ⅰ型或Ⅱ型干版,采用溴乌灯光源即可翻     

绝缘膜负带电时的表面局部电场与二次电子返回特性

为分析IC多层版图扫描电镜(SEM)对准检测所利用的负带电成像原理,采用Mott弹性散射截面和修正的Bethe非弹性碰撞公式,对点照射入射电子在绝缘膜中的散射过程进行了Monte Carlo模拟,得到负带电绝缘物表面的局部电位分布.在此基础上计算了二次电子从表面出射后在局部场作用下的运动轨迹,获得了SEM像的二次电子信号电流.结果表明,在弱负带电条件下,照射点处表面电位越低,返回表面的二次电子就越多,对应的二次电子信号电流越弱.此结果与SEM实验中图像亮度随照射时间的变化规律相符.     

免疫扫描电镜样品的简单制备方法

本文介绍一种用免疫扫描电镜技术研究病毒感染的细胞表面的简易制样方法。适当控制镀金膜的厚度(约5nm厚),即可观察到直径仅20nm胶体金标记物的二次电子图象。与近年来发展起来的背散射成象法比较,细胞表面甚至病毒粒子的形貌更为清晰。