半导体材料表面精密加工技术

半导体材料的表面精密加工技术是半导体工艺技术的一个组成部分。在大规模集成电路的设计和制造中,要求将半导体的表面粗糙度加工达到纳米级。因此,高效率超精密的半导体材料表面加工技术是大规模集成电路生产的关键技术。为此对国内外半导体材料表面加工技术的现状进行了分析,叙述了半导体表面精密加工的一些方法。     

超精密加工技术的发展及其对策

文章论述了超精密加工技术的内容、定义范围、对发展高新技术产品的作用、国内外发展概况及其特点、STM的微细加工和我国开发超精密加工技术的对策。     

精密和超精密加工技术

1.精密和超精密加工的概念和形成 精密和超精密加工是在70年代提出的,在美国、日本和英国等国得到了重视和急速发展。精密和超精密加工从加工精度的角度反映了加工技术的发展,通常,将加工技术分为一般加工、精密加工和超精密加工三个阶段;有些国家的学者将它分为一般加工、高精度加工、精密加工和超精密加工四个阶段。对当前来说,精加工是指加工精度为1～0.1μm、表面粗糙度为R_a0.1～0.025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度小于R_a0.025μm的加工技术。这一定量数据是相对的,将随着加工技术的不断发展而改变,即过去的精密加工对今天来     

精密加工和超精密加工技术综述

论述了精密加工和超精密加工技术的范畴,加工方法,系统结构及其在先进制造技术中的作用和地位;分析了２１世纪初期对它的需求和技术发展趋势,并提出了相应的技术发展前沿,归总了技术发展特点。     

精密超精密加工技术综述

根据未来工艺发展规划要求,积极探索国内外精密超精密加工技术,对该项技术的现状进行了分析,作出综述,并提出了实施该项技术的具体途径及所要考虑的问题.     

超精密加工技术的应用

超精密加工技术的应用香港理工大学杜雪随着科技的迅速发展，超精密加工已逐渐成为制造业在国际竞争中能否取得成功的关键技术，因为超精密加工技术不仅会推动航空、航天技术和电子技术的发展，而且能生产出优质的民用产品。由于香港经济的转型，使香港的制造业趋向高科技...     

超精密切削加工技术

我厂是航空航天部惯性仪表研制生产厂之一。惯性仪表零、组件的结构特点是尺寸小,小到几十微米,精度高,尺寸精度为微米级,形状精度为亚微米级,表面粗糙度低,为Rα0.025,形状结构复杂,包括薄壁。这些特点决定了加工难度大。它需要有先进的工艺方法,相当精密的设备,理想的刀具,准确的测量仪器仪表,良好的加工环境和相应的工艺控制水平。     

新型研磨垫对单晶氧化镓研磨的实验研究

为抑制氧化镓晶片在研磨过程中的解理现象,通过NAKAMURA的方法,重新设计、研制一种黏弹性固着磨料新型研磨垫对氧化镓晶片进行研磨实验研究,对比分析其与传统铸铁研磨盘对单晶氧化镓研磨的材料去除率和表面质量的影响规律,结果表明:在同一研磨参数下,采用铸铁盘研磨时,晶片材料去除率较高,为358 nm/min,研磨后晶片表面粗糙度Ra由初始的269 nm降低到117 nm,降幅仅为56. 5%;而采用新型研磨垫研磨时,其材料去除率虽较低,为263nm/min,但研磨后晶片表面粗糙度Ra却降低至58 nm,降幅达到78. 4%,晶片表面质量得到明显提高,为后续氧化镓晶片的抛光奠定了良好的基础,因而新型研磨垫更适合对氧化镓进行研磨。同时,也为氧化镓晶片研磨提供了参考依据。     

复杂曲面零件超精密加工方法的研究进展

超精密加工技术是降低工件表面粗糙度、去除损伤层,获得高形状精度、表面精度和表面完整性的终加工手段。复杂曲面零件的广泛应用和精度要求的不断提高,取决于复杂曲面零件的超精密加工技术。概述了复杂曲面零件的超精密成形加工、超精密抛光等加工方法,分析各种典型加工方法和材料去除机理,从加工精度、工具与曲面吻合度、加工效率与成本、环境友好性等方面对几种复杂曲面超精密加工方法进行比较。对复杂曲面零件超精密加工技术的发展趋势进行预测。     

精密和超精密加工技术的发展现状与展望

简单介绍了国内外超精密加工技术的基本情况，并针对我国当前的实际情况，提出了我国应开展超精密加工技术的基础研究。     

超精密加工技术的发展及对策

介绍超精密加工及其应用背景,发展动向,以及超精密加工关键技术的一些最新成果,从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化,廉价化发展趋势,同时就如何发展诸如模块化部件,执行系统,测量控制和环境控制等超精密加工关键技术提出一些新的观点和方法。     

精密和超精密加工技术的新进展

精密和超精密加工技术的发展,直接影响尖端技术和国防工业的发展。世界各国都极为重视,投入很大力量进行开发研究,故近年来发展迅速。本文介绍了国内外精密和超精密加工技术各主要领域的最新进展:精密和超精密机床的新发展,超精密切削机理和金刚石刀具的研究,精密镜面磨削和研磨技术的新发展,非球曲面精加工技术的发展以及微型机械制造中的精微加工技术的发展;提出我国应重视精密加工的研究,加大投入,加速提高我国精密和超精密加工技术水平。     

精密球超精密加工技术的研究进展

掌握精密球超精密加工过程中的球面研磨轨迹分布特性以及各工艺参数对加工结果的影响,对提高精密球加工精度与效率十分重要。对精密球超精密加工技术的发展及研磨均匀性的评价进行回顾,并根据精密球超精密加工技术的发展脉络,阐述当前主要精密球超精密加工技术的加工原理及加工实例。从材料去除率、加工精度、批一致性等方面对几种精密球超精密加工技术进行比较,并以提高加工精度及加工效率为目标,对精密球超精密加工技术的发展趋势进行预测。     

超精密加工及其关键技术的发展

超精密加工是现代制造技术的一个重要组成部分,是众多大型系统实现简化和扩展功能的必要基础。几上来,超精密加工技术在精度和手段上都有了质的飞跃。依据超必机床各子系统的功能特点介绍了超精密加工的共性技术及其最新发展动态,最后阐述了提高超精密加工精度的途径和方法。     

微孔超精密加工研究进展

近年来,电子、医药、航空航天等行业对高质量微孔结构的需求量日益增加,但加工精度低、加工半径尺寸受限、在复杂零件上加工困难等问题限制了其应用.传统微孔加工方法已无法满足高加工质量要求,超精密微孔加工方式仍有许多问题亟待解决.因此,本文对电化学、微细电火花、超声波、飞秒激光、复合加工等超精密加工方式在微孔加工中存在的问题进...     

超精密加工及其进给驱动技术

论述了超精密加工的重要意义、主要方法、一些关键技术及在机械制造技术中的作用和地位;介绍了一种直线电机直接驱动的新型超精密进给机构的工作原理和基本结构,较好地解决了超精密加工的精确移动和定位问题。     

超精密加工技术研究现状及发展趋势

超精密加工是多种技术综合的一种加工技术,是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。根据当前国内外超精密加工技术的发展状况,对超精密切削、磨削、研磨以及超精密特种加工及复合加工技术进行综述,简单地对超精密加工的发展趋势进行预测。     

加速发展我国的精密和超精密加工技术

精密和超精密加工技术是机械制造最主要的发展方向之一。本文介绍了精密和超精密加工技术的最新发展情况,如金刚石超精密切削、精密磨削和研磨、精密和超精密机床、精密加工中的检测和误差补偿、精加工的环境条件等。最后提出对我国发展精密和超精密加工技术的一些意见。