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鲍敏杭 《仪表技术与传感器》1993,(6):5-7
本文从历史的角度总结了微机械技术的出现,发展的历程,它的发展动力和目前国际上竞相研究的概况。文章以1993年召开的第七届国际敏感器与执行器会议的报告为依据,介绍了微机械技术的最新进展与突破。 相似文献
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微机械的制造,应用和发展 总被引:3,自引:0,他引:3
概述微机械的加工技术括微机机械工业加工所用材料,腐蚀加工,淀积加工,键合加工的现状;介绍微机械的应用领域及其对高新技术发展的影响;指出微传感器,微执行器,微机器人与微系统是微机械技术发展的主要方向。 相似文献
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微器件装配系统与关键技术 总被引:5,自引:2,他引:3
微装配技术是实现组合结构的微机械电子学系统的关键技术之一。本文介绍了目前两种典型的可以实现不同功能的微器件装配系统以及设计微器件装配系统的关键技术。 相似文献
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采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感产品的量程已达5-10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT-24),结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。 相似文献
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首次将等离子体作为敏感元件应用于微机械陀螺仪中,取代目前微机械陀螺仪中所采用的固体、液体或气体等元件。利用气体放电产生的等离子体朗缪尔流效应来使敏感元件产生一定速度的运动,不需另外的驱动元件。介绍了等离子体朗缪尔流效应,探讨了应用朗缪尔流效应的新型微机械陀螺仪的原理,根据Langmuir-Drugvesteyn理论推算朗缪尔流速度可达到6 m/s,给出了该新型微机械陀螺仪的微加工与封装方案和工艺参数优化试验系统。 相似文献
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赵志诚 《仪表技术与传感器》1997,(7)
微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿,它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展,并对今后的研究动态进行了论述 相似文献
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A micro electro discharge machine with an inchworm type of micro feed mechanism has been developed. The prototype of micro electro discharge machine is comprised of a wire electro discharge grinding unit, a rotating unit of electrode, RC circuitry for micro electro discharge generation and a subsystem detecting and controlling machining process, in addition to the inchworm mechanism. In the design of the inchworm mechanism, a novel clamp mechanism with force magnifying structure is devised to increase its thrust capability and a pair of guide sleeves together with the clamps are used to decrease yawing error. The inchworm mechanism prototype has 60 mm stroke only limited by the length of the shaft, less than 2 μm yawing error and reaches to 30N output thrust force. The machining experiments carried out on the micro EDM prototype are also described. The techniques to machine micro electrode, micro holes with high aspect ratio, micro structures on stainless steel and silicon materials are discussed. Micro electrode diameter as small as 25 μm and micro holes with minimum size of less than 50 μm are obtained. And the maximum aspect ratios of micro electrodes and micro holes exceed 20 and 10 respectively. 相似文献
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微细切削与微小型化机床 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍微细切削的可行性、优点及其应用前景。概述机床微小型化的可行性、优点以及研究进展。指出通过微小型化 机床以大规模并行的方式集成微型制造系统,将是一种有希望的技术方法。同时,简要探讨了机床微小型化的有关问题。 相似文献
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F.-T. Weng M.-G. Her 《The International Journal of Advanced Manufacturing Technology》2002,19(4):266-270
The micro machining of copper plates by the electrical discharge machining (EDM) process is described. Tungsten carbide was
selected as the material for the electrode. Experiments were carried out on a conventional CNC-EDM machine to investigate
machining of micro holes, and micro slots. The results show that micro holes, and micro slots can be successfully processed
on a conventional CNC-EDM machine. To improve the productivity of micro parts using the EDM process, a batch production method
of micro EDM using multi-electrodes has been studied. A new technique for preparing multi-electrodes has been developed. Results
also show that the batch production of micro parts using EDM is feasible and that the batch production of micro parts using
EDM process with multi-electrodes is very effective. 相似文献
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纳米技术及其在微型机械中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
纳米技术及微型机械被认为是21世纪的核心技术。文中介绍了纳米技术及微型机械的基本概念及纳米加工技术、纳米材料技术、纳米摩擦学等纳米技术在微型机械中的应用。 相似文献