对高纯度硅烷中气态杂质和金属杂质的纯化技术和分析方法

对高纯度硅烷中气态杂质和金属杂质的纯化技术和分析方法ＰａｔｒｉｃｋＡＴａｙｌｏｒ半导体制造商已经长期用硅烷制成硅的薄膜或者硅化合物。将来更高集成度的和更复杂的集成电路，以及如光生伏打电池等新器件，都要求硅烷有非常高的纯度，其规定杂质为１０－１２（ｐｐ...     

大型氦低温系统中的杂质净化

EAST是一个全超导的托卡马克核聚变实验装置,磁体采用超临界氦迫流冷却.磁体在降温过程中对氦气的纯度有很高的要求,净化系统是整个低温系统的重要环节之一,以防各种杂质气体在低温下凝结固化威胁低温系统的稳定可靠运行.理论分析了氦气纯化的基本原理及固定床吸附器的吸附机理,对低温纯化器的运行进行了阐述,并介绍了杂质成分检测系统,以对净化效果进行评估,实验得知氦气净化系统能满足低温系统氦气高纯度的要求.     

高压终端纯化氮气中痕量杂质的分析

介绍了超纯氮中Ｈ２、Ｏ２、ＣＯ、ＣＯ２、ＴＨＣ、Ｈ２Ｏ的分析，并对其可靠性进行充分考察。     

实验室用的气体纯化系统

叙述了一种简单而有效的惰性气体和氮气的纯化系统，它能除掉气体中的机械杂质，氧和水，并能在高流量和高压力下工作。文中对系统的特性和吸附剂的再生方法作了说明。     

氦制冷机和液化器中的纯化系统

主要介绍了氦制冷机和氦液化器中应用的几种典型的氦纯化器的工作原理，主要工作程序和优缺点，并介绍了讨论了几种氦纯化器的设计方案，吸附量和计算以及可用于氦纯化器的工程设计。     

超流氦低温系统板式换热器的设计与优化

负压换热器是超流氦低温系统的关键部件。通过设计和优化,将板式换热器应用于液氦温区。采用分布参数微元法建立了变物性参数换热器传热模型,基于该模型编写了板式换热器的设计与校核计算程序。以换热器效能、负压侧压降和换热器体积为目标进行了量纲分析,确定了人字波纹板片的优化参数。随后采用NSGA-Ⅱ算法进行了多目标优化,以换热器体积最小为前提做出了板式换热器选型。最终得到了三种优化后的设计方案,研制了板式换热器样机。通过分析换热器性能随热流体流道数的变化规律,解释了换热器设计效能偏高的原因。     

1000m~3/h空分设备分子筛纯化系统回热器内漏分析与处理

1000 m3/h空分设备分子筛纯化系统的回热器发生内漏,导致分子筛再生气带水,进而使分子筛再生失败,空分设备被迫停车。文章简介了1000 m3/h空分设备分子筛纯化系统的工艺流程,叙述故障现象,分析并确定引起故障的原因,最后介绍了处理措施。     

内共振系统的范式计算

提出了一种简便的,适合于符号推导运算的范式分析过程,借助于符号运算,分析了含有内共振的高维非线性振动系统的范式以及范式系数。     

5 kW@4.5 K氦低温系统一级板翅式换热器优化设计

以5 k W@4.5 K制冷当量的CFETR TF线圈测试用的氦制冷机第一级主换热器为对象,采用混合遗传算法,在满足换热要求、压降限制、现有制造工艺和结构强度等前提下,对换热器的体积进行优化。结果表明,与常用的板翅式换热器商用软件Aspen MUSE~(TM)设计计算的结果相比,基于遗传算法的优化过程可以快速高效地搜索到以体积最小化为目标的全局最优解,其结构尺寸可由原先设计的4.485 m×0.900 m×0.863 m缩小到3.032 m×0.721 m×0.594 m。     

EAST氦低温系统透平故障分析

针对EAST氯低温系统的俄制氮透平膨胀机运行过程中出现的故障,从透平流道与轴承支撑两方面进行了分析,提出了氯透平膨胀机在启动过程中可能出现的问题及相应的解决方法,并专门针对出现故障的透平2,分析了导致其出现故障的原因.     

高纯等离子体工艺气体中痕量杂质的影响及特性

如何不详细地了解气源杂质的分布曲线,而只是简单地规定所有气体纯度等级,就不能充分确保优质气体均一地输送到工艺过程中。例兴了等离子体刻蚀工艺。     

冷氦换热器低温换热试验研究

为验证采用液氧对冷氦加温的可行性,研究光管、整体翅片管两种形式的换热器在不同流量、压力下的换热性能,开展了冷氦换热器的原理性试验和数值仿真研究.研究结果表明:相同工况下,整体翅片管换热效果比光管好很多,整体翅片管对强化换热效果明显,数值仿真结果与试验结果吻合较好.     

电子气终端纯化系统

由半导体气体设备公司(Semi-Gas Systems Ine．)制造的“Nanochem”气体纯化系统(图1)，是一种紧凑的纯化气体范围较广的终端纯化系统，对除去氧和水可达10ppb以下。另外，该纯化器还可从工艺过程气体中除去含氯的杂质。     

聚苯硫醚纯化研究

在高温下,用N-甲基吡咯烷酮(NMP)与聚乙二醇(PEG)组成的混合试剂对商品PPS树脂进行纯化处理。纯化产品测试表明,这种方法能有效地去除树脂中存在的无机离子杂质和有机低聚物。进一步的研究表明,与未纯化树脂比较,纯化后树脂的加工性能以及热性能都得到明显的改善,可用于纺丝、薄膜和电子封装材料等用途。     

氦低温系统中油过滤技术研究

说明了低温系统螺杆压缩机使用润滑油的作用，分析指出对于氦气进行油过滤的重大意义，并详细介绍了氦低温系统中油的过滤系统。通过研究油分离的原理及方法，对各过滤环节进行深入研究，为低温系统长期稳定、安全、可靠地运行奠定基础。     

分子筛纯化系统切换蝶阀的合理选择

详细介绍了3种分子筛纯化系统切换蝶阀的结构、工作原理和特点，分析了3种蝶阀的优缺点和使用场合。     

大气中放射性氙的分离纯化系统研制

为实现大气中放射性氙的高效富集,利用制备色谱技术并结合吸附材料性能的差异,开展放射性氙分离纯化技术的研究,通过研究结果确定分离纯化系统的设计参数。实验验证氙分离纯化系统的性能,系统全流程的时间小于1h,获得的氙样品回收率大于90%,纯度高于95%,能满足放射性测量的要求。     

闭式循环氮水预冷系统杂质浓缩的分析与处理

分析了空分设备闭式循环氮水预冷系统杂质浓缩的原因，提出了处理措施。