镀膜工艺与镀膜系统配置

在过去的 15～ 2 0年中 ,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前 ,一般的镀膜机都是纯人工操作 ,最先进的也只是半自动控制 ,都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在 ,高质量的光学镀膜机已经是一个集成了系列智能化模块 (子系统 )的全自动系统。这些智能模块 (子系统 )通常在多个微处理器的指令下结成局域网 (LAN) ,而局域网又可并入整个工厂的自控系统。用户对设备性能的完善性要求越来越高 ,现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时 ,还要求厂家提供相关工艺技术。本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件 ,以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定性作用。尽管其他技术日渐流行 ,但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段 ,因此本文中的讨论只涉及物理蒸镀技术。     

行星周转镀膜装置设计

针对现有的蒸镀圆柱形腔体杜瓦镀膜工艺存在工艺繁琐、膜层不均匀等问题,设计了行星周转镀膜装置。该转台针对镀膜机内特殊环境特点,采用摩擦行星轮组设计,优选材料,优化结构,对标准件进行特殊处理,最终实现行星周转镀膜装置的无污染、重量轻、负载小、运转稳定、方便清洁、易于调整等要求。该行星周转镀膜装置的使用,使圆柱形腔杜瓦在公转时实现自传,实现圆柱形腔杜瓦的一次蒸镀,克服原有的三次平面蒸镀带来的问题。试验结果表明:杜瓦镀金引线膜层在粘附性、均匀性等关键指标上均优于原蒸镀方式,在实现产品质量提高的同时,降低了生产成本,提高了生产效率。     

ZZSX—600光学镀膜机

ZZSX—600光学镀膜机是北京仪器厂最新研制的用于光学镀膜批量生产的先进机型。该机配有大功率e型电子枪和电阻蒸发源,可蒸镀各种高低熔点的金属及化合物材料。设备带有光学膜厚控制仪和石英晶体膜厚速率监控仪,可精确地控制膜层的光学厚度或几何厚     

大型包装薄卷绕真空镀膜机的研制

本文通过对南光ＰＲＣ－１３００／Ｍ型包装薄膜卷绕真空镀膜的介绍。详细叙述该镀膜机的结构特点，各系统的组成及功能简介，以及用于各种基材上蒸镀包装薄膜。通过用户的使用表明该镀膜机是目前国内有领先水平的，高性能的蒸镀各种包装薄膜的理想设备。     

第十八讲真空蒸发镀膜

1 概述 真空蒸发镀膜(简称蒸镀)是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术.蒸镀是PVD技术中发展最早,应用较为广泛的镀膜技术,尽管后来发展起来的溅射镀和离子镀在许多方面要比蒸发镀优越,但真空蒸发镀膜技术仍有许多优点,如设备与工艺相对比较简单,可沉积非常纯净的膜层等等,因此,真空蒸发镀膜仍然是当今非常重要的镀膜技术.近年来由于电子轰击蒸发,高频感应蒸发以及激光蒸发等技术在蒸发镀膜技术中的广泛应用,使这一技术更趋完善.     

金属蒸镀膜的附着力测定

1.前言 对于蒸镀膜在基板上的附着强度和把该膜从基板上剥离下来时的破坏过程的研究,在考虑蒸镀膜应用技术及其膜的持久性时是重要的。并且,做为蒸镀膜的物性研究也是很有兴趣的问题。 在这里通过真空蒸镀法就测定玻璃基板上蒸镀金属(银、铜、铝)的附着力、膜厚度的依存性以及基板温度的依存性的结果进行报告。 2.试验材料的制作 附着力测定时所用材料(银、铜、铝)的蒸镀是采用扩散泵排气系统进行排气的真空室。试验材料的纯度用99.999～99.99%在锦蒸发器中进行加热,其蒸发速度为2～4A/s。蒸镀过程中的真空度为4 × 10-3帕。基板采用 26 ×…     

真空离子镀膜经验讲习班公告

<正>讲课内容:真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。(2)现场操作实习:参观三束材料表面改性国家重点实验室,工具镀膜生产加工厂及镀膜机制造厂,镀膜专利工艺、操作决窍分析。     

真空离子镀膜经验讲习班公告

<正>讲课内容:真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。(2)现场操作实习:参观三束材料表面改性国家重点实验室,工具镀膜生产加工厂及镀膜机制造厂,镀膜专利工艺、操作决窍分析。     

真空离子镀膜经验讲习班公告

<正>讲课内容:真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。(2)现场操作实习:参观三束材料表面改性国家重点实验室,工具镀膜生产加工厂及镀膜机     

日本其他真空应用工业设备

我国为了要广泛了解真空技术在工业上 的应用,除对冶金、冷凉干燥、单晶制备、 真空泵等制造使用工厂外,也参观了真空蒸 馏,真空蒸镀等应用真空技术工业装置和使 用工厂。现在简略汇报如下: (一)真空蒸镀 日本制造真空蒸镀装置的工厂很多,凡 是制造真空设备工厂都生产蒸镀设备,大都 为小型种罩式,真空度为10-6～10-8,蒸发源 加热方式大都用电阻加熟,也有用感应加热, 电子束加热方式,也生产半连续式工件转动 特种型式蒸镀设备。真空蒸镀应用在光学镜 头镀膜,树脂薄膜,人造革纸金属化、玩 具、装饰品、反光镜蒸镀金属涂料薄膜,微 型电子器件制…     

大型镀膜设备

高真空设备公司(美·High vaeuum Equipment corp)为镀大型光学望远镜的反射镜,设计、制造了几种真空镀膜系统。一种型式是将反射镜支撑于水平基座上。另一种是把3.96米的反射镜垂直支撑,并以反射镜的支撑架作为真空罩的门。大型镀膜设备~~     

同轴磁控溅射离子镀膜在装铈膜和超硬膜中的应用

同轴式磁控溅射离子镀膜机是磁控溅射和离子镀膜相结合的一种镀膜设备。从不小于1.5×2m 大面积基底上所镀膜层的均匀性和实际应用的可行性来看,是一种较好的成膜手段。1.国内现状目前国内生产蒸发式镀膜设备的厂家不少。这种方法是以高纯铝丝或铁铬镍合金丝等作为膜材,在大面积上镀镜或镀建材玻璃膜。普遍认为蒸发膜存在着如下问题:     

第二十一讲真空卷绕镀膜

(接2020年第6期86页) 2.2.1 原理 电阻加热蒸发镀膜原理如图3所示.将卷筒状的待镀薄膜基材装在真空蒸镀机的放卷辊上,薄膜穿过导向辊和镀膜冷鼓卷绕在收卷辊上.抽真空,使蒸镀室中的真空度达到4×10-2Pa以上,加热蒸发舟或蒸发坩埚使高纯度的金属或化合物在气化温度下融化并蒸发.启动薄膜卷绕系统,当薄膜运行速度达...     

大口径镜面镀膜与镀膜系统配置

对大口径镜面特别是对大口径天文望远镜镜面的镀膜时,镀膜系统的配置对膜层性能的预期指标的实现起着非常重要的作用.整个镀膜系统的配置,一般都需要根据镜面的尺寸、镀膜方案以及相关工艺参数等来专门设计制造镀膜机.本文在借鉴了国内外大口径镜面镀膜的系统配置实践经验的基础上,针对LAMOST子镜的特点以及镜面在更新镀铝膜时对膜层的各项性能指标的要求,分析并初步提出了相应的具有可行性的镀膜系统的配置方案.     

卷绕镀膜工艺研讨会通知

应部分单位要求,机械电子工业部沈阳真空技术研究所、中国真空学会获得专业委员会及《真空》编辑部共同发起召开卷绕镀膜(如镀遮阳膜,彩虹膜、镀铝纸、包装膜、电容器膜、装饰膜……)工艺研讨会,邀请有关专家和卷绕镀膜设备生产厂解答当前在卷绕镀膜生产中存在的问题,并进行技术交流。 请有关单位特别是卷绕镀膜设备生产厂及用户大力支持,踊跃参加,团结一致。华夏赤子安能拱手相让国外设备及产品占领我国市场。《真空》编辑部愿为马前卒,参与筹备全国大型的卷绕镀膜工艺研讨会,首先编集出荟萃国内外近十年来卷绕镀膜技术新进展的论文集 (《…     

真空蒸发镀膜设备性能的改进

为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求.     

真空与低温应用集锦——交错排列的蒸发舟系统

德国 LH 公司1992年推出了 TopMet 系列新一代的包装薄膜真空卷绕镀膜机,它除了具有高可靠性,易于操作与安装外还具有先进的蒸发器技术。蒸发器系统是镀膜机的中心部件,它的类型及结构影响着镀膜工艺,决定了膜层质量亦即最终产品已镀薄膜卷的质量。现今使用的电阻加热陶瓷蒸发舟蒸发器系统主要特点是蒸发舟成直线排列,采用端面夹     

镀膜技术讲座 第一讲 真空镀膜设备

真空镀膜是近年来发展十分迅速的一门技术。真空镀膜的应用范围越来越广泛,已渗透到国民经济的许多领域中。利用镀膜技术可得到各种精制的产品,如微电子电路,各种光学元件,塑料、纸张、纺织品上蒸镀金属,门窗玻璃及铁板镀层,耐磨工具或机械元件等。镀件有大有小,大的如天文望远镜的反射镜直径达几米,小的如钮扣只有几毫米。蒸镀速度也很快,已实现了每周完成数千平方米或每个循环数千个元件的沉积任务。这些迹象表明,不久的将来镀膜技术还要有更大的发展。     

可编程序控制器在太空棉镀膜设备上的应用

本文介绍太空棉镀膜设备ＺＺ－１４００Ｌ控制系统中，采用了日立ＥＭ系列（其中ｃｐｕ为ＥＭ－Ⅱ）ＰＣ控制装置的硬件构成及软件设计。通过工业现场运行表明，该系统操作简便，性能稳定，运行可靠，直接替代了原太空棉镀膜机中的继电器控制系统。     

SiOx镀膜包装材料的开发及发展

通过在PET等基材上蒸镀氧化硅获得的SiOx镀膜包装材料，具有阻隔性能高、保香性好、允许微波透过等优点，适合保质要求高、流通周期长的各类商品、尤其是微波食品的包装。