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《稀有金属材料与工程》1994,(2)
离子注入延长金属寿命离子注入是通过选定的高能离子束轰击基材,使基材在不改变几何尺寸的前提下,在近表层形成一种新的合金,以达到表面改性的“原子水平”表面处理技术。此技术常用来增强零件的耐磨性或耐蚀性,经离子注入表面改性后的零件,比以往任何工艺所形成的表... 相似文献
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本文介绍了新型的TITAN离子注入系统的结构、特点及工作原理。TITAN源设计思想新颖,是DENNING源与MEVVA源的有机结合,它能给出气体离子,也能给出金属和气体的混合离子,在金属材料改性方面具有潜在的应用前景。笔者对该系统的技术特性及优缺点进行了评述。 相似文献
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用于强流离子注入的气体——金属弧离子注入机 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了新型的TITAN离子注入系统的结构,特点及其原理,TITAN源设计思想新颖,是DENNING源与MEVVA源的有机结合,它能给出气体离子,也能给出金属和气体的混合离子,在金属材料改性方面具有潜在应用前景,笔者对该系统的技术特性及优缺点进行了评述。 相似文献
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前言本文叙述一种目前已在若干重要领域达到工业应用阶段的崭新的金属表面处理方法,即离子注入法.运用这种方法,可将某些经过选择的原子以高能离子束的形式注入工件表面.迄今,这种方法因其对于改变半导体(如硅)的导电性能较之热扩散法更易于控制,已应用于半导体器件的制造.目前,全世界用于这一目的的离子注入机大约有500台.产品则为大家 相似文献
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离子注入最初应用于控制半导体材料的成份上。由于应用这一工艺往往能使许多金属材料获得用传统方法所不能得到的成分和结构,因此近年逐渐引起人们的兴趣。与快速凝固或急冷工艺类似,离子注入 相似文献
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温度对N离子注入金属深度分布的影响 总被引:4,自引:0,他引:4
研究了N离子注入金属表面时温度对N原子深度分布的影响,在常温-460℃范围内N离子注入到α-Fe和316L奥氏体不锈钢中的深度分布显著依赖于注入温度和基体材料,随注入温度升高,α-Fe中N深度分布形态为准Gauss形、梯形和扩散形,并发现N注入存在“盲区”注入温度,N表观扩散系数与注入温度的关系完全偏离Arrhenius方程,在316L不锈钢中、N呈扩散形分布,其表面扩散系数与注入温度的关系与Arrhenius方程较吻合,通过Auger谱线形分析、X射线衍射分析和TEM组织分析,认为N注入金属深度分布由离了注入混合作用、化学效应和热扩散作用中占主导地位者决定。 相似文献
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模具表面改性新技术--金属用离子注入 总被引:1,自引:0,他引:1
《模具制造》2002,(3):57-57
早在1952年,美国贝尔实验室已经开始研究用离子束轰击技术来改善半导体特性,六十年代,半导体器件生产的水平进一步提高,迫切要求寻找新的方法研制一些特殊用途的新型器件,于是兴起了离子注入技术。近20年来,在微处理机和计算机存储器的集成电路基片生产中,离子注入已经是半导体材料的一种标准掺杂方法,离子注入方法的可靠性、可控性和重复性使得这项工艺成为半导体工业的支柱。在20世纪60年代中期,英国科学家探索了离子束对金属的作用。他们早期的努力集中于离子注入技术对金属材料的摩擦和显微硬度的影响,但不久就转向… 相似文献
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宋伟明 《腐蚀科学与防护技术》1989,1(2):48-48
<正> 利用离子注入技术在金属表面注入耐蚀元素,可显著改善材料的耐蚀性能。氮是提高合金耐孔蚀性能的有效组分。它与合金中铬的综合作用很强。离子束混合可在薄膜基体界面上产生原子级混合,形成新的表面合金层,有利于提高基体金属的耐蚀性。本文采用离子注入技术在奥氏体不锈钢上形成表层含氮合金。通过各种电化学测试 相似文献
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炮弹弹体生产中,磁粉检测发现表层缺陷。经理化检验确认,表层及基体内缺陷处含有夹杂物,通过扫描电镜观察及能谱分析,确认夹杂物中含有冶炼过程中保护渣的成分。表层缺陷是冶炼过程中保护渣卷入钢坯,钢材轧制、弹体冲拔加工时夹杂物随金属变形,切削加工时暴露到表层形成的,通过磁粉检测可以发现剔除。在基体内未暴露的缺陷无有效的检测方法检验剔除。建议完善钢材质量评估和检验方法,冶炼时及时剔除质量有波动的钢锭,弹体加工中采用有效的检测技术,选择适宜的时机进行基体缺陷的检验,以保证批量生产产品质量。 相似文献
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轴承钢氮离子注入层的显微组织分析 总被引:1,自引:0,他引:1
用TEM研究了ZGCr15轴承钢氮离子注入后显微组织的变化.结果表明,在相同的注入能量条件下,随着注入剂量的增加,注入层产生离子辐照损伤,位错密度增加,碳化物碎化,同时还形成弥散分布的γ'-Fe4N、ε-Fe2-3N、Cr2N等氮化物相及非晶态. 相似文献
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对TiNi形状记忆合金N+离子注入后进行了XRD分析以及XPS分析.N+离子注入的能量为75keV,束流为16.3μA/cm2,注量分别为3×1017N+cm-2和8×1017N+cm-2,注入过程中温度低于200℃.XRD和XPS分析结果都表明N+离子注入试样后以TiN的形式存在;且由于离子注入时的真空度较低,在注入层的表面也形成了少量的TiO2;由于Ni的溅射系数比Ti的大,在试样XPS宽程扫描图中,没有出现Ni的信号. 相似文献
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陈伟荣 《中国有色金属学报》1997,7(1):147-150
选用4种不同的N+注入剂量,即3×1017、6×1017、9×1017和2×1018cm-2,对Ti6Al4V合金进行离子注氮,使其表面形成一层改性层。通过俄歇电子能谱,分析了在钛基合金上注入不同剂量的氮离子后,其表面原子的分布情况。结果表明:最大浓度时的深度RP和最大相对浓度Cmax并不随注入剂量的增加而无限增大,注入剂量超过9×1017cm-2后,最大浓度时的深度RP将向试样表面移动;注入剂量超过6×1017cm-2后,最大相对浓度Cmax将保持平稳状态。 相似文献